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the 6th Autumn School on Physics of Advanced Materials(PAMS-6)において、本学大学院生がPAMS-6 Awardを受賞
the 6th Autumn School on Physics of Advanced Materials(PAMS-6)において、本学大学院生がPAMS-6 Awardを受賞しました。
- 受賞者
- 工学研究科 電気工学専攻 修士課程2年 追分 拓也
- 指導教員
- 工学部 電気工学科 教授 安藤 靜敏
- 受賞題目
- Preparation of ZnO:Al Thin films for Transparent Electrode by Helicon-wave Excited Plasma Sputtering Method.
- 内容
- 薄膜太陽電池等の透明電極材料として良く知られているアルミニウムをドープした酸化亜鉛(ZuO:Al,AZO)の薄膜をヘリコン波励起マグネトロンスパッタリング法にて作製し、その成膜条件を見出した。基板温度、チャンバー内圧力、ターゲット磁界強度の条件を確立し、膜厚100～150nmで良好な膜質のAZO薄膜を得た更に作製しされたCIS薄膜を酸素雰囲気中にて熱処理を施し、熱処理温度及び熱処理時間を検討して結晶性の向上を見出した。
- 受賞日
- 2023年11月26日
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15th International Conference on Physics of Advanced Materials (ICPAM-15) and the 6th Autumn School on Physics of Advanced Materials (PAMS-6)
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