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先進工学部 マテリアル創成工学科 小林 篤准教授が第27回（2026年春季）応用物理学会においてPoster Awardを受賞しました。

受賞者

先進工学部　マテリアル創成工学科　准教授　小林 篤

受賞題目

スパッタ法およびMBE法で成長させたScAlNの格子定数の機械学習解析

内容

本研究では、次世代GaNパワーエレクトロニクスおよび強誘電体デバイスへの応用が期待されるScAlN薄膜について、機械学習を用いた格子定数解析に取り組みました。ScAlNは大きな分極応答を示す新規バリア層材料として注目されている一方で、その格子定数はSc組成、成長方法、成長温度、膜厚、極性などに強く依存し、材料設計に必要な統一的理解が課題となっていました。
本発表では、東京理科大学のスパッタ法およびCornell大学のMBE法で作製したScAlN/GaNヘテロ構造の実験データに加え、既報論文から抽出したデータを統合し、ニューラルネットワークと物理的拘束を導入した回帰解析により、ScAlNの格子定数を体系的に解析しました。その結果、GaNと格子整合するSc組成が従来想定より低い10〜13%程度であること、またc軸格子定数が成長温度に強く依存することを明らかにしました。これらの成果は、ScAlN/GaNヘテロ構造の材料設計に新たな指針を与えるものであり、その学術的・技術的貢献が高く評価され、本賞の受賞に至りました。

受賞日

2026年5月14日

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