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公益社団法人応用物理学会 ナノインプリント技術研究会において本学大学院生が2025年度Student Poster Awardを受賞しました。

受賞者

先進工学研究科　電子システム工学専攻　修士課程1年　芦田 拓望

指導教員

先進工学部　電子システム工学科　教授　谷口 淳

受賞題目

遮光膜付きレプリカモールドを用いた残膜レス銀微細配線

内容

UV硬化樹脂を用いたナノインプリントプロセスでは、通常、残膜と呼ばれる不要な樹脂層が発生する。これを防ぐために、従来研究では、金属層をモールドの凸部分に選択的に形成することで、下部への光の侵入を防ぎ、この部分の樹脂を硬化させず、その後の洗浄で残膜レスのパターンを実現できている。しかし、金属層の形成には真空装置を用いたりして効率が悪いという欠点がある。それを解決するために、本手法では、銀インクを用いてモールド凸部に遮光パターンを作り、かつ、フィルムモールドとすることで、コストパフォーマンス良く遮光膜のあるモールドが作製できた。この遮光膜付きレプリカモールドを用いて感光性銀インクへ適用したところ、残膜レスで銀配線が可能であることがわかった。この手法により通常のフォトリソグラフィの解像度である１０ミクロンより小さな２ミクロン程度の配線が可能となり、また、高さも4.5ミクロンという高いものが作製できた。この技術により銀メッシュ状透明電極への作製などへの応用が考えられ実用化も期待できる。

受賞日

2025年5月16日

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受賞者一覧
公益社団法人応用物理学会 ナノインプリント技術研究会

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