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本学大学院生がThe 22nd Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference(NNT2022)においてStudent Poster AwardのProcess awardを受賞しました。

受賞者

先進工学研究科　電子システム工学専攻　修士課程1年　村上 湧祐

指導教員

先進工学部　電子システム工学科　教授　谷口 淳

受賞題目

Investigation of filling behavior of UV nanoimprint by bridge structure

内容

この度「橋掛け構造によるUVナノインプリントの充填挙動の調査」という題目で、公益社団法人応用物理学会 The 22nd Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference(NNT2022)でStudent Poster AwardのProcess awardという栄誉を賜りました。 受賞内容は、現在、半導体の回路パターンは高価な装置を用いて作製されているため、コストが大きく消費電力も膨大となっています。そこで回路パターンが刻まれたモールドを作製し、押し当てることでパターンを複製するナノインプリント技術が注目されています。これにより消費電力を大幅に抑えることができ、スループットも上がります。しかし、この技術には大きな問題が一つあります。それはスタンプを押し当てた時に気泡が入ってしまい、理想の複製パターンが得られないことです。そこで本研究では、側面を開口させた三次元構造のパターンを作製しました。これにより開口部から気泡を取り除くことで、気泡の影響のない充填挙動の観察が可能となり、ナノインプリントの充填挙動の理解が進みました。これらの研究データを用いてポスターを作成し、Student Poster AwardのProcess awardを受賞しました。
副賞として賞状と、クリスタルの盾が贈呈されました。

受賞日

2022年10月7日

関連リンク
The 22nd Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference (NNT2022)
Student Poster Award
公益社団法人応用物理学会

谷口研究室
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