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2022.11.22 Tue UP

本学大学院生がNNT2022においてStudent Poster AwardのProcess awardを受賞

本学大学院生がThe 22nd Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference(NNT2022)においてStudent Poster AwardのProcess awardを受賞しました。

受賞者
先進工学研究科 電子システム工学専攻 修士課程1年 村上 湧祐
指導教員
先進工学部 電子システム工学科 教授 谷口 淳
受賞題目
Investigation of filling behavior of UV nanoimprint by bridge structure
内容
この度「橋掛け構造によるUVナノインプリントの充填挙動の調査」という題目で、公益社団法人応用物理学会 The 22nd Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference(NNT2022)でStudent Poster AwardのProcess awardという栄誉を賜りました。 受賞内容は、現在、半導体の回路パターンは高価な装置を用いて作製されているため、コストが大きく消費電力も膨大となっています。そこで回路パターンが刻まれたモールドを作製し、押し当てることでパターンを複製するナノインプリント技術が注目されています。これにより消費電力を大幅に抑えることができ、スループットも上がります。しかし、この技術には大きな問題が一つあります。それはスタンプを押し当てた時に気泡が入ってしまい、理想の複製パターンが得られないことです。そこで本研究では、側面を開口させた三次元構造のパターンを作製しました。これにより開口部から気泡を取り除くことで、気泡の影響のない充填挙動の観察が可能となり、ナノインプリントの充填挙動の理解が進みました。これらの研究データを用いてポスターを作成し、Student Poster AwardのProcess awardを受賞しました。
副賞として賞状と、クリスタルの盾が贈呈されました。
受賞日
2022年10月7日

関連リンク
The 22nd Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference (NNT2022)
Student Poster Award
公益社団法人応用物理学会

谷口研究室
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本学大学院生がNNT2022においてStudent Poster AwardのProcess awardを受賞