ニュース＆イベント NEWS & EVENTS

本学教員が2021年度キオクシア奨励研究に採択されました。

選出者

研究推進機構　総合研究院　講師　野島 雅

採択題目

2021年度キオクシア(旧：東芝メモリ)奨励研究

内容

当該研究制度は、2018年度東芝メモリ奨励研究より開始され2020年度よりキオクシア奨励研究として情報処理、AI関連技術をはじめ半導体回路設計・デバイス・製造・プロセス技術等の独創的なテーマについて照準を定め、厳密なる審査により採択されてきました。テーマは「元素選択型・集束イオンビーム(FIB)の形成技術に関する研究」であり、本来、元素選択が容易に定まらない集束イオンビーム(FIB)のイオン源に関して、独自開発の独自開発のイオン源およびマスフィルター技術を導入して元素選択型イオンビームを形成します。本研究は、次世代半導体製造プロセスに応用することのできる画期的な技術です。

採択日

2021年7月6日

■キオクシア株式会社
https://www.kioxia.com/ja-jp/top.html
■2021年度 キオクシア奨励研究
https://about.kioxia.com/ja-jp/news/2021/20210301-1.html

■野島研究室
研究室のページ：https://www.rs.noda.tus.ac.jp/~mnojima/
野島講師のページ：https://www.tus.ac.jp/academics/teacher/p/index.php?3fcc

■研究推進機構　総合研究院：https://rist.tus.ac.jp/