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小林 篤准教授がISPlasma 2025においてMasaru Hori Prizeを受賞
先進工学部 マテリアル創成工学科 小林 篤准教授がISPlasma 2025においてMasaru Hori Prizeを受賞しました。
- 受賞者
- 先進工学部 マテリアル創成工学科 准教授 小林 篤
- 受賞題目
- Masaru Hori Prize 2025
- 内容
-
小林准教授は、約20年にわたり窒化物薄膜材料のパルススパッタ成膜の研究に取り組んできました。本成膜技術は、金属材料のパルススパッタリングと高密度窒素プラズマを組み合わせることで、高品質な窒化物薄膜の成長を可能にします。
特に、小林准教授は、GaN半導体の極性制御、赤色LED向けの高In組成InGaNの低温成長、量子コンピューティングの量子ビット応用を目的としたNbN超伝導体の成膜、さらには6G以降の高周波電子デバイスへの応用を見据えたScAlN強誘電体の開発に取り組んでいます。これらの研究は、窒化物半導体の新たな可能性を切り拓くものであり、その学術的・技術的貢献が高く評価され、本賞の受賞に至りました。
- 受賞日
- 2025年2月11日
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ISPlasma 2025
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- 受賞
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