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2024.06.05 Wed UP
第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会において本学大学院生が発表奨励賞を受賞
第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会において本学大学院生が発表奨励賞を受賞しました。
- 受賞者
- 先進工学研究科 マテリアル創成工学専攻 修士課程1年 奥田 朋也
- 指導教員
- 先進工学部 マテリアル創成工学科 准教授 小林 篤
- 受賞題目
- AlGaN/GaN HEMT構造上へのScAlN薄膜エピタキシャル成長
- 内容
- 本発表では、GaN-HEMT用の新規バリア層材料として注目を集めているScAlN薄膜のエピタキシャル成長に関する成果を報告した。様々な組成を有するScAlN薄膜をスパッタ法で作製し、HEMT構造の特性評価を行うことで、格子定数や電気特性の組成依存性を明らかにした。新規材料に関する詳細な解析結果が評価され、発表奨励賞を授与された。
- 受賞日
- 2024年5月31日
関連リンク
受賞者一覧
ナノ構造・エピタキシャル成長分科会
日本結晶成長学会
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