Top > Back > 学会発表 の検索結果 577 件中 451‐480 件目
| Ion-beam lithography by use of highly charged Ar-ion beam |
| [ 共同発表者名 ] Sadao Momota, Shingo Iwamitsu, Shougo Goto,Yoichi Nojiri, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Hirohisa Ohno |
| [ 学会・会議名 ] 11th International Conference on Ion Sources (ICIS 05) |
| [ 発表日付 ] 2005年9月13日 |
| EUVミラー加工を目的としたIBF装置の開発 |
| [ 共同発表者名 ] 沼田 敦史、安藤 学、宮本 岩男、谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年7月8日 |
| Investigation of Application Availability of UV-NIL by Using Several Types of Photo-curable Resin |
| [ 共同発表者名 ] Nobuji Sakai, Jun Taniguchi, Kenshi Kawaguchi,Makoto Ohtaguchi and Tamano Hirasawa |
| [ 学会・会議名 ] 22ndst Conference of Photopolymer Science and Technology |
| [ 発表日付 ] 2005年6月23日 |
| Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD |
| [ 共同発表者名 ] N. Sakamoto, Y. Kogo, T. Yasuno, J. Taniguchi, I Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] 2nd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2005 |
| [ 発表日付 ] 2005年6月22日 |
| Ion beam processing of single crystal diamond using SOG mask |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、大野 博久、河端 雄作、宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] The eighth international symposium on sputtering & plasma processes (ISSP 2005) |
| [ 発表日付 ] 2005年6月9日 |
| Fabrication Techniques of 3-Dimensional Mold for Nanoimprint Technology |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 5th Japan-Korea Joint Symposium on Micro Fabrication |
| [ 発表日付 ] 2005年2月25日 |
| THREE DIMENSIONAL NANO FABRICATION OF SINGLE CRYSTAL SILICON BY FOCUSED ION BEAM AND SUBSEQUENT WET CHMICAL ETCHING |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、他6名 |
| [ 学会・会議名 ] The Seventh International Conference on Progress of Machining Technology |
| [ 発表日付 ] 2004年12月10日 |
| UV-nanoimprint Lithography using new photo-curable materials and 3-Demensional patteening method. |
| [ 共同発表者名 ] 川口 賢士、谷口 淳、宮本 岩男、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] The 11th International Display Workshops |
| [ 発表日付 ] 2004年12月9日 |
| A new photo-curable material with high thermal stability for nanoimprint lithography. |
| [ 共同発表者名 ] 宮澤 孝之、久積 健志、谷口 淳、他3名 |
| [ 学会・会議名 ] Third international conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology |
| [ 発表日付 ] 2004年12月2日 |
| 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細構造形成 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、他5名 |
| [ 学会・会議名 ] 生産と加工に関する学術講演会2004 |
| [ 発表日付 ] 2004年11月20日 |
| Prevention effect of insulator substrate charge-up during ion beam figuring. |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、岩瀬 浩太郎、宮本 岩男、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] Third International Extreme Ultra Violet Lithography Symposium |
| [ 発表日付 ] 2004年11月2日 |
| Surface roughness of optical substrate finished by ion beam figuring. |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、岩瀬 浩太郎、吉川 暢一、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] Third International Extreme Ultra Violet Lithography Symposium |
| [ 発表日付 ] 2004年11月2日 |
| Development of ion beam figuring system for mirror shape correction of minute area. |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、他3名 |
| [ 学会・会議名 ] Third International Extreme Ultra Violet Lithography Symposium |
| [ 発表日付 ] 2004年11月2日 |
| Basic examinations of shape correction machining of minute area by ion beam figuring. |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、他3名 |
| [ 学会・会議名 ] Third International Extreme Ultra Violet Lithography Symposium |
| [ 発表日付 ] 2004年11月2日 |
| Fabrication of Low Line Edge Roughness Mold by SOG Replica Method. |
| [ 共同発表者名 ] 倉島 優一、山嵜 直人、谷口 淳、宮本 岩男、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2004年10月28日 |
| FIB-CVD法により作製したDLC構造体の機械的特性と微細構造観察 |
| [ 共同発表者名 ] 八木 貴弘、向後 保雄、宮本 岩男、谷口 淳、学外3名 |
| [ 学会・会議名 ] 日本材料学会マイクロマテリアルシンポジウム |
| [ 発表日付 ] 2004年9月28日 |
| EUV露光装置用光学素子加工技術の開発 |
| [ 共同発表者名 ] 宮本 岩男、谷口 淳、他4名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月17日 |
| 多価Arビームを用いたマイクロ加工 −多価効果− |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、大野 博久、他4名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月16日 |
| SOGのイオンビーム露光特性 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、古関 健太郎、大野 博久、向後 保雄、宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月16日 |
| 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細構造形成（第1報） −エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造への応用− |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、他7名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月16日 |
| FIB-CVD法により作成したDLCの圧縮試験 |
| [ 共同発表者名 ] 向後 保雄、寶諸 知史、宮本 岩男、谷口 淳、学外3名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度日本精密工学会秋期大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月15日 |
| FIB-CVD法によるDLCの作製と機械的特性 |
| [ 共同発表者名 ] 八木 貴弘、向後 保雄、谷口 淳、宮本 岩男、他3名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月15日 |
| FIB-CVD法により作製したDLCの圧縮試験 |
| [ 共同発表者名 ] 寶諸 知史、向後 保雄、谷口 淳、宮本 岩男、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月15日 |
| SOG電子ビームレジストを用いた曲面形状の作製 |
| [ 共同発表者名 ] 細谷 敬史、谷口 淳、宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月15日 |
| IBFによる光学素子材料の加工 第4報 −イオンビームの安定性について− |
| [ 共同発表者名 ] 白崎 吉徳、岩瀬 浩太郎、谷口 淳、宮本 岩男、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月15日 |
| Application of Highly Charged Ar Ion Beams to Ion Beam Lithography |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、大野 博久、他4名 |
| [ 学会・会議名 ] 14th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 2004), |
| [ 発表日付 ] 2004年9月7日 |
| FIB-CVD法により作製したアモルファスカーボンの微細構造と力学特性 |
| [ 共同発表者名 ] 向後 保雄、宮本 岩男、谷口 淳、八木 貴弘、学外2名 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会秋季学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2004年9月3日 |
| 無機レジスト材料のイオンビーム露光 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、古関 健太郎、大野 博久、宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2004） |
| [ 発表日付 ] 2004年9月3日 |
| ダイヤモンドのナノスケール加工技術 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、大野 博久、宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2004） |
| [ 発表日付 ] 2004年9月2日 |
| 無機材料を用いた電子ビーム露光とその応用 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮澤 孝之、細谷 敬史、宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2004年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2004） |
| [ 発表日付 ] 2004年9月1日 |
