Top > Back > 学会発表 の検索結果 604 件中 451‐480 件目
| 熱脱離を用いたSOGの現像について —SOGの有機成分含有量が現像性に及ぼす影響について— |
| [ 共同発表者名 ] 阿部幸一、荒木 真、谷口 淳、宮本岩男、小野 進 |
| [ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会 春季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2006年3月15日 |
| WC-Ni系超硬合金基板上にFIB-CVD法を用いて堆積させたDLC膜の表面粗さの評価 |
| [ 共同発表者名 ] 江上恵介、宮本岩男、谷口 淳、向後保雄、倉島優一 |
| [ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会 春季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2006年3月15日 |
| Micro Digital-Holographic Particle-Tracking Velocimetry |
| [ 共同発表者名 ] Shin-ichi Satake, Tomoaki Kunugi, Kazuho Sato, Tomoyoshi Ito, Jun Taniguchi and Hiroyuki Kanamori |
| [ 学会・会議名 ] YAYOI Workshop on PIV (XIV), 11th Micro Visualization Workshop, 3rd Dynamic PIV Workshop |
| [ 発表日付 ] 2006年1月30日 |
| Measurements of 3D flow in Micro pipe and channel via Micro Digital Holographic Particle Tracking Velocimetry |
| [ 共同発表者名 ] Satake, S., Kunugi, T., Sato, K., Ito T., Taniguchi, J., Kanamori, H. |
| [ 学会・会議名 ] American Physical Society |
| [ 発表日付 ] 2005年11月21日 |
| Fabrication of Three-Dimensional HSQ Resist Structure Using Electron Beam Lithography |
| [ 共同発表者名 ] Yasushi Matsubara, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2005) |
| [ 発表日付 ] 2005年10月27日 |
| Electron Beam Lithography using Inorganic Resist at Low Acceleration Voltage |
| [ 共同発表者名 ] Yoshiaki Ishii, Jun Taniguchi, Kiyoshi Ishikawa, Y. Sakamoto, I.Sato and Iwao Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2005) |
| [ 発表日付 ] 2005年10月27日 |
| Optimization of Processing Condition for Deposition of DLC using FIB-CVD Method |
| [ 共同発表者名 ] Naomichi SAKAMOTO, Yasuo KOGO, Takahiro YAGI, Takuya YASUNO, Jun TANIGUCHI and Iwao MIYAMOTO |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年10月22日 |
| Nano-order Rapid Patterning of Quartz Surface Using Focused Ion Beam |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Takaaki Nakao, Yasuo Kogo, Iwao Miyamoto, Noritaka Kawasegi, Noboru Morita and Sadao Momota |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年10月21日 |
| Pattern Transfer of Sol-Gel Photocurable Polymer Using Nanoimprinting Method |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Tsuyoshi Hisazumi, Iwao Miyamoto and Keiji Kubo |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年10月21日 |
| Three-dimensional Nano-pattern Replication Using UV Nanoimprint Lithography |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Takayuki Miyazawa, Yoshiaki Ishii, Tsuyoshi Hisazumi and Iwao Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年10月21日 |
| Deep Structure Fabrication of Silicon Utilizing High-Energy Ion Irradiation Followed by Wet Chemical Etching |
| [ 共同発表者名 ] Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Sadao Momota, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年10月21日 |
| Three-Dimensional Mold Fabrication Techniques |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] The 4th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT'05) |
| [ 発表日付 ] 2005年10月20日 |
| 集束イオンビームによる石英の高速ナノ加工 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口淳、中尾高顕、向後保雄、宮本岩男、川堰宣隆、森田昇、百田左多生 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月27日 |
| FIB-CVD 法におけるDLC の蒸着加工特性 |
| [ 共同発表者名 ] 坂本直道, 向後保雄, 安野拓也, 谷口淳, 宮本岩男 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月27日 |
| 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細加工 第２報：金属ガラスの微細構造形成 |
| [ 共同発表者名 ] 川堰宣隆、森田昇、山田茂、高野登、大山達雄、芦田極、谷口淳、宮本岩男、百田左多生、大船仁 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月27日 |
| Measurements of 3D flow in Micro pipe via Micro Digital Holographic Particle Tracking Velocimetry |
| [ 共同発表者名 ] Satake, S., Kunugi, T., Sato, K., Ito T., Taniguchi, J. Kanamori, H. |
| [ 学会・会議名 ] 6th International Symposium on Particle Image Velocimetry |
| [ 発表日付 ] 2005年9月22日 |
| Rapid and three-dimensional nanoimprint template fabrication technology using focused ion beam lithography |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Kentaro Koga, Yasuo Kogo and Iwao Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE 2005) |
| [ 発表日付 ] 2005年9月20日 |
| イオンビーム照射と化学エッチングを併用した微細構造形成(第2報) —金属ガラスの微細構造形成— |
| [ 共同発表者名 ] 川堰宣隆、森田 昇、山田 茂、高野 登、大山達雄、芦田 極、谷口 淳、宮本岩男、百田佐多生、大船 仁 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月17日 |
| 集束イオンビーム照射とウエットエッチングを併用した石英の微細加工 |
| [ 共同発表者名 ] 中尾高顕、谷口 淳、向後保雄、宮本岩男、川堰宣隆、森田 昇、百田佐多生 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月17日 |
| 熱脱離を用いたSOGの現像について |
| [ 共同発表者名 ] 荒木 真、谷口 淳、宮本岩男 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月16日 |
| IBFによる光学素子材料の加工 第6報 —数mmのアパーチュアーによるイオンビームの成形— |
| [ 共同発表者名 ] 島田桂輔、田島知典、宮本岩男、谷口 淳、倉島優一、沼田淳史、安藤 学 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月15日 |
| SOGレジストマスクパターンのSiウエハへのイオンビーム転写 |
| [ 共同発表者名 ] 川口賢士、大野博久、石井良明、谷口 淳、宮本岩男 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月15日 |
| IBFによる光学素子材料の加工 第5報 —ファラデーカップアレイによるイオンビームプロファイルの測定— |
| [ 共同発表者名 ] 堤 敏彦、白崎吉徳、宮本岩男、谷口 淳、倉島優一、沼田敦司、安藤 学 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月15日 |
| 電子ビーム照射におけるSOGレジストの表面電位の測定 |
| [ 共同発表者名 ] 柳田慎一郎、谷口 淳、宮本岩男 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月15日 |
| 電子線露光を用いたHSQレジストの立体構造の作製 |
| [ 共同発表者名 ] 松原 靖、谷口 淳、宮本岩男 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月15日 |
| SOGレジストの電子ビーム露光特性 —加速電圧を変化させたときの露光深さ分解能— |
| [ 共同発表者名 ] 石井良明、谷口 淳、宮本岩男、小野 進 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年9月15日 |
| Micro-Compression test of DLC produced by FIB-CVD |
| [ 共同発表者名 ] Yasuo Kogo, Naomichi Sakamoto, Tomofumi Hosho, Takuya Yasuno, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto |
| [ 学会・会議名 ] 6th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology |
| [ 発表日付 ] 2005年9月14日 |
| Ion-beam lithography by use of highly charged Ar-ion beam |
| [ 共同発表者名 ] Sadao Momota, Shingo Iwamitsu, Shougo Goto,Yoichi Nojiri, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Hirohisa Ohno |
| [ 学会・会議名 ] 11th International Conference on Ion Sources (ICIS 05) |
| [ 発表日付 ] 2005年9月13日 |
| EUVミラー加工を目的としたIBF装置の開発 |
| [ 共同発表者名 ] 沼田 敦史、安藤 学、宮本 岩男、谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] |
| [ 発表日付 ] 2005年7月8日 |
| Investigation of Application Availability of UV-NIL by Using Several Types of Photo-curable Resin |
| [ 共同発表者名 ] Nobuji Sakai, Jun Taniguchi, Kenshi Kawaguchi,Makoto Ohtaguchi and Tamano Hirasawa |
| [ 学会・会議名 ] 22ndst Conference of Photopolymer Science and Technology |
| [ 発表日付 ] 2005年6月23日 |
