東京理科大学　研究者情報データベース　

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FIB-CVD法による微細パターンを金型としたときの転写性に関する研究

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳、青山　有紀子、久積　健志、松原　靖、荒木　真、八木　貴弘、向後　保雄、宮本　岩男

[ 学会・会議名 ] 平成16年度塑性加工春季講演会

[ 発表日付 ] 2004年5月21日

3D MOLD FABRICATION TECHNIQUES USHING INORGANIC RESIST

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳、宮本　岩男、他3名

[ 学会・会議名 ] Magnetro Optical Recording International Symposium 2004,

[ 発表日付 ] 2004年5月18日

3-dimensional nano fabrication process of quartz

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳、飯田　将道、宮澤　孝之、宮本　岩男

[ 学会・会議名 ] EEE 2004 9th International Symposium and Exhibition on Advanced Pacaging Material,

[ 発表日付 ] 2004年3月25日

3D Imprint Technology Using SOG Resist

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳、飯田　将道、宮澤　孝之、宮本　岩男

[ 学会・会議名 ] EEE 2004 9th International Symposium and Exhibition on Advanced Pacaging Material, Grand Hyatt,

[ 発表日付 ] 2004年3月23日

IBFによる光学素子材料の加工　第3報　−表面粗さの特徴についてー

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳

[ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2004年3月18日

IBFによる光学素子材料の加工　第3報−表面粗さの特徴について−

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳、岩瀬　浩太郎、吉川　暢一、宮本　岩男、他2名

[ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会春季大会学術講演会　

[ 発表日付 ] 2004年3月18日

FIBｰCVD法によるDLCのコーティングおよびその機械的特性

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳

[ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2004年3月16日

SOGをマスクとしたダイヤモンドの微細加工特性

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳

[ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2004年3月16日

SOGをマスクとしたダイヤモンドの微細加工特性

[ 共同発表者名 ] 大野　博久、河端　雄作、谷口　淳、宮本　岩男、他2名

[ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2004年3月16日

FIB-CVD法によるDLCのコーティングおよびその機械的特性

[ 共同発表者名 ] 八木　貴弘、向後　保雄、谷口　淳、宮本　岩男、他1名

[ 学会・会議名 ] 2004年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2004年3月16日

Three-dimensional micro pattern fabrication process for disposable nanofluidic/microfluidic and biochemical devices

[ 共同発表者名 ]

[ 学会・会議名 ] The first International Symposium on Micro & Nano Technology

[ 発表日付 ] 2004年3月

3-Dimensional Nano Fabrication Process of Quartz

[ 共同発表者名 ]

[ 学会・会議名 ] IEEE 2004 9th International Symposium and Exhibition on Advanced Pacaging Materials

[ 発表日付 ] 2004年3月

3D Imprint Technology Using SOG Resist

[ 共同発表者名 ]

[ 学会・会議名 ] 1st International Workshop on Nano & Bio-Electronics Pacaging

[ 発表日付 ] 2004年3月

Fabrication of Low Line Edge Roughness Mold for Photo-Nanoimprint

[ 共同発表者名 ] 倉島　優一、山嵜　直人、谷口　淳、宮本　岩男、他5名

[ 学会・会議名 ] 2003 International Microprocess and Nanotechnology Conference,

[ 発表日付 ] 2003年10月31日

3D IMPRINT TECHNOLOGY USING SUBSTRATE VOLTAGE CHANGING METHOD

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳、飯田　将道、宮沢　孝之、宮本　岩男、他1名

[ 学会・会議名 ] 1st International Meeting on Applied Physics APHYS-2003

[ 発表日付 ] 2003年10月15日

Photo-curing imprint technology using 3D-DLC mold

[ 共同発表者名 ] 松原　靖、谷口　淳、向後　保雄、宮本　岩男、他1名

[ 学会・会議名 ] 1st International Meeting on Applied Physics APHYS-2003

[ 発表日付 ] 2003年10月15日

FIB-CVD法によるナノギャップ電極の作製

[ 共同発表者名 ] 荒木　真、谷口　淳、向後　保雄、宮本　岩男