Top > Back > 学会発表 の検索結果 577 件中 511‐540 件目
| IBFによる光学素子材料の加工 第1報 −反応性ガスを用いたときの加工特性− |
| [ 共同発表者名 ] 吉川 暢一、岩瀬 浩太郎、谷口 淳、宮本 岩男、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] 2003年年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2003年10月2日 |
| 光ナノインプリント用低ラインエッジラフネスモールドの作製 |
| [ 共同発表者名 ] 倉島 優一、山嵜 直人、川﨑 剛史、谷口 淳、宮本 岩男、他3名 |
| [ 学会・会議名 ] 第64回応用物理学会学術講演会（2003年秋） |
| [ 発表日付 ] 2003年9月1日 |
| DLCモールドによる光インプリント転写特性 |
| [ 共同発表者名 ] 松原 靖、谷口 淳、川﨑 剛史、宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 第64回応用物理学会学術講演会（2003年秋） |
| [ 発表日付 ] 2003年9月1日 |
| 光硬化インプリントにおけるモールド表面処理剤の寿命評価 |
| [ 共同発表者名 ] 川崎 剛史、谷口 淳、宮本 岩男、向後 保雄、他2名 |
| [ 学会・会議名 ] 第50回応用物理学関係連合講演会 |
| [ 発表日付 ] 2003年3月27日 |
| 光硬化インプリントへの３層レジストプロセスの適用 |
| [ 共同発表者名 ] 井上 省次、倉島 優一、谷口 淳、他3名 |
| [ 学会・会議名 ] 第50回応用物理学関連連合講演会 |
| [ 発表日付 ] 2003年3月27日 |
| 集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工（第2報） |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、他4名 |
| [ 学会・会議名 ] 2003年度精密工学会春季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2003年3月26日 |
| 表面活性化接合を用いたナノインプリントリソグラフィ |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，泉 賢之 |
| [ 学会・会議名 ] 9th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics" (Mate 2003) |
| [ 発表日付 ] 2003年2月 |
| シンクロトロン放射光加工におけるマスク材料としてのSOGの適用 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，竹澤 悟 |
| [ 学会・会議名 ] 9th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics" (Mate 2003) |
| [ 発表日付 ] 2003年2月 |
| シンクロトロン放射光加工におけるマスク材料としてのSOGの適用 |
| [ 共同発表者名 ] 宮本岩男，竹澤 悟 |
| [ 学会・会議名 ] 9th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics" (Mate 2003) |
| [ 発表日付 ] 2003年2月 |
| 表面活性化接合を用いたナノインプリントリソグラフィ |
| [ 共同発表者名 ] 宮本岩男，泉 賢之 |
| [ 学会・会議名 ] 9th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics" (Mate 2003) |
| [ 発表日付 ] 2003年2月 |
| PMMAのシンクロトロン放射光加工におけるマスク材料としてのSOGの検討 |
| [ 共同発表者名 ] 竹澤 悟，宮本岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 第16回日本放射光学会年会合同シンポジウム |
| [ 発表日付 ] 2003年1月 |
| PMMAのシンクロトロン放射光加工におけるマスク材料としてのSOGの検討 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，竹澤 悟，宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 第16回日本放射光学会年会合同シンポジウム |
| [ 発表日付 ] 2003年1月 |
| Multi Gradation Imprint Technology Using SOG Mold |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] First International Conference on Nanoimprint Nanoprint Technology |
| [ 発表日付 ] 2002年12月12日 |
| Elimination of Bubble Defects during Nanoimprint in Atmospheric Ambient |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，笠原 信行，倉島 優一 |
| [ 学会・会議名 ] First International Conference on Nanoimprint Nanoprint Technology |
| [ 発表日付 ] 2002年12月 |
| Multi Gradation Imprint Technology Using SOG Mold |
| [ 共同発表者名 ] 飯田 将道 竹澤 悟 倉島 優一 宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] First International Conference on Nanoimprint Nanoprint Technology |
| [ 発表日付 ] 2002年12月 |
| LINE EDGE ROUGHNESS MEASUREMENTS IN NANOIMPRINT USING PHOTO-SOLIDIFIED POLYMER |
| [ 共同発表者名 ] 倉島 優一 |
| [ 学会・会議名 ] First International Conference on Nanoimprint Nanoprint Technology |
| [ 発表日付 ] 2002年12月 |
| Elimination of Bubble Defects during Nanoimprint in Atmospheric Ambient |
| [ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 笠原 信行 倉島 優一 |
| [ 学会・会議名 ] First International Conference on Nanoimprint Nanoprint Technology |
| [ 発表日付 ] 2002年12月 |
| LINE EDGE ROUGHNESS MEASUREMENTS IN NANOIMPRINT USING PHOTO-SOLIDIFIED POLYMER |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，倉島 優一 |
| [ 学会・会議名 ] First International Conference on Nanoimprint Nanoprint Technology, |
| [ 発表日付 ] 2002年12月 |
| PMMA direct patterning by Synchrotron Radiation using SOG mask |
| [ 共同発表者名 ] 竹澤 悟 宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| 3D Imprint Technology Using SOG Mold |
| [ 共同発表者名 ] 飯田 将道 竹澤 悟 倉島 優一 宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| Evaluation of line edge roughness in nanoimprint using photo-curable polymer |
| [ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 倉島 優一 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| Pattern Defects of Nanoimprint in Atmospheric Conditions |
| [ 共同発表者名 ] 笠原 信行 倉島 優一 宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| SOGをマスクとしたシンクロトロン放射光による微細加工 |
| [ 共同発表者名 ] 竹澤 悟 宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 生産と加工に関する学術講演会2002（第４回生産加工・工作機械部門講演会） |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| Pattern Defects of Nanoimprint in Atmospheric Conditions |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，笠原 信行，倉島 優一，宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| 3D Imprint Technology Using SOG Mold |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，飯田 将道，竹澤 悟，倉島 優一，宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| SOGをマスクとしたシンクロトロン放射光による微細加工 |
| [ 共同発表者名 ] 宮本 岩男，谷口 淳，竹澤 悟 |
| [ 学会・会議名 ] 生産と加工に関する学術講演会2002（第４回生産加工・工作機械部門講演会） |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| Evaluation of line edge roughness in nanoimprint using photo-curable polymer |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，倉島 優一 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| PMMA direct patterning by Synchrotron Radiation using SOG mask |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，竹澤 悟，宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
| [ 発表日付 ] 2002年11月 |
| 表面活性化接合によるナノインプリントリソグラフィ |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，泉 賢之 |
| [ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2002年10月 |
| 単結晶ダイヤモンドの反応性イオンビーム援用化学加工とXPSによる照射損傷評価 |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，河端 雄作 |
| [ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2002年10月 |
