Top > Back > 学会発表 の検索結果 577 件中 361‐390 件目
| PEB effect in a thick inorganic positive EB resist film |
| [ 共同発表者名 ] Miyako Shizuno, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi and Kiyoshi Ishikawa |
| [ 学会・会議名 ] The 3rd International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2009年3月5日 ～ 3月6日 |
| Strain field in Si mold on UV-nanoimprint lithography |
| [ 共同発表者名 ] J. Taniguchi, K. Osari, Y. Morihira |
| [ 学会・会議名 ] The 3rd International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2009年3月5日 ～ 3月6日 |
| 金属堆積膜を用いた高アスペクト構造のナノインプリントに関する研究 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸, 谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 成形加工シンポジア’０８ |
| [ 発表日付 ] 2008年11月1日 ～ 11月1日 |
| UVロールナノインプリント技術と転写特性 |
| [ 共同発表者名 ] 荒谷 方生，海野 徳幸, 柴崎 智隆，坂井 信支，水野 潤，庄子 習一，谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 成形加工シンポジア’０８ |
| [ 発表日付 ] 2008年11月1日 ～ 11月1日 |
| Nanoprint lithography of metal nano-patterns on plastic films |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hirosi Sakaguchi |
| [ 学会・会議名 ] 34nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2008 |
| [ 発表日付 ] 2008年9月18日 ～ 9月18日 |
| Filling behavior of UV nanoimprint resin using midair structure mold |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Noriyuki Unnno, Nobuji Sakai |
| [ 学会・会議名 ] 34nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2008 |
| [ 発表日付 ] 2008年9月16日 ～ 9月16日 |
| 離型層にF-DLCを用いた場合の光ナノインプリントにおける離型性の調査(2a-M-7) |
| [ 共同発表者名 ] 八代 輝彦，坂井信支，大幸武司，田中祥和，中東孝浩，谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2008年9月2日 |
| Water-evaporation characteristics of nano-structure surface |
| [ 共同発表者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi |
| [ 学会・会議名 ] 3rd Energy Nanotechnology International Conference, ENIC2008 |
| [ 発表日付 ] 2008年8月12日 |
| Direct printing of metal nano-patterns on plastic films using hard stamp nanoprint lithography |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hirosi Sakaguchi |
| [ 学会・会議名 ] 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008) |
| [ 発表日付 ] 2008年7月15日 |
| Fabrication of 30-nm-diameter nano-dot-array mold and characteristics of pattern transfer in UV-nanoimprint |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Tetsuro Manabe, Kenta Ogino, Kiyoshi Ishikawa |
| [ 学会・会議名 ] 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008) |
| [ 発表日付 ] 2008年7月14日 |
| Fabrication and forming process observation of anti-reflection structures on glassy carbon surface |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Yoshimi Nemoto, Yuusuke Katou |
| [ 学会・会議名 ] 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008) |
| [ 発表日付 ] 2008年7月14日 |
| 45nm以下のドットモールド作製方法とＵＶナノインプリントでの転写性 |
| [ 共同発表者名 ] 眞鍋 徹郎, 荻野 健太, 谷口 淳, 石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月4日 ～ 6月4日 |
| 無機レジストを用いたナノインプリントモールドの作製とPEB効果による近接効果の低減 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸, 静野 観椰子, 谷口 淳,石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月4日 ～ 6月4日 |
| ナノプリント技術による金属微細パターン転写 |
| [ 共同発表者名 ] 井手 翔一, 海野 徳幸, 谷口 淳, 坂口 浩司 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月4日 ～ 6月4日 |
| 中空構造モールドの作製とそれを用いたナノインプリント樹脂の充填挙動の観察 |
| [ 共同発表者名 ] 町長 賢一, 山内 瑛樹, 谷口 淳, 坂井 信支 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月4日 ～ 6月4日 |
| 電子ビーム露光法によるロール状ナノインプリントモールドの作製 |
| [ 共同発表者名 ] 荒谷 方生, 荻野 健太, 谷口 淳, 石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月4日 ～ 6月4日 |
| 電子ビーム露光法によるロール状ナノインプリントモールドの作製 |
| [ 共同発表者名 ] 荒谷 方生, 荻野 健太, 谷口 淳, 石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月3日 ～ 6月5日 |
| 中空構造モールドの作製とそれを用いたナノインプリント樹脂の充填挙動の観察 |
| [ 共同発表者名 ] 町長 賢一, 山内 瑛樹, 谷口 淳, 坂井 信支 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月3日 ～ 6月5日 |
| 45nm以下のドットモールド作製方法とＵＶナノインプリントでの転写性 |
| [ 共同発表者名 ] 眞鍋 徹郎, 荻野 健太, 谷口 淳, 石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月3日 ～ 6月5日 |
| 無機レジストを用いたナノインプリントモールドの作製とPEB効果による近接効果の低減 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸, 静野 観椰子, 谷口 淳,石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月3日 ～ 6月5日 |
| ナノプリント技術による金属微細パターン転写 |
| [ 共同発表者名 ] 井手 翔一, 海野 徳幸, 谷口 淳, 坂口 浩司 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月3日 ～ 6月5日 |
| Fabrication of the nanoimprint mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake |
| [ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Miyako Shizuno, Kiyoshi Ishikawa |
| [ 学会・会議名 ] THE 52nd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
| [ 発表日付 ] 2008年5月27日 ～ 5月30日 |
| Fabrication of anti-reflection structures and carbon nanofibers using only ion beam irradiation to glassy carbon |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Yoshimi Nemoto |
| [ 学会・会議名 ] THE 52nd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
| [ 発表日付 ] 2008年5月27日 ～ 5月30日 |
| 無機レジストを用いた電子ビームリソグラフィにおけるPEBの効果と近接効果の評価 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸，静野 観椰子，谷口 淳，石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] 2008年度精密工学会 春季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2008年3月17日 |
| FIB-CVD法によって作製したDLC微小構造体の圧縮挙動 |
| [ 共同発表者名 ] 坂本 直道，向後 保雄，安野 拓也，谷口 淳，宮本 岩男 |
| [ 学会・会議名 ] 2008年度精密工学会 春季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2008年3月17日 |
| イオン表面衝突過程における2 次電子へのエネルギー伝達に関する量子分子動力学解析 |
| [ 共同発表者名 ] 芝原 正彦，佐竹 信一，谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 熱工学コンファレンス2007 主催：日本機械学会熱工学部門 |
| [ 発表日付 ] 2007年11月24日 |
| Fabrication of antireflection structure on glassy carbon surface using electron beam lithography and oxygen dry etching |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Eiki Yamauchi, Yoshimi Nemoto |
| [ 学会・会議名 ] Second International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2007年10月1日 ～ 10月1日 |
| Fabrication of three-dimensional nanoimprint mold using electron beam lithography in consideration of proximity effect |
| [ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi |
| [ 学会・会議名 ] Second International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2007年10月1日 ～ 10月1日 |
| Influence of PEB in inorganic positive EB resist |
| [ 共同発表者名 ] Miyako Sizuno, Jun Taniguchi, Kenta Ogino, Kiyoshi Ishikawa |
| [ 学会・会議名 ] 33rd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2007 |
| [ 発表日付 ] 2007年9月24日 ～ 9月26日 |
| Fabrication of nano-structure on GC using dry etching |
| [ 共同発表者名 ] Yoshimi Nemoto, Jun Taniguchi, Yoshinari Sugiyama |
| [ 学会・会議名 ] 33rd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2007 |
| [ 発表日付 ] 2007年9月24日 ～ 9月26日 |
