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ネガ型電子ビームレジストを用いたグラッシーカーボン上への微細構造物の作製

[ 共同発表者名 ] 山内　瑛樹，谷口　淳

[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会　秋季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2007年9月12日

ドライエッチングによるグラッシーカーボンの微細構造の形成

[ 共同発表者名 ] 根本　佳実，谷口　淳，山内　瑛樹，杉山　嘉也

[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会　秋季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2007年9月12日

低加速電子ビーム露光法による100nmを切るパターニング

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳，海野　徳幸

[ 学会・会議名 ] 2007年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2007）

[ 発表日付 ] 2007年9月7日

集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細加工（第３報） -微細構造形成の高能率化-

[ 共同発表者名 ] 深瀬　達也，川堰　宣隆，森田　昇，高野　登，芦田　極，谷口　淳，宮本　岩男，百田　佐多生

[ 学会・会議名 ] 2007年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2007）

[ 発表日付 ] 2007年9月7日

光ナノインプリントにおける離型性の調査(5p-W-6)

[ 共同発表者名 ] 八代輝彦，太田口　誠，谷口　淳，坂井信支

[ 学会・会議名 ] 2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会

[ 発表日付 ] 2007年9月5日

Quantum Molecular Dynamics Study on Energy Transfer to The Secondary Electron in Surface Collision Process of an Ion

[ 共同発表者名 ] Masahiko Shibahara, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi and Kiyomori Kobayashi

[ 学会・会議名 ] 18th International Symposium on Transport Phenomena(ISTP-18)

[ 発表日付 ] 2007年8月27日～ 8月30日

QUANTUM MOLECULAR DYNAMICS STUDY ON ENERGY TRANSFER TO THE SECONDARY ELECTRON IN SURFACE COLLISION PROCESS OF AN ION

[ 共同発表者名 ] Masahiko Shibahara, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi

[ 学会・会議名 ] 2007 ASME-JSME Thermal Engineering Summer Heat Transfer Conference

[ 発表日付 ] 2007年7月8日～ 7月12日

Fabrication of three-dimensional nanoimprint mold using Bosch process

[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Kenji Kawaguchi, Yoshiaki Ishii and Yoshiya Sugiyama

[ 学会・会議名 ] ISSP2007（The 9th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes）

[ 発表日付 ] 2007年6月7日～ 6月7日

三次元ナノインプリントモールド作製技術とその応用

[ 共同発表者名 ] 海野　徳幸，谷口　淳，石井　良明

[ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会

[ 発表日付 ] 2007年6月7日～ 6月7日

Sub-100nm Three-Dimensional Nano Imprint Lithography

[ 共同発表者名 ] J. Taniguchi, N. Unno, Y. Ishii

[ 学会・会議名 ] THE 51st INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION

[ 発表日付 ] 2007年5月29日～ 6月1日

Ion Beam Lithography Of Quartz

[ 共同発表者名 ] J.Taniguchi, T.Nakao, Y.Kogo, S.Momota, N.Kawasegi, N.Morita

[ 学会・会議名 ] THE 51st INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION

[ 発表日付 ] 2007年5月29日～ 6月1日

集束イオンビームと化学エッチングを併用した微細構造形成（第４報）-微細構造形成の高能率化-

[ 共同発表者名 ] 深瀬達也，川堰宣隆，森田昇，山田茂，高野登，大山達雄，芦田極，谷口淳，宮本岩男，百田佐多生

[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2007年3月22日

FIB-CVD法によって作製したDLC微小構造体とSi基板界面の微細組織解析

[ 共同発表者名 ] 坂本直道，安野拓也，向後保雄，谷口淳，宮本岩男

[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2007年3月21日

多価Arビームを用いたマイクロ加工（第４報）-多価Arビームの照射量依存性-

[ 共同発表者名 ] 岩満慎吾，長尾守，百田佐多生，野尻洋一，谷口淳，宮本岩男，中尾高顕，森田昇，川堰宣隆

[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2007年3月21日

ネガ型電子ビームレジストを用いた三次元構造物の作製およびその応用

[ 共同発表者名 ] 山内　瑛樹，谷口　淳

[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会　秋季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2006年9月20日

熱脱離現像による微細パターン形成

[ 共同発表者名 ] 阿部　幸一，谷口　淳

[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会　秋季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2006年9月20日

誘導結合プラズマを用いた三次元ナノインプリントモールド作製技術

[ 共同発表者名 ] 川口　賢士，石井　良明，谷口　淳，杉山　嘉也

[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会　秋季大会学術講演会

[ 発表日付 ] 2006年9月20日

Fabrication and resolution evaluation of three-dimensional nanoimprint mould using inorganic resist in low acceleration voltage electron beam lithograpy

[ 共同発表者名 ] Yoshiaki Ishii and Jun Taniguchi

[ 学会・会議名 ] The 32nd International Conference on Micro- and Nano Engineering

[ 発表日付 ] 2006年9月17日～ 9月20日

Improving the sensitivity and Line Edge Roughness in inorganic positive Electron Beam resist

[ 共同発表者名 ] Kenta Ogino, Jun Taniguchi, Shin-ichi Satake, Keisuke Yamamoto,Yoshiaki Ishii, Kiyoshi Ishikawa

[ 学会・会議名 ] The 32nd International Conference on Micro- and Nano Engineering

[ 発表日付 ] 2006年9月17日～ 9月20日

集束イオンビームによるナノスケール加工とそのシミュレーション

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳，佐竹　信一，井上　苗土己，芝原　正彦，土田　智之，小俣　有紀子

[ 学会・会議名 ] 2006年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2006）

[ 発表日付 ] 2006年8月26日

低熱膨張材料クリアセラムのイオンビーム加工

[ 共同発表者名 ] 谷口　淳，小野田　裕一，宮本　岩男，尾張　義幸，中島　耕介

[ 学会・会議名 ] 2006年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2006）

[ 発表日付 ] 2006年8月26日

Nano-scale sputtering behavior in Focused Ion Beam processing via Large-Scale Molecular Dynamics Simulation

[ 共同発表者名 ] Satake, S., Inoue, N., Taniguchi, J., Shibahara, M.

[ 学会・会議名 ] Energy Nanotechnology international Conference (ENIC2006)

[ 発表日付 ] 2006年6月27日

Three-dimensional visualization in a micro-flow via micro-digital holographic particle-tracking velocimetry

[ 共同発表者名 ] Shin-ichi Satake, Tomoaki Kunugi, Kazuho Sato, Tomoyoshi Ito, Hiroyuki Kanamori, Jun Taniguchi

[ 学会・会議名 ] The second International Symposium on Micro & Nano Technology (ISMNT-2)

[ 発表日付 ] 2006年3月30日

IBFによる低熱膨張ガラス材料の加工　第1報 —加工速度と表面粗さについて—

[ 共同発表者名 ] 小野田裕一、尾張義幸、中島耕介、谷口　淳、宮本岩男、倉島優一