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SOGを用いて作製したダイヤモンドのマイクロ構造
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,飯田 将道,竹澤 悟,宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年10月
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年10月
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年10月
表面活性化接合によるナノインプリントリソグラフィ
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 泉 賢之
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年10月
単結晶ダイヤモンドの反応性イオンビーム援用化学加工とXPSによる照射損傷評価
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 河端 雄作
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年10月
SOGを用いて作製したダイヤモンドのマイクロ構造
[ 共同発表者名 ] 飯田 将道 竹澤 悟 宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年10月
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2002年度砥粒加工学会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年9月
ダイヤモンドパウダーからの電界電子放出
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男,若林 伸彦
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
ナノインプリント技術における欠陥発生と評価
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,古室 昌徳,笠原 信行,倉島 優一
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
光ナノインプリントにおけるラインエッジラフネス評価
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,古室 昌徳,笠原 信行,倉島 優一
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
SOGモールドを用いた三次元インプリント技術
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,古室 昌徳,笠原 信行,倉島 優一,飯田 将道,竹澤 悟
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
SOGをマスクとしたPMMAのシンクロトロン放射光による加工
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,竹澤 悟,宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
ダイヤモンドパウダーからの電界電子放出
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 若林 伸彦
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
SOGモールドを用いた三次元インプリント技術
[ 共同発表者名 ] 古室 昌徳 笠原 信行 倉島 優一 飯田 将道 竹澤 悟
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2002年度砥粒加工学会学術講演会
[ 発表日付 ] 2002年9月
SOGをマスクとしたPMMAのシンクロトロン放射光による加工
[ 共同発表者名 ] 竹澤 悟 宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季)
[ 発表日付 ] 2002年9月
Improvement of pattern uniformity in photocurable imprinting
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,井上 省二,笠原 信行,宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] SPIE's Microlithography Meeting
[ 発表日付 ] 2002年3月
Measurement of adhesive force between mold and photo-curable resin in imprint technology
[ 共同発表者名 ] 川﨑 剛史,戸叶 雄士,向後 保雄,宮本 岩男,他4名
[ 学会・会議名 ] 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
[ 発表日付 ] 2001年11月2日
Etching of Spin-on-Glass Films by Synchrotron Radiation
[ 共同発表者名 ] 徳永 誠人,宮本 岩男,他2名
[ 学会・会議名 ] 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
[ 発表日付 ] 2001年11月1日
電子・集束イオンビーム援用化学加工によるダイヤモンドの微細加工
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2001年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2001年9月24日
SOGのシンクロトロン放射光による加工
[ 共同発表者名 ] 徳永 誠人,宮本 岩男,他2名
[ 学会・会議名 ] 第62回応用物理学会学術講演会
[ 発表日付 ] 2001年9月13日
光硬化樹脂を用いたインプリント技術における光硬化樹脂の付着力の測定
[ 共同発表者名 ] 川﨑剛史,戸叶雄二,向後 保雄,宮本 岩男,古室 昌徳,他3名
[ 学会・会議名 ] 第62回応用物理学会学術講演会
[ 発表日付 ] 2001年9月12日
ナフテン酸金属塩の酸素イオン耐性の考察
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男、森 克巳、清原 修二
[ 学会・会議名 ] 第4回荷電ビーム超先端加工技術研究会学術講演会
[ 発表日付 ] 2000年12月22日
ナフテン酸金属塩の酸素イオンビーム加工特性
[ 共同発表者名 ] 森 克巳、宮本 岩男、清原 修二
[ 学会・会議名 ] 2000年度精密工学会秋季大会
[ 発表日付 ] 2000年10月8日
ダイヤモンドを用いたインプリントリソグラフィー
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 2000年度精密工学会秋季大会
[ 発表日付 ] 2000年10月8日
Micro-Line Patterning of Polycrystalline and Single-crystal Diamonds using Metal Napthenates in Electron Beam Lithography
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男、森 克巳、清原 修二
[ 学会・会議名 ] 6th Joint Warwick-Tokyo Nanotechnology Symposium
[ 発表日付 ] 2000年9月21日
Nanoimprint lithography by/for diamond
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 
[ 学会・会議名 ] 6th Joint Warwick-Tokyo Nanotechnology Symposium
[ 発表日付 ] 2000年9月19日
Bドープ単結晶ダイヤモンドからの電界電子放出特性
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会
[ 発表日付 ] 2000年9月6日
ECR酸素イオンビームによるダイヤモンドの微細パターン形成
[ 共同発表者名 ] 森 克巳、宮本 岩男、清原 修二
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会
[ 発表日付 ] 2000年9月4日
光硬化樹脂を用いたインプリント技術
[ 共同発表者名 ]
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会
[ 発表日付 ] 2000年9月3日
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