Top > Back > 学会発表 の検索結果 577 件中 541‐570 件目
SOGを用いて作製したダイヤモンドのマイクロ構造 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,飯田 将道,竹澤 悟,宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年10月 |
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年10月 |
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年10月 |
表面活性化接合によるナノインプリントリソグラフィ |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 泉 賢之 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年10月 |
単結晶ダイヤモンドの反応性イオンビーム援用化学加工とXPSによる照射損傷評価 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 河端 雄作 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年10月 |
SOGを用いて作製したダイヤモンドのマイクロ構造 |
[ 共同発表者名 ] 飯田 将道 竹澤 悟 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年10月 |
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度砥粒加工学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
ダイヤモンドパウダーからの電界電子放出 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男,若林 伸彦 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
ナノインプリント技術における欠陥発生と評価 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,古室 昌徳,笠原 信行,倉島 優一 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
光ナノインプリントにおけるラインエッジラフネス評価 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,古室 昌徳,笠原 信行,倉島 優一 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
SOGモールドを用いた三次元インプリント技術 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,古室 昌徳,笠原 信行,倉島 優一,飯田 将道,竹澤 悟 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
SOGをマスクとしたPMMAのシンクロトロン放射光による加工 |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,竹澤 悟,宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
ダイヤモンドパウダーからの電界電子放出 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 若林 伸彦 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
SOGモールドを用いた三次元インプリント技術 |
[ 共同発表者名 ] 古室 昌徳 笠原 信行 倉島 優一 飯田 将道 竹澤 悟 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2002年度砥粒加工学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
SOGをマスクとしたPMMAのシンクロトロン放射光による加工 |
[ 共同発表者名 ] 竹澤 悟 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 第63回応用物理学会学術講演(平成14年秋季) |
[ 発表日付 ] 2002年9月 |
Improvement of pattern uniformity in photocurable imprinting |
[ 共同発表者名 ] 谷口 淳,井上 省二,笠原 信行,宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] SPIE's Microlithography Meeting |
[ 発表日付 ] 2002年3月 |
Measurement of adhesive force between mold and photo-curable resin in imprint technology |
[ 共同発表者名 ] 川﨑 剛史,戸叶 雄士,向後 保雄,宮本 岩男,他4名 |
[ 学会・会議名 ] 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
[ 発表日付 ] 2001年11月2日 |
Etching of Spin-on-Glass Films by Synchrotron Radiation |
[ 共同発表者名 ] 徳永 誠人,宮本 岩男,他2名 |
[ 学会・会議名 ] 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference |
[ 発表日付 ] 2001年11月1日 |
電子・集束イオンビーム援用化学加工によるダイヤモンドの微細加工 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2001年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2001年9月24日 |
SOGのシンクロトロン放射光による加工 |
[ 共同発表者名 ] 徳永 誠人,宮本 岩男,他2名 |
[ 学会・会議名 ] 第62回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2001年9月13日 |
光硬化樹脂を用いたインプリント技術における光硬化樹脂の付着力の測定 |
[ 共同発表者名 ] 川﨑剛史,戸叶雄二,向後 保雄,宮本 岩男,古室 昌徳,他3名 |
[ 学会・会議名 ] 第62回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2001年9月12日 |
ナフテン酸金属塩の酸素イオン耐性の考察 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男、森 克巳、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 第4回荷電ビーム超先端加工技術研究会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年12月22日 |
ナフテン酸金属塩の酸素イオンビーム加工特性 |
[ 共同発表者名 ] 森 克巳、宮本 岩男、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 2000年度精密工学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 2000年10月8日 |
ダイヤモンドを用いたインプリントリソグラフィー |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2000年度精密工学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 2000年10月8日 |
Micro-Line Patterning of Polycrystalline and Single-crystal Diamonds using Metal Napthenates in Electron Beam Lithography |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男、森 克巳、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 6th Joint Warwick-Tokyo Nanotechnology Symposium |
[ 発表日付 ] 2000年9月21日 |
Nanoimprint lithography by/for diamond |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 6th Joint Warwick-Tokyo Nanotechnology Symposium |
[ 発表日付 ] 2000年9月19日 |
Bドープ単結晶ダイヤモンドからの電界電子放出特性 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年9月6日 |
ECR酸素イオンビームによるダイヤモンドの微細パターン形成 |
[ 共同発表者名 ] 森 克巳、宮本 岩男、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年9月4日 |
光硬化樹脂を用いたインプリント技術 |
[ 共同発表者名 ] |
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年9月3日 |