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ナフテン酸金属塩の酸素イオン耐性の考察 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男、森 克巳、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 第4回荷電ビーム超先端加工技術研究会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年12月22日 |
ナフテン酸金属塩の酸素イオンビーム加工特性 |
[ 共同発表者名 ] 森 克巳、宮本 岩男、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 2000年度精密工学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 2000年10月8日 |
ダイヤモンドを用いたインプリントリソグラフィー |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 2000年度精密工学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 2000年10月8日 |
Micro-Line Patterning of Polycrystalline and Single-crystal Diamonds using Metal Napthenates in Electron Beam Lithography |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男、森 克巳、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 6th Joint Warwick-Tokyo Nanotechnology Symposium |
[ 発表日付 ] 2000年9月21日 |
Nanoimprint lithography by/for diamond |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 6th Joint Warwick-Tokyo Nanotechnology Symposium |
[ 発表日付 ] 2000年9月19日 |
Bドープ単結晶ダイヤモンドからの電界電子放出特性 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年9月6日 |
ECR酸素イオンビームによるダイヤモンドの微細パターン形成 |
[ 共同発表者名 ] 森 克巳、宮本 岩男、清原 修二 |
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年9月4日 |
光硬化樹脂を用いたインプリント技術 |
[ 共同発表者名 ] |
[ 学会・会議名 ] 第61回応用物理学会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2000年9月3日 |
Imprinting Characteristics by Photo-Induced Solidification of Liquid Polymer |
[ 共同発表者名 ] |
[ 学会・会議名 ] Microprocesses and Nanotechnology 2000 |
[ 発表日付 ] 2000年7月13日 |
Diamond Mold for Nanoimprint Lithography |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] Microprocesses and Nanotechnology 2000 |
[ 発表日付 ] 2000年7月12日 |
Improvement of pattern uniformity in photocurable imprinting |
[ 共同発表者名 ] 井上省二 笠原信行 宮本岩男 |
[ 学会・会議名 ] SPIE's Microlithography Meeting |
[ 発表日付 ] 2000年3月 |
単結晶ダイヤモンドのリアクティブイオンビーム加工 -ナフテン酸金属塩をマスクとした微細パターン形成- |
[ 共同発表者名 ] 森 克己、宮本 岩男、清原 修二、八木 幸恵 |
[ 学会・会議名 ] 1999年度精密工学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 1999年9月30日 |
電子ビーム援用化学加工法によるダイヤモンドの微細パターン形成 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 1999年度精密工学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 1999年9月30日 |
レジストプロセスを用いた単結晶ダイヤモンドの微細加工 |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] 1999年度精密工学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 1999年9月30日 |
Beam-Assisted-Etching Technique for Fabrication of Single Crystal Diamond Field Emitter Tip |
[ 共同発表者名 ] 宮本 岩男 |
[ 学会・会議名 ] Micro and Nano-Engineering 99 |
[ 発表日付 ] 1999年9月22日 |