Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 210 件中 181‐210 件目
| Fabrication of Low Line Edge Roughness Mold by Spin On Glass (SOG) Replica Method |
| [ 全著者名 ] Yuichi Kurashima, Hiroshi Hiroshima, Masanori Komuro, Naoto Yamazaki, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| [ 掲載年月 ] 2005年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Investigation of Application Availability of UV-NIL by Using Several Types of Photo-curable Resin |
| [ 全著者名 ] Nobuji Sakai, Jun Taniguchi, Kenshi Kawaguchi, Makoto Ohtaguchi and Tamano Hirasawa |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2005年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 （第3報, エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応 用) |
| [ 全著者名 ] 川堰 宣隆, 森田 昇, 山田 茂, 高野 登, 大山 達雄, 芦田 極, 谷口 淳, 宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集（C編） |
| [ 掲載年月 ] 2005年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| 3D Mold Fabrication Techniques Using an Inorganic Resist |
| [ 全著者名 ] J. Taniguchi, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, S. Ono, and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Transaction of the Magnetics Society of Japan |
| [ 掲載年月 ] 2004年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 3D imprint technology using substrate voltage change |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masamichi Iida, Takayuki Miyazawa, Iwao Miyamoto and Kiyoshi Shinoda |
| [ 掲載誌名 ] Applied Surface Science, 238 |
| [ 掲載年月 ] 2004年 9月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 |
| [ 全著者名 ] 川堰 宣隆、柴田 浩一、森田 昇、芦田 極、谷口 淳、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集（C編） |
| [ 掲載年月 ] 2004年 8月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| XPS studies on damage evaluation of single-crystal diamond chips processed with ion beam etching and reactive ion beam assisted chemical etching |
| [ 全著者名 ] 河端 雄作、谷口 淳、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] Diamond and Related Materials |
| [ 掲載年月 ] 2004年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Evaluation of Line Edge Roughness in Nanoimprint Lithography Using Photocurable Polymer |
| [ 全著者名 ] Yuichi Kurashima, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys., |
| [ 掲載年月 ] 2003年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Elimination of Pattern Defects of Nanoimprint under Atomospheric Conditions |
| [ 全著者名 ] Hiroshi Hiroshima, Masanori Komuro, Nobuyuki Kasahara, Yuichi Kurashima and Jun Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys., |
| [ 掲載年月 ] 2003年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 放射光によるSOGの微細加工 |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、神田 一浩、春山 雄一、松井 真二 |
| [ 掲載誌名 ] レーザー協会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2003年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Diamond nanoimprint lithography |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，戸叶 雄二，宮本 岩男，古室 昌徳，廣島 洋 |
| [ 掲載誌名 ] Nanotechnology |
| [ 掲載年月 ] 2002年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Measurement of Adhesive Force Between Mold and Photocurable Resin in Imprint Technology |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，向後 保雄，宮本 岩男，川﨑 剛史，戸叶 雄二，古室 昌徳，廣島 洋，坂井 信支，多田 健太郎 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Uniformity in Patterns Imprinted using Photo-Curable Liquid Polymer |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男 廣島 洋，古室 昌徳 井上 省次 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics Part1, |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Direct Etching of Spin-on Glass Films Exposed Using Synchrotron Radiation |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，神田 一浩，春山 雄一，松井 真二 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Improvement of Imprinted Pattern Uniformity using Sapphire Mold |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，川﨑 剛史，宮本 岩男，戸叶 雄二，古室 昌徳，廣島 洋 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Oxygen ion beam assisted etching of single crystal diamond chips using reactive oxygen gas |
| [ 全著者名 ] K. Mori, I. Miyamoto, J. Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] Journal of materials science: Matherials in Electronics |
| [ 掲載年月 ] 2001年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 超LSI作製のためのリアクティブイオンエッチング技術 |
| [ 全著者名 ] 谷口淳、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] レーザ協会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Preparation of Diamond Mold Using Electron Beam Lithography for Application to Nanoimprint Lithography |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yuji Takono, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics, Part1, |
| [ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Imprint Characteristics by Photo-Induced Solidification of Liquid Polymer |
| [ 全著者名 ] Masanori Komuro, Jun Taniguchi, Seiji Inoue, Naoya Kimura, Yuji Tokano, Hiroshi Hiroshima, Shinji Matsui |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics, Part1, |
| [ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fine Finishing of Diamond Tools with Broad Ion Beams |
| [ 全著者名 ] Iwao Miyamoto, Jun Taniguchi, et al. |
| [ 掲載誌名 ] New Diamond and Frontier Carbon Technology |
| [ 掲載年月 ] 2000年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fine Patterning and Fabrication of Diamond Chips with Electron Beam and Focused-Ion Beam |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] New Diamond and Frontier Carbon Technology 2000 |
| [ 掲載年月 ] 2000年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 高精度表面加工技術の動向 |
| [ 全著者名 ] 宮本 岩男、谷口淳 |
| [ 掲載誌名 ] O plus E |
| [ 掲載年月 ] 2000年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Beam-Assisted-Etching Technique for Fabrication of Single Crystal Diamond Field Emitter Tip |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Junnosuke Yokoyama, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering 53 |
| [ 掲載年月 ] 2000年 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Ion Beam Processing of Niclel-Phosphor Alloy Film Deposited on the Al Plate by Electroless Plating Method |
| [ 全著者名 ] J.Taniguchi, R.Kimura, C.Kageyama, I.Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Precision Science and Technology for Perfect Surfaces (JSPE Publication Series No.3) |
| [ 掲載年月 ] 1999年 8月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Field emission from electron-beam-irradiated bulk diamond |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Applied Surface Science 146 |
| [ 掲載年月 ] 1999年 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Focused-ion-beam-assisted etching of diamond in XeF2 |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Naoto Ohno, Shuuichi Takeda, Iwao Miyamoto, Masanori Komuro |
| [ 掲載誌名 ] Journal of Vacuum Science & Technology B; |
| [ 掲載年月 ] 1998年 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Electron Beam Assisted Chemical Etching of Single-Crystal Diamond Substrates with Hydrogen Gas |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Naoto Ohno, Ken'ichi Kantani, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics; |
| [ 掲載年月 ] 1997年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Utilizing of hydrocarbon contamination for prevention of the surface charge-up at electron-beam assisted chemical etching of a diamond chip |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Naoto Ohno, Satoshi Honda |
| [ 掲載誌名 ] Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B; |
| [ 掲載年月 ] 1997年 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 酸素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工（第1報）－加工特性と線や矩形パターンの作製 － |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 精密工学会誌 |
| [ 掲載年月 ] 1996年 3月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Electron Beam Assisted Chemical Etching of Single Crystal Diamond Substrates |
| [ 全著者名 ] J. Taniguchi, I.Miyamoto, N.Ohno, S.Honda |
| [ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys. |
| [ 掲載年月 ] 1996年 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
