Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 204 件中 181‐204 件目
XPS studies on damage evaluation of single-crystal diamond chips processed with ion beam etching and reactive ion beam assisted chemical etching |
[ 全著者名 ] 河端 雄作、谷口 淳、宮本 岩男 |
[ 掲載誌名 ] Diamond and Related Materials |
[ 掲載年月 ] 2004年 1月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Evaluation of Line Edge Roughness in Nanoimprint Lithography Using Photocurable Polymer |
[ 全著者名 ] Yuichi Kurashima, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
[ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys., |
[ 掲載年月 ] 2003年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Elimination of Pattern Defects of Nanoimprint under Atomospheric Conditions |
[ 全著者名 ] Hiroshi Hiroshima, Masanori Komuro, Nobuyuki Kasahara, Yuichi Kurashima and Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys., |
[ 掲載年月 ] 2003年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
放射光によるSOGの微細加工 |
[ 全著者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、神田 一浩、春山 雄一、松井 真二 |
[ 掲載誌名 ] レーザー協会誌 |
[ 掲載年月 ] 2003年 2月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(日本語) |
Diamond nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,戸叶 雄二,宮本 岩男,古室 昌徳,廣島 洋 |
[ 掲載誌名 ] Nanotechnology |
[ 掲載年月 ] 2002年 10月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Measurement of Adhesive Force Between Mold and Photocurable Resin in Imprint Technology |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,向後 保雄,宮本 岩男,川﨑 剛史,戸叶 雄二,古室 昌徳,廣島 洋,坂井 信支,多田 健太郎 |
[ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
[ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Direct Etching of Spin-on Glass Films Exposed Using Synchrotron Radiation |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男,神田 一浩,春山 雄一,松井 真二 |
[ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
[ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Uniformity in Patterns Imprinted using Photo-Curable Liquid Polymer |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男 廣島 洋,古室 昌徳 井上 省次 |
[ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics Part1, |
[ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Improvement of Imprinted Pattern Uniformity using Sapphire Mold |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,川﨑 剛史,宮本 岩男,戸叶 雄二,古室 昌徳,廣島 洋 |
[ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
[ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Oxygen ion beam assisted etching of single crystal diamond chips using reactive oxygen gas |
[ 全著者名 ] K. Mori, I. Miyamoto, J. Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] Journal of materials science: Matherials in Electronics |
[ 掲載年月 ] 2001年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
超LSI作製のためのリアクティブイオンエッチング技術 |
[ 全著者名 ] 谷口淳、宮本 岩男 |
[ 掲載誌名 ] レーザ協会誌 |
[ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Preparation of Diamond Mold Using Electron Beam Lithography for Application to Nanoimprint Lithography |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yuji Takono, Iwao Miyamoto |
[ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics, Part1, |
[ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Imprint Characteristics by Photo-Induced Solidification of Liquid Polymer |
[ 全著者名 ] Masanori Komuro, Jun Taniguchi, Seiji Inoue, Naoya Kimura, Yuji Tokano, Hiroshi Hiroshima, Shinji Matsui |
[ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics, Part1, |
[ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fine Finishing of Diamond Tools with Broad Ion Beams |
[ 全著者名 ] Iwao Miyamoto, Jun Taniguchi, et al. |
[ 掲載誌名 ] New Diamond and Frontier Carbon Technology |
[ 掲載年月 ] 2000年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fine Patterning and Fabrication of Diamond Chips with Electron Beam and Focused-Ion Beam |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto |
[ 掲載誌名 ] New Diamond and Frontier Carbon Technology 2000 |
[ 掲載年月 ] 2000年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
高精度表面加工技術の動向 |
[ 全著者名 ] 宮本 岩男、谷口淳 |
[ 掲載誌名 ] O plus E |
[ 掲載年月 ] 2000年 5月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Beam-Assisted-Etching Technique for Fabrication of Single Crystal Diamond Field Emitter Tip |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Junnosuke Yokoyama, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Iwao Miyamoto |
[ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering 53 |
[ 掲載年月 ] 2000年 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Ion Beam Processing of Niclel-Phosphor Alloy Film Deposited on the Al Plate by Electroless Plating Method |
[ 全著者名 ] J.Taniguchi, R.Kimura, C.Kageyama, I.Miyamoto |
[ 掲載誌名 ] Precision Science and Technology for Perfect Surfaces (JSPE Publication Series No.3) |
[ 掲載年月 ] 1999年 8月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Field emission from electron-beam-irradiated bulk diamond |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Iwao Miyamoto |
[ 掲載誌名 ] Applied Surface Science 146 |
[ 掲載年月 ] 1999年 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Focused-ion-beam-assisted etching of diamond in XeF2 |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Naoto Ohno, Shuuichi Takeda, Iwao Miyamoto, Masanori Komuro |
[ 掲載誌名 ] Journal of Vacuum Science & Technology B; |
[ 掲載年月 ] 1998年 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Electron Beam Assisted Chemical Etching of Single-Crystal Diamond Substrates with Hydrogen Gas |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Naoto Ohno, Ken'ichi Kantani, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima |
[ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics; |
[ 掲載年月 ] 1997年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Utilizing of hydrocarbon contamination for prevention of the surface charge-up at electron-beam assisted chemical etching of a diamond chip |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Naoto Ohno, Satoshi Honda |
[ 掲載誌名 ] Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B; |
[ 掲載年月 ] 1997年 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
酸素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第1報)-加工特性と線や矩形パターンの作製 - |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男 |
[ 掲載誌名 ] 精密工学会誌 |
[ 掲載年月 ] 1996年 3月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(日本語) |
Electron Beam Assisted Chemical Etching of Single Crystal Diamond Substrates |
[ 全著者名 ] J. Taniguchi, I.Miyamoto, N.Ohno, S.Honda |
[ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys. |
[ 掲載年月 ] 1996年 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |