Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 217 件中 181‐210 件目
| Application of highly charged Ar ion beams to ion beam lithography |
| [ 全著者名 ] S. Momota, Y. Nojiri, Y. Hamagawa, K. Hamaguchi, J. Taniguchi and H. Ohno |
| [ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Thermal Desorption Development of Spin-On Glass for Electron Beam Nanolithography |
| [ 全著者名 ] Makoto ARAKI, Jun TANIGUCHI and Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Three-dimensional flow tracking in a micro channel with high time resolution using micro digital-holographic particle-tracking velocimetry |
| [ 全著者名 ] Satake, S., Kunugi, T., Sato, K., Ito T., Taniguchi J. |
| [ 掲載誌名 ] OPTICAL REVIEW |
| [ 掲載年月 ] 2005年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| FIB-CVD 法を用いて作製した DLC 膜の微細構造解析 |
| [ 全著者名 ] 坂本直道，向後保雄，安野拓也，八木貴弘，谷口 淳，宮本岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 精密工学会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2005年 11月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| FIB-CVD 法によるDLC成形プロセスとその特性評価 |
| [ 全著者名 ] 向後保雄，坂本直道，八木貴弘，安野拓也，谷口 淳，宮本岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 材料 |
| [ 掲載年月 ] 2005年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD |
| [ 全著者名 ] Naomichi Sakamoto, Yasuo Kogo, Takuya Yasuno, Jun Taniguchi, and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES A-SOLID MECHANICS AND MATERIAL ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2005年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ダイヤモンドからの電界電子放出に関する研究 -電界素子放出素子作製法の開発及び電界電子放出中のダイヤモンド表面の電子論的解析- |
| [ 全著者名 ] 荒木 真、谷口 淳、小野 倫也、広瀬 喜久治、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 精密工学会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2005年 8月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Fabrication of Low Line Edge Roughness Mold by Spin On Glass (SOG) Replica Method |
| [ 全著者名 ] Yuichi Kurashima, Hiroshi Hiroshima, Masanori Komuro, Naoto Yamazaki, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| [ 掲載年月 ] 2005年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Investigation of Application Availability of UV-NIL by Using Several Types of Photo-curable Resin |
| [ 全著者名 ] Nobuji Sakai, Jun Taniguchi, Kenshi Kawaguchi, Makoto Ohtaguchi and Tamano Hirasawa |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2005年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 （第3報, エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応 用) |
| [ 全著者名 ] 川堰 宣隆, 森田 昇, 山田 茂, 高野 登, 大山 達雄, 芦田 極, 谷口 淳, 宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集（C編） |
| [ 掲載年月 ] 2005年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| 3D Mold Fabrication Techniques Using an Inorganic Resist |
| [ 全著者名 ] J. Taniguchi, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, S. Ono, and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Transaction of the Magnetics Society of Japan |
| [ 掲載年月 ] 2004年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 3D imprint technology using substrate voltage change |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masamichi Iida, Takayuki Miyazawa, Iwao Miyamoto and Kiyoshi Shinoda |
| [ 掲載誌名 ] Applied Surface Science, 238 |
| [ 掲載年月 ] 2004年 9月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 |
| [ 全著者名 ] 川堰 宣隆、柴田 浩一、森田 昇、芦田 極、谷口 淳、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集（C編） |
| [ 掲載年月 ] 2004年 8月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| XPS studies on damage evaluation of single-crystal diamond chips processed with ion beam etching and reactive ion beam assisted chemical etching |
| [ 全著者名 ] 河端 雄作、谷口 淳、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] Diamond and Related Materials |
| [ 掲載年月 ] 2004年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Evaluation of Line Edge Roughness in Nanoimprint Lithography Using Photocurable Polymer |
| [ 全著者名 ] Yuichi Kurashima, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys., |
| [ 掲載年月 ] 2003年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Elimination of Pattern Defects of Nanoimprint under Atomospheric Conditions |
| [ 全著者名 ] Hiroshi Hiroshima, Masanori Komuro, Nobuyuki Kasahara, Yuichi Kurashima and Jun Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] Jpn. J. Appl. Phys., |
| [ 掲載年月 ] 2003年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 放射光によるSOGの微細加工 |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳、宮本 岩男、神田 一浩、春山 雄一、松井 真二 |
| [ 掲載誌名 ] レーザー協会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2003年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Diamond nanoimprint lithography |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，戸叶 雄二，宮本 岩男，古室 昌徳，廣島 洋 |
| [ 掲載誌名 ] Nanotechnology |
| [ 掲載年月 ] 2002年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Uniformity in Patterns Imprinted using Photo-Curable Liquid Polymer |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男 廣島 洋，古室 昌徳 井上 省次 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics Part1, |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Direct Etching of Spin-on Glass Films Exposed Using Synchrotron Radiation |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，宮本 岩男，神田 一浩，春山 雄一，松井 真二 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Improvement of Imprinted Pattern Uniformity using Sapphire Mold |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，川﨑 剛史，宮本 岩男，戸叶 雄二，古室 昌徳，廣島 洋 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Measurement of Adhesive Force Between Mold and Photocurable Resin in Imprint Technology |
| [ 全著者名 ] 谷口 淳，向後 保雄，宮本 岩男，川﨑 剛史，戸叶 雄二，古室 昌徳，廣島 洋，坂井 信支，多田 健太郎 |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics |
| [ 掲載年月 ] 2002年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Oxygen ion beam assisted etching of single crystal diamond chips using reactive oxygen gas |
| [ 全著者名 ] K. Mori, I. Miyamoto, J. Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] Journal of materials science: Matherials in Electronics |
| [ 掲載年月 ] 2001年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 超LSI作製のためのリアクティブイオンエッチング技術 |
| [ 全著者名 ] 谷口淳、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] レーザ協会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Preparation of Diamond Mold Using Electron Beam Lithography for Application to Nanoimprint Lithography |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yuji Takono, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics, Part1, |
| [ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Imprint Characteristics by Photo-Induced Solidification of Liquid Polymer |
| [ 全著者名 ] Masanori Komuro, Jun Taniguchi, Seiji Inoue, Naoya Kimura, Yuji Tokano, Hiroshi Hiroshima, Shinji Matsui |
| [ 掲載誌名 ] Japanese Journal of Applied Physics, Part1, |
| [ 掲載年月 ] 2000年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fine Finishing of Diamond Tools with Broad Ion Beams |
| [ 全著者名 ] Iwao Miyamoto, Jun Taniguchi, et al. |
| [ 掲載誌名 ] New Diamond and Frontier Carbon Technology |
| [ 掲載年月 ] 2000年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fine Patterning and Fabrication of Diamond Chips with Electron Beam and Focused-Ion Beam |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] New Diamond and Frontier Carbon Technology 2000 |
| [ 掲載年月 ] 2000年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 高精度表面加工技術の動向 |
| [ 全著者名 ] 宮本 岩男、谷口淳 |
| [ 掲載誌名 ] O plus E |
| [ 掲載年月 ] 2000年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Beam-Assisted-Etching Technique for Fabrication of Single Crystal Diamond Field Emitter Tip |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Junnosuke Yokoyama, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering 53 |
| [ 掲載年月 ] 2000年 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
