Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 217 件中 151‐180 件目
| 中空格子構造金型によるUVナノインプリント時の樹脂の充填挙動の観察 |
| [ 全著者名 ] 町長 賢一、谷口 淳、海野 徳幸、坂井 信支、大幸 武司 |
| [ 掲載誌名 ] 成形加工 |
| [ 掲載年月 ] 2009年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Nanoprint lithography of gold nanopatterns on polyethylene terephthalate |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hiroshi Sakaguchi |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2009年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Filling behavior of UV nanoimprint resin observed by using a midair structure mold |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Noriyuki Unno, Nobuji Sakai |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2009年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fabrication of Non Reflective Structure on Glassy Carbon Surface Using Oxygen Ion Beam Irradiation |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yoshimi Nemoto, and Yoshinari Sugiyama |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2009年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Effect of Post Exposure Bake in Inorganic Electron Beam Resist and Utilizing for Nanoimprint Mold |
| [ 全著者名 ] Miyako Shizuno, Jun Taniguchi, Kenta Ogino, and Kiyoshi Ishikawa |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2009年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fabrication of the nanoimprint mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake |
| [ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Miyako Shizuno, and Kiyoshi Ishikawa |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| [ 掲載年月 ] 2008年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 （微細構造形成の高能率化) |
| [ 全著者名 ] 川堰 宣隆, 深瀬 達也，森田 昇, 芦田 極, 谷口 淳, 宮本 岩男，百田 佐多生 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集（C編） |
| [ 掲載年月 ] 2008年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Fabrication of antireflection structures on glassy carbon surfaces using electron beam lithography and oxygen dry etching |
| [ 全著者名 ] J Taniguchi, E Yamauchi and Y Nemoto |
| [ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series |
| [ 掲載年月 ] 2008年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Molecular dynamics simulation for focused ion beam processing: a comparison between computational domain and potential energy |
| [ 全著者名 ] S Satake, N Inoue, J Taniguchi and M Shibahara |
| [ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series |
| [ 掲載年月 ] 2008年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fabrication of a three-dimensional nanoimprint mold by using electron beam lithography with consideration of the proximity effect |
| [ 全著者名 ] Unno N and Taniguchi J |
| [ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series |
| [ 掲載年月 ] 2008年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Quantum molecular dynamics study on energy transfer to the secondary electron in surface collision process of an ion |
| [ 全著者名 ] M Shibahara, S Satake and J Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series |
| [ 掲載年月 ] 2008年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Ion beam lithography by using highly charged ion beam of Ar |
| [ 全著者名 ] Shingo Iwamitsu, Mamoru Nagao, Shahjada A. Pahlovy, Kohei Nishimura, Masaki Kashihara, Sadao Momota, Yoichi Nojiri, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Takaaki Nakao, Noboru Morita and Noritaka Kawasegi |
| [ 掲載誌名 ] COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS |
| [ 掲載年月 ] 2008年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Quantum Molecular Dynamics Study on Energy Transfer to the Secondary Electron in Surface Collision Process of an Ion |
| [ 全著者名 ] Masahiko SHIBAHARA, Shin-ichi SATAKE, and Jun TANIGUCHI |
| [ 掲載誌名 ] Journal of Thermal Science and Technology |
| [ 掲載年月 ] 2008年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Highly charged ion beam applied to lithography technique |
| [ 全著者名 ] Sadao Momota, Yoichi Nojiri, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Noboru Morita, Noritaka Kawasegi |
| [ 掲載誌名 ] REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS |
| [ 掲載年月 ] 2008年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Sub-100-nm three-dimensional nanoimprint lithography |
| [ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Yoshiaki Ishii |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| [ 掲載年月 ] 2007年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Sub-micrometer-scale patterning on Zr-based metallic glass using focused ion beam irradiation and chemical etching |
| [ 全著者名 ] Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Kiwamu Ashida, Sadao Momota, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto and Hitoshi Ofune |
| [ 掲載誌名 ] NANOTECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2007年 9月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Improving the sensitivity and line edge roughness in inorganic positive electron beam resist |
| [ 全著者名 ] Kenta Ogino, Jun Taniguchi,Shin-ichi Satake, Keisuke Yamamoto, Yoshiaki Ishii, Kiyoshi Ishikawa |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2007年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fabrication of three-dimensional nanoimprint mold using inorganic resist in low accelerating voltage electron beam lithography |
| [ 全著者名 ] Yoshiaki Ishii, Jun Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2007年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Internal structure transition of spin-on glass by electron beam irradiation |
| [ 全著者名 ] Makoto Araki, Jun Taniguchi, Nobuo Sawada, Takayuki Utsumi,Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] APPLIED SURFACE SCIENCE |
| [ 掲載年月 ] 2007年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 光ナノインプリント用光硬化性樹脂とその特性評価法 |
| [ 全著者名 ] 平澤 玉乃，谷口 淳，太田口 誠，坂井 信支 |
| [ 掲載誌名 ] 電気学会論文誌C |
| [ 掲載年月 ] 2007年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Depth control of a silicon structure fabricated by 100q keV Ar ion beam lithography |
| [ 全著者名 ] KAWASEGI Noritaka, MORITA Noboru, YAMADA Shigeru, TAKANO Noboru, OYAMA Tatsuo, Momota Sadao, TANIGUCHI Jun, MIYAMOTO Iwao |
| [ 掲載誌名 ] APPLIED SURFACE SCIENCE |
| [ 掲載年月 ] 2007年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Rapid nanopatterning of a Zr-based metallic glass surface utilizing focused ion beam induced selective etching |
| [ 全著者名 ] Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Kiwamu Ashida, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Sadao Momota, Hitoshi Ofune |
| [ 掲載誌名 ] APPLIED PHYSICS LETTERS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Micro digital-holographic PTVによるマイクロ流路内高時間分解３次元計測 |
| [ 全著者名 ] 佐竹 信一, 功刀 資彰, 佐藤 一穂, 伊藤 智義, 金森 宏之, 谷口 淳 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集, B 編 |
| [ 掲載年月 ] 2006年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Fabrication of Three-Dimensional Hydrogen Silsesquioxane Resist Structure using Electron Beam Lithography |
| [ 全著者名 ] Yasushi MATSUBARA, Jun TANIGUCHI and Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Measurements of 3D flow in a micro-pipe via micro digital holographic particle tracking velocimetry |
| [ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Tomoaki Kunugi, Kazuho Sato, Tomoyoshi Ito, Hiroyuki Kanamori and Jun Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2006年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Etching characteristics of a silicon surface induced by focused ion beam irradiation |
| [ 全著者名 ] Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada,Noboru Takano,Tatsuo Oyama, Kiwamu Ashida,Jun Taniguchi,Iwao Miyamoto, Sadao Momota |
| [ 掲載誌名 ] Int. J. Manufacturing Technology and Management |
| [ 掲載年月 ] 2006年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Ion-beam processing of single crystal diamond using SOG mask |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Hirohisa Ohno, Yusaku Kawabata, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] VACUUM |
| [ 掲載年月 ] 2006年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Optimization of Processing Condition for Deposition of DLC Using FIB-CVD Method |
| [ 全著者名 ] Naomichi SAKAMOTO, Yasuo KOGO, Takahiro YAGI, Takuya YASUNO, Jun TANIGUCHI, Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES C-MECHANICAL SYSTEMS MACHINE ELEMENTS AND MANUFACTURING |
| [ 掲載年月 ] 2006年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Rapid and three-dimensional nanoimprint template fabrication technology using focused ion beam lithography |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Kentaro Koga, Yasuo Kogo, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2006年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Three-Dimensional Nanofabrication Utilizing Selective Etching of Silicon Induced by Focused Ion Beam Irradiation |
| [ 全著者名 ] Noritaka KAWASEGI, Noboru MORITA, Shigeru YAMADA, Noboru TAKANO, Tatsuo OYAMA, Kiwamu ASHIDA, Jun TANIGUCHI and Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES C-MECHANICAL SYSTEMS MACHINE ELEMENTS AND |
| [ 掲載年月 ] 2006年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
