Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 204 件中 151‐180 件目
| Highly charged ion beam applied to lithography technique |
| [ 全著者名 ] Sadao Momota, Yoichi Nojiri, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Noboru Morita, Noritaka Kawasegi |
| [ 掲載誌名 ] REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS |
| [ 掲載年月 ] 2008年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Sub-100-nm three-dimensional nanoimprint lithography |
| [ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Yoshiaki Ishii |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| [ 掲載年月 ] 2007年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Sub-micrometer-scale patterning on Zr-based metallic glass using focused ion beam irradiation and chemical etching |
| [ 全著者名 ] Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Kiwamu Ashida, Sadao Momota, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto and Hitoshi Ofune |
| [ 掲載誌名 ] NANOTECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2007年 9月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Improving the sensitivity and line edge roughness in inorganic positive electron beam resist |
| [ 全著者名 ] Kenta Ogino, Jun Taniguchi,Shin-ichi Satake, Keisuke Yamamoto, Yoshiaki Ishii, Kiyoshi Ishikawa |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2007年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fabrication of three-dimensional nanoimprint mold using inorganic resist in low accelerating voltage electron beam lithography |
| [ 全著者名 ] Yoshiaki Ishii, Jun Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2007年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Internal structure transition of spin-on glass by electron beam irradiation |
| [ 全著者名 ] Makoto Araki, Jun Taniguchi, Nobuo Sawada, Takayuki Utsumi,Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] APPLIED SURFACE SCIENCE |
| [ 掲載年月 ] 2007年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 光ナノインプリント用光硬化性樹脂とその特性評価法 |
| [ 全著者名 ] 平澤 玉乃，谷口 淳，太田口 誠，坂井 信支 |
| [ 掲載誌名 ] 電気学会論文誌C |
| [ 掲載年月 ] 2007年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Depth control of a silicon structure fabricated by 100q keV Ar ion beam lithography |
| [ 全著者名 ] KAWASEGI Noritaka, MORITA Noboru, YAMADA Shigeru, TAKANO Noboru, OYAMA Tatsuo, Momota Sadao, TANIGUCHI Jun, MIYAMOTO Iwao |
| [ 掲載誌名 ] APPLIED SURFACE SCIENCE |
| [ 掲載年月 ] 2007年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Rapid nanopatterning of a Zr-based metallic glass surface utilizing focused ion beam induced selective etching |
| [ 全著者名 ] Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Kiwamu Ashida, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto, Sadao Momota, Hitoshi Ofune |
| [ 掲載誌名 ] APPLIED PHYSICS LETTERS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Micro digital-holographic PTVによるマイクロ流路内高時間分解３次元計測 |
| [ 全著者名 ] 佐竹 信一, 功刀 資彰, 佐藤 一穂, 伊藤 智義, 金森 宏之, 谷口 淳 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集, B 編 |
| [ 掲載年月 ] 2006年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Fabrication of Three-Dimensional Hydrogen Silsesquioxane Resist Structure using Electron Beam Lithography |
| [ 全著者名 ] Yasushi MATSUBARA, Jun TANIGUCHI and Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Measurements of 3D flow in a micro-pipe via micro digital holographic particle tracking velocimetry |
| [ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Tomoaki Kunugi, Kazuho Sato, Tomoyoshi Ito, Hiroyuki Kanamori and Jun Taniguchi |
| [ 掲載誌名 ] MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2006年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Etching characteristics of a silicon surface induced by focused ion beam irradiation |
| [ 全著者名 ] Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada,Noboru Takano,Tatsuo Oyama, Kiwamu Ashida,Jun Taniguchi,Iwao Miyamoto, Sadao Momota |
| [ 掲載誌名 ] Int. J. Manufacturing Technology and Management |
| [ 掲載年月 ] 2006年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Ion-beam processing of single crystal diamond using SOG mask |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Hirohisa Ohno, Yusaku Kawabata, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] VACUUM |
| [ 掲載年月 ] 2006年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Optimization of Processing Condition for Deposition of DLC Using FIB-CVD Method |
| [ 全著者名 ] Naomichi SAKAMOTO, Yasuo KOGO, Takahiro YAGI, Takuya YASUNO, Jun TANIGUCHI, Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES C-MECHANICAL SYSTEMS MACHINE ELEMENTS AND MANUFACTURING |
| [ 掲載年月 ] 2006年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Rapid and three-dimensional nanoimprint template fabrication technology using focused ion beam lithography |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Kentaro Koga, Yasuo Kogo, Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2006年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Three-Dimensional Nanofabrication Utilizing Selective Etching of Silicon Induced by Focused Ion Beam Irradiation |
| [ 全著者名 ] Noritaka KAWASEGI, Noboru MORITA, Shigeru YAMADA, Noboru TAKANO, Tatsuo OYAMA, Kiwamu ASHIDA, Jun TANIGUCHI and Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES C-MECHANICAL SYSTEMS MACHINE ELEMENTS AND |
| [ 掲載年月 ] 2006年 2月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Application of highly charged Ar ion beams to ion beam lithography |
| [ 全著者名 ] S. Momota, Y. Nojiri, Y. Hamagawa, K. Hamaguchi, J. Taniguchi and H. Ohno |
| [ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Thermal Desorption Development of Spin-On Glass for Electron Beam Nanolithography |
| [ 全著者名 ] Makoto ARAKI, Jun TANIGUCHI and Iwao MIYAMOTO |
| [ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
| [ 掲載年月 ] 2006年 1月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Three-dimensional flow tracking in a micro channel with high time resolution using micro digital-holographic particle-tracking velocimetry |
| [ 全著者名 ] Satake, S., Kunugi, T., Sato, K., Ito T., Taniguchi J. |
| [ 掲載誌名 ] OPTICAL REVIEW |
| [ 掲載年月 ] 2005年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| FIB-CVD 法を用いて作製した DLC 膜の微細構造解析 |
| [ 全著者名 ] 坂本直道，向後保雄，安野拓也，八木貴弘，谷口 淳，宮本岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 精密工学会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2005年 11月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| FIB-CVD 法によるDLC成形プロセスとその特性評価 |
| [ 全著者名 ] 向後保雄，坂本直道，八木貴弘，安野拓也，谷口 淳，宮本岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 材料 |
| [ 掲載年月 ] 2005年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD |
| [ 全著者名 ] Naomichi Sakamoto, Yasuo Kogo, Takuya Yasuno, Jun Taniguchi, and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES A-SOLID MECHANICS AND MATERIAL ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2005年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ダイヤモンドからの電界電子放出に関する研究 -電界素子放出素子作製法の開発及び電界電子放出中のダイヤモンド表面の電子論的解析- |
| [ 全著者名 ] 荒木 真、谷口 淳、小野 倫也、広瀬 喜久治、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 精密工学会誌 |
| [ 掲載年月 ] 2005年 8月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Fabrication of Low Line Edge Roughness Mold by Spin On Glass (SOG) Replica Method |
| [ 全著者名 ] Yuichi Kurashima, Hiroshi Hiroshima, Masanori Komuro, Naoto Yamazaki, Jun Taniguchi and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| [ 掲載年月 ] 2005年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Investigation of Application Availability of UV-NIL by Using Several Types of Photo-curable Resin |
| [ 全著者名 ] Nobuji Sakai, Jun Taniguchi, Kenshi Kawaguchi, Makoto Ohtaguchi and Tamano Hirasawa |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2005年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 （第3報, エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応 用) |
| [ 全著者名 ] 川堰 宣隆, 森田 昇, 山田 茂, 高野 登, 大山 達雄, 芦田 極, 谷口 淳, 宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集（C編） |
| [ 掲載年月 ] 2005年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| 3D Mold Fabrication Techniques Using an Inorganic Resist |
| [ 全著者名 ] J. Taniguchi, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, S. Ono, and Iwao Miyamoto |
| [ 掲載誌名 ] Transaction of the Magnetics Society of Japan |
| [ 掲載年月 ] 2004年 10月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 3D imprint technology using substrate voltage change |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masamichi Iida, Takayuki Miyazawa, Iwao Miyamoto and Kiyoshi Shinoda |
| [ 掲載誌名 ] Applied Surface Science, 238 |
| [ 掲載年月 ] 2004年 9月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 |
| [ 全著者名 ] 川堰 宣隆、柴田 浩一、森田 昇、芦田 極、谷口 淳、宮本 岩男 |
| [ 掲載誌名 ] 日本機械学会論文集（C編） |
| [ 掲載年月 ] 2004年 8月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
