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Defect analysis and lifetime evaluation of a release-coated nanoimprint mold
[ 全著者名 ] Masanori Okada, Daisuke Yamashita, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Super resolution technique for sub-100 nm nanoimprint mold via mechanical deformation method
[ 全著者名 ] Toru Miebori, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Computer generated hologram-ROM fabrication and duplication by EBL and UV-NIL
[ 全著者名 ] Keito Ogino, Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Manabu Yamamoto, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Electron beam direct writing of nanodot patterns on roll mold surfaces by electron beam on–off chopping control
[ 全著者名 ] Masahi Saito, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Nanoscale metal pattern-transfer technique using silver ink
[ 全著者名 ] Ryuichi Wakamatsu, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of double-sided self-supporting antireflection-structured film by ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Nurhafizah Binti Abu Talip[a]Yusof and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
[ 掲載年月 ] 2014年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional hologram-read-only memory duplication by nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Hideaki Akamatsu, Manabu Yamamoto, Shin-ichi Satake,Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2013年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of high-aspect-ratio pattern via high throughput roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Hiroshi Yoshikawa, Jun Taniguchi, Go Tazaki, Toshiyuki Zento
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2013年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of antireflection structure with antifouling-effect surface by ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Keita Yajima, Kaoru Adachi, Yasuhisa Tsukahara, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2013年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of self-supporting antireflection-structured film by UV–NIL
[ 全著者名 ] Nurhafizah Binti Abu Talip[a]Yusof, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2013年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Super-resolution technique for nanoimprint mold using elastic UV-curable resin
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2013年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Dwell time adjustment for focused ion beam machining
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shin-ichi Satake, Takaki Oosumi, Akihisa Fukushige, Yasuo Kogo
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
[ 掲載年月 ] 2013年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Molecular dynamics simulation of Ga+ ion collision process
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, K. Ono,Masahiko Shibahara and Jun Taniguchi,
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
[ 掲載年月 ] 2013年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
High-density pattern transfer via roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography using replica mold
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Hiroshi Yoshikawa,Go Tazaki and Toshiyuki Zento
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2012年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of Smooth and Ultra-Sharp Diamond Knives of Lower than 60 nm Tip Diameter by Low Energy Oxygen Ion Beam Machining
[ 全著者名 ] Syeda Faria Mahmud, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional nano-fabrication of polymer and metal material using nanoimprint technology
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Technical digest of international symposium on optical memory 2012
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Low Energy Oxygen Ion Beam Machining of Ultra Smooth and Sharp AFM Nano-Tips from Single Crystal Diamond Rods
[ 全著者名 ] S. F. Mahmud, I. Miyamoto and J. Taniguchi
[ 掲載誌名 ] e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
[ 掲載年月 ] 2012年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Improving the lifespan of the cantilever during electron assisted AFM lithography
[ 全著者名 ] Takao Inoue, Jun Taniguchi, Toshihiko Ochi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of roll mold using electron-beam direct writing and metal lift-off process
[ 全著者名 ] Hiroki Maruyama, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro-digital holographic-PTV
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Takahiro Kanai, Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Lifetime evaluation of release agent for ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Daisuke Yamashita, Jun Taniguchi, Hokuto Suzuki
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Swelling and annealing phenomena of Si crystal irradiated by Ar and C ion beams
[ 全著者名 ] J. Zhang, S. Momota, T. Toyonaga, H. Terauchi, F. Imanishi, J. Taniguchi
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
[ 掲載年月 ] 2012年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
A technique for transferring metal nano patterns from a plastic replica mold by using a metal oxide release layer
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Hironobu Tamura, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Molecular dynamics simulation of surface deformation via Ar+ ion collision process
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Sadao Momota, Akinori Fukushige, Shun Yamashina, Masahiko Shibahara and Jun Taniguchi,
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
[ 掲載年月 ] 2012年 2月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Large-diameter roll mold fabrication method using a small-diameter quartz roll mold and UV nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno, and Hiroki Maruyama
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2011年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of a seamless roll mold using inorganic electron beam resist with postexposure bake
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2011年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Macro-optical inspection method for deterioration evaluation of release-coated mold surfaces for nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Junki Takahashi, Mitsuru Uda, Atushi Kohayase, and Kenichi Kotaki
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2011年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of the metal nano pattern on plastic substrate using roll nanoimprint
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2011年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of Anti-reflection Structure using Photo-curable Polymer
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya and Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2011年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Degradation of release layer on high aspect ratio mold by contact angle measurement
[ 全著者名 ] Junki Takahashi, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2011年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
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