Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 204 件中 91‐120 件目
Three-dimensional hologram-read-only memory duplication by nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Hideaki Akamatsu, Manabu Yamamoto, Shin-ichi Satake,Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2013年 9月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of high-aspect-ratio pattern via high throughput roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] Hiroshi Yoshikawa, Jun Taniguchi, Go Tazaki, Toshiyuki Zento |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2013年 9月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Super-resolution technique for nanoimprint mold using elastic UV-curable resin |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2013年 8月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of antireflection structure with antifouling-effect surface by ultraviolet nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] Keita Yajima, Kaoru Adachi, Yasuhisa Tsukahara, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2013年 8月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of self-supporting antireflection-structured film by UV–NIL |
[ 全著者名 ] Nurhafizah Binti Abu Talip[a]Yusof, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2013年 8月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Molecular dynamics simulation of Ga+ ion collision process |
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, K. Ono,Masahiko Shibahara and Jun Taniguchi, |
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
[ 掲載年月 ] 2013年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Dwell time adjustment for focused ion beam machining |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shin-ichi Satake, Takaki Oosumi, Akihisa Fukushige, Yasuo Kogo |
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
[ 掲載年月 ] 2013年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
High-density pattern transfer via roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography using replica mold |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Hiroshi Yoshikawa,Go Tazaki and Toshiyuki Zento |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2012年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of Smooth and Ultra-Sharp Diamond Knives of Lower than 60 nm Tip Diameter by Low Energy Oxygen Ion Beam Machining |
[ 全著者名 ] Syeda Faria Mahmud, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] e-Journal of Surface Science and Nanotechnology |
[ 掲載年月 ] 2012年 9月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Three-dimensional nano-fabrication of polymer and metal material using nanoimprint technology |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] Technical digest of international symposium on optical memory 2012 |
[ 掲載年月 ] 2012年 9月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Low Energy Oxygen Ion Beam Machining of Ultra Smooth and Sharp AFM Nano-Tips from Single Crystal Diamond Rods |
[ 全著者名 ] S. F. Mahmud, I. Miyamoto and J. Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] e-Journal of Surface Science and Nanotechnology |
[ 掲載年月 ] 2012年 8月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Improving the lifespan of the cantilever during electron assisted AFM lithography |
[ 全著者名 ] Takao Inoue, Jun Taniguchi, Toshihiko Ochi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2012年 8月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
A technique for transferring metal nano patterns from a plastic replica mold by using a metal oxide release layer |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Hironobu Tamura, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2012年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of roll mold using electron-beam direct writing and metal lift-off process |
[ 全著者名 ] Hiroki Maruyama, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2012年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro-digital holographic-PTV |
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Takahiro Kanai, Noriyuki Unno |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2012年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Lifetime evaluation of release agent for ultraviolet nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] Daisuke Yamashita, Jun Taniguchi, Hokuto Suzuki |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2012年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Swelling and annealing phenomena of Si crystal irradiated by Ar and C ion beams |
[ 全著者名 ] J. Zhang, S. Momota, T. Toyonaga, H. Terauchi, F. Imanishi, J. Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
[ 掲載年月 ] 2012年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Molecular dynamics simulation of surface deformation via Ar+ ion collision process |
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Sadao Momota, Akinori Fukushige, Shun Yamashina, Masahiko Shibahara and Jun Taniguchi, |
[ 掲載誌名 ] NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
[ 掲載年月 ] 2012年 2月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Macro-optical inspection method for deterioration evaluation of release-coated mold surfaces for nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Junki Takahashi, Mitsuru Uda, Atushi Kohayase, and Kenichi Kotaki |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2011年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Large-diameter roll mold fabrication method using a small-diameter quartz roll mold and UV nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno, and Hiroki Maruyama |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2011年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of a seamless roll mold using inorganic electron beam resist with postexposure bake |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Kiyoshi Ishikawa |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2011年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Transparent Roll Mold Fabrication Method and Transfer to Photo-curable Polymer |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno and Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY |
[ 掲載年月 ] 2011年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of the metal nano pattern on plastic substrate using roll nanoimprint |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2011年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of Anti-reflection Structure using Photo-curable Polymer |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya and Noriyuki Unno |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY |
[ 掲載年月 ] 2011年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Degradation of release layer on high aspect ratio mold by contact angle measurement |
[ 全著者名 ] Junki Takahashi, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2011年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of carbon nanofibers using only ion beam irradiation to glassy carbon |
[ 全著者名 ] Takashi Okumoto, Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2011年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of less than 20-nm-diameter nanodot arrays using inorganic electron beam resist and post exposure bake |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Testuro Manabe, Kiyoshi Ishikawa |
[ 掲載誌名 ] INTERNATIONAL JOURNAL OF AUTOMATION TECHNOLOGY |
[ 掲載年月 ] 2011年 5月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of seamless three-dimensional roll mold using direct electron-beam writing on rotating cylindrical substrate |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shintaro Tsuji, and Masao Aratani |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2010年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Assessment of release properties in UV nanoimprint lithography using high-aspect-ratio nanoscale molds |
[ 全著者名 ] Junki Takahashi, Jun Taniguchi, and Yasuhiro Kamiya |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2010年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Electrical properties of transferred metal nanopattern using metal oxide release layer |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Shouichi Ide |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2010年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |