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Microchannel fabrication via ultraviolet-nanoimprint lithography and electron-beam lithography using an ultraviolet-curable positive-tone electron-beam resist

[ 全著者名 ] Haruki Matsumoto, Takao Okabe, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING

[ 掲載年月 ] 2020年 3月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Transfer durability of high aspect ratio moth-eye structure on glassy carbon mold using release agent

[ 全著者名 ] Junya Kawauchi and Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

[ 掲載年月 ] 2020年 3月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Fabrication of a micropatterned composite electrode for solid oxide fuel cells via ultraviolet nanoimprint lithography

[ 全著者名 ] Ryota Akama, Takao Okabe, Kazuyoshi Sato, Yoshiki Inaba, Naoki Shikazono, Anna Sciazko, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING

[ 掲載年月 ] 2020年 2月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Photocurable chemically-amplified positive-tone ultraviolet resist for multi lithography process

[ 全著者名 ] Takao Okabe, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] APPL PHYS EXPRESS

[ 掲載年月 ] 2019年 10月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Fabrication of bio-inspired 3D nanoimprint mold using acceleration-voltage-modulation electron-beam lithography

[ 全著者名 ] Kohei Goto and Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] Adv. Opt. Techn.

[ 掲載年月 ] 2019年 8月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Durability Evaluation of Antireflection Structure Replica Mold using High Hardness and Antifouling UV-curable Resin

[ 全著者名 ] Junya Kawauchi, Shin Hiwasa, and Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] J PHOTOPOLYM SCI TEC

[ 掲載年月 ] 2019年 6月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Evaluation of Scratch Durability of Moth-eye Structures Made of High Hardness Ultraviolet Curable Resin

[ 全著者名 ] Masaki Ono, Shin Hiwasa, and Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] J PHOTOPOLYM SCI TEC

[ 掲載年月 ] 2019年 6月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

3D nanofabrication using controlled-accelerationvoltage electron beam lithography with nanoimprinting technology

[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] Adv. Opt. Techn.

[ 掲載年月 ] 2019年 5月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Fabrication of an antireflection structure on an aspherical lens using a UV-curable inorganic–organic hybrid polymer

[ 全著者名 ] Ichiro Mano, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] JPN J APPL PHYS

[ 掲載年月 ] 2019年 4月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Stencil mask using ultra-violet-curable positive-tone electron beam resist

[ 全著者名 ] Hiroo Maebashi, Takao Okabe, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] MICROELECTRON ENG

[ 掲載年月 ] 2019年 4月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Fabrication of a hydrophobic three-dimensional hybrid structure using an UV-curable electron beam resist

[ 全著者名 ] Kohei Goto, Takao Okabe, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] JPN J APPL PHYS

[ 掲載年月 ] 2019年 4月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Ultra-violet nanoimprint lithography-compatible positive-tone electron beam resist for 3D hybrid nanostructures

[ 全著者名 ] Takao Okabe, Hiroo Maebashi, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] MICROELECTRON ENG

[ 掲載年月 ] 2019年 4月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Fabrication of micro-lens array with antireflection structure

[ 全著者名 ] Masato Nakamura, Ichiro Mano, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] MICROELECTRON ENG

[ 掲載年月 ] 2019年 3月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Thermal roll-to-roll nanoimprinting using a replica mold without release agent

[ 全著者名 ] Noriyuki UNNO, Shohei KAKIMOTO, Tapio MÄKELÄ, Shin HIWASA and Jun TANIGUCHI

[ 掲載誌名 ] Journal of Advanced Mechanical Design Systems and Manufacturing

[ 掲載年月 ] 2018年 8月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Fabrication process for micropatterned ceramics via UV-nanoimprint lithography using UV-curable binder

[ 全著者名 ] Takao Okabe, Yongtae Kim, Zhenjun Jiao, Naoki Shikazono, Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

[ 掲載年月 ] 2018年 8月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Improvement of Transfer Durability of a Pillar-Shaped Release-Agent-Free Replica Mold in Ultraviolet Nanoimprint Lithography

[ 全著者名 ] Junpei Tsuchiya, Gen Nakagawa, Shin Hiwasa and Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] Int. J. of Automation Technology

[ 掲載年月 ] 2018年 8月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Development and optimization of water treatment reactors using TiO2-modified polymer beads with a refractive index identical to that of water

[ 全著者名 ] Arata Myoga, Ryutaro Iwashita, Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Kazuhisa Yuki, Yohji Seki

[ 掲載誌名 ] OPTICAL REVIEW

[ 掲載年月 ] 2018年 6月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Non-Residual Layer Transfer of High Viscous Ultraviolet Photocurable Resin Using Liquid Transfer Technique

[ 全著者名 ] Hiroki Ueda and Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY

[ 掲載年月 ] 2018年 6月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Three-dimensional particle tracking in concave structures made by ultraviolet nanoimprint via total internal reflection fluorescence microscopy and refractive-index-matching method

[ 全著者名 ] Taku Fujinami, Hiroshi Kigami, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shin-ichi Satake

[ 掲載誌名 ] OPTICAL REVIEW

[ 掲載年月 ] 2018年 6月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Fabrication of Complex 3D Nanoimprint Mold by Using Acceleration Voltage Electron Beam Lithography

[ 全著者名 ] Kohei Goto and Jun Taniguchi

[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY

[ 掲載年月 ] 2018年 6月

[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語）

Tough and antifouling antireflection structures made by partial-filling ultraviolet nanoimprint lithography

[ 全著者名 ] Hikari Eto, Shin Hiwasa, Jun Taniguchi