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Three-dimensional thermal nanoimprinting by using lift-off patterns made of polymer resin
[ 全著者名 ] Shuichiro Nakata, Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering
[ 掲載年月 ] 2016年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of antireflection structures on the surface of optical lenses by using a liquid transfer imprint technique
[ 全著者名 ] Tomoya Uchida, Feng Yu, Mizuhisa Nihei, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Self-relaxation characteristics of roll-to-roll imprinted nanogratings on plastic film
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Tapio Mäkelä, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Mechanical interlocking by imprinting of undercut micropatterns for improving adhesive strength of polypropylene
[ 全著者名 ] Ryosuke Matsuzaki, NaoyaTsukamoto, JunTaniguchi
[ 掲載誌名 ] INTERNATIONAL JOURNAL OF ADHESION AND ADHESIVES
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Pierce characteristics of titanium foil with roll press method
[ 全著者名 ] Ryo Fukuyama, Jun Taniguchi, Kenichi Yoshikawa, Hiroyuki Yagishita
[ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering
[ 掲載年月 ] 2016年 1月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabricating a high-resolution mask with improved line-edge roughness by using a nonchemically amplified resist and a postexposure bake
[ 全著者名 ] Hidetatsu Miyoshi and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2015年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Electron beam mastering system using a vacuum-compatible hydrodynamic spindle
[ 全著者名 ] Takao Okabea Keita Utsumi, Keito Ogino, Yuta Shinonaga, Masaaki Miyatake, Shigeka Yoshimoto, Jun Taniguchi, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Outline of Liquid-Transfer Imprint Technology and Advanced Processes
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2015年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Durability and Transfer Properties of a Release-Agent-Free Replica Mold for Ultraviolet Nanoimprinting
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yuma Otsuka, Shingo Nose, Noriyuki Unno, Shin Hiwasa
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2015年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press
[ 全著者名 ] Takahiro Tsuji, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of a high-resolution mask by using variable-shaped electron beam lithography with a non-chemically amplified resist and a post-exposure bake
[ 全著者名 ] Hidetatsu Miyoshi, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Lifetime amelioration of release-agent-free antireflection-structured replica molds by partial-filling ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Nurhafizah Binti Abu Talip[a]Yusof, Tatsuya Hayashi, Jun Taniguchi, and Shin Hiwasa
[ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
[ 掲載年月 ] 2015年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Ion beam sharpening of a single-crystal diamond knife without facet and ripple formations by swinging motion of knife
[ 全著者名 ] Ryo Fukuyama, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of eight-step diffractive optical element for hologram-ROM
[ 全著者名 ] Yuta Shinonaga, Keito Ogino, Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Manabu Yamamoto, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Development of a vacuum-compatible hydrodynamic spindle using an ionic liquid as a lubricant
[ 全著者名 ] Takao Okabe,Keita Utsumi,Kei Somaya,Masaaki Miyatake,Shigeka Yoshimoto,Jun Taniguchi, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISIONENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2015年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Evaluation of ultraviolet-nanoimprint-lithography release agent properties by using TriboIndenter
[ 全著者名 ] Kota Funakoshi, Chiharu Tadokoro, Ian Thomas Clark, Toshiro Okawa, Jun Taniguchi, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Lifetime amelioration of antireflection structure molds by means of partial-filling ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Nurhafizah Binti Abu Talip[a]Yusof, Tatsuya Hayashi, Jun Taniguchi, Shin Hiwasa
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Micropiercing of titanium foil by a roll press method
[ 全著者名 ] Ryo Fukuyama, Jun Taniguchi, Kenichi Yoshikawa, Hiroyuki Yagishita
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Removal of residual layer by liquid transfer imprint lithography using roll-to-roll UV-NIL
[ 全著者名 ] Masatoshi Moro, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of nanostep for total internal reflection fluorescence microscopy to calibrate in water
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Asao Maeda, Shin-ichi Satake, Takahiro Tsuji, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 2月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Thermal roll-to-roll imprinted nanogratings on plastic film
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Tapio Mäkelä, and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2014年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of antireflection structure film by roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Masatoshi Moro, Jun Taniguchi, and Shin Hiwasa
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2014年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Development of release agent-free replica mould material for ultraviolet nanoimprinting
[ 全著者名 ] Yuma Otsuka, Shin Hiwasa, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Measurements of flow distribution in a thin resin layer during ultraviolet nanoimprint lithography by means of digital holographic particle-tracking velocimetry
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Defect analysis and lifetime evaluation of a release-coated nanoimprint mold
[ 全著者名 ] Masanori Okada, Daisuke Yamashita, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Super resolution technique for sub-100 nm nanoimprint mold via mechanical deformation method
[ 全著者名 ] Toru Miebori, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Electron beam direct writing of nanodot patterns on roll mold surfaces by electron beam on–off chopping control
[ 全著者名 ] Masahi Saito, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Computer generated hologram-ROM fabrication and duplication by EBL and UV-NIL
[ 全著者名 ] Keito Ogino, Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Manabu Yamamoto, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Nanoscale metal pattern-transfer technique using silver ink
[ 全著者名 ] Ryuichi Wakamatsu, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of double-sided self-supporting antireflection-structured film by ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Nurhafizah Binti Abu Talip[a]Yusof and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
[ 掲載年月 ] 2014年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
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