Top > Back > 学会発表 の検索結果 577 件中 271‐300 件目
Additional and correction patterning of resist layer using scanning probe lithography |
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Takao Inoue and Toshihiko Ochi |
[ 学会・会議名 ] THE 56th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2012年5月30日 ~ 5月30日 |
High Density Pattern Transfer via Roll to Roll Ultraviolet Nanoimprint Lithograpy using Replica Mold |
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Takao Inoue and Toshihiko Ochi |
[ 学会・会議名 ] THE 56th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2012年5月30日 ~ 5月30日 |
Release Agent Properties in Ultraviolet Nanoimprint Lithography using High-Aspect-Ratio Nanoscale Molds |
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Takao Inoue and Toshihiko Ochi |
[ 学会・会議名 ] THE 56th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2012年5月30日 ~ 5月30日 |
Fabrication of Antireflection Film using Roll Shape Glassy Carbon Mold with Moth-Eye Structures |
[ 共同発表者名 ] Jun TANIGUCHI, Noriyuki UNNO, Kaoru ADACHI, Yasuhisa TSUKAHARA, Takashi MATSUURA,Tatsuya NISHIMURA,Youji YAMADA and Hitoshi KAWANOWA |
[ 学会・会議名 ] The 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century |
[ 発表日付 ] 2011年11月9日 ~ 11月9日 |
マイクロデジタルホログラフィック PTV によるUV インプリントプロセスの計測 |
[ 共同発表者名 ] 佐竹 信一, 谷口淳, 金井高弘, 海野徳幸 |
[ 学会・会議名 ] 日本機械学会熱工学コンファレンス2011 |
[ 発表日付 ] 2011年10月29日 ~ 10月30日 |
Fabrication of Roll Mold by Electron Beam Direct Writing and Metal Pattern Printing Technology Using Nano-Patterned Roll Mold |
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno |
[ 学会・会議名 ] 1st Annual World Congress of Nano Science and Technology |
[ 発表日付 ] 2011年10月26日 ~ 10月26日 |
High Aspect Ratio Imprinting Technology Using Moth Eye Structure Mold |
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno,Jun Taniguchi |
[ 学会・会議名 ] 1st Annual World Congress of Nano Science and Technology |
[ 発表日付 ] 2011年10月26日 ~ 10月26日 |
Nanoimprint mold fabrication methods using scanning probe lithography |
[ 共同発表者名 ] Takao Inoue, Jun Tanighchi, Toshihiko Ochi |
[ 学会・会議名 ] 1st Annual World Congress of Nano Science and Technology |
[ 発表日付 ] 2011年10月26日 ~ 10月26日 |
Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro- digital Holographic-PTV |
[ 共同発表者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Takahiro Kanai, Noriyuki Unno |
[ 学会・会議名 ] The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering |
[ 発表日付 ] 2011年9月19日 ~ 9月23日 |
Improving the lifespan of the cantilever during scanning probe lithography |
[ 共同発表者名 ] Takao Inoue, Jun Taniguchi, Toshihiko Ochi |
[ 学会・会議名 ] The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering |
[ 発表日付 ] 2011年9月19日 ~ 9月23日 |
Lifetime evaluation of release agent for ultraviolet nanoimprint lithography |
[ 共同発表者名 ] Daisuke Yamashita, Jun Taniguchi, and Hokuto Suzuki |
[ 学会・会議名 ] The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering |
[ 発表日付 ] 2011年9月19日 ~ 9月23日 |
Fabrication of roll mold using electron beam direct writing and metal liftoff process |
[ 共同発表者名 ] Hiroki Maruyama, Noriyuki Unno and Jun Taniguchi |
[ 学会・会議名 ] The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering |
[ 発表日付 ] 2011年9月19日 ~ 9月23日 |
A technique for transferring metal nano patterns from a plastic replica mold by using a metal oxide release layer |
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Hironibu Tamura and Jun Taniguchi |
[ 学会・会議名 ] The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering |
[ 発表日付 ] 2011年9月19日 ~ 9月23日 |
Quantum molecular dyanmics study on energy transfer to an emitted electron in surface collision process of particle |
[ 共同発表者名 ] Masahiko Shibahara, Takeaki Yokoi, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi," |
[ 学会・会議名 ] The 4th International Conference on Heat Transfer and Fluid Flow in Microscale |
[ 発表日付 ] 2011年9月4日 ~ 9月9日 |
Transparent Roll Mold Fabrication Method and Transfer to Photo-curable Polymer |
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi |
[ 学会・会議名 ] 27th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-27) |
[ 発表日付 ] 2011年6月23日 ~ 6月23日 |
Fabrication of Anti-reflection Structure using Photo-curable Polymer |
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya, Noriyuki Unno |
[ 学会・会議名 ] 27th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-27) |
[ 発表日付 ] 2011年6月23日 ~ 6月23日 |
Deterioration Evaluation of Release Coated Surface for Nanoimprint by Macro Optical Inspection Method |
[ 共同発表者名 ] J. Taniguchi, J. Takahashi, M. Uda, A. Kohayase, K. Kotaki |
[ 学会・会議名 ] THE 55th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2011年6月1日 ~ 6月1日 |
Dwell Time Adjustment for Focused Ion Beam Machining |
[ 共同発表者名 ] J. Taniguchi, S. Satake, T. Oosumi, A. Fukushige, Y. Kogo |
[ 学会・会議名 ] THE 55th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2011年6月1日 ~ 6月1日 |
Surface deformation of Ga+ ion collision process via molecular dynamics simulation |
[ 共同発表者名 ] S. Satake, A. Fukushige, J. Taniguchi, Y. Kogo, M. Shibahara |
[ 学会・会議名 ] THE 55th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2011年6月1日 ~ 6月1日 |
Fabrication of the seamless roll mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake |
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Kiyoshi Ishikawa |
[ 学会・会議名 ] THE 55th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2011年6月1日 ~ 6月1日 |
Roll Diameter Amplification Method using Direct Transfer of Fine Patterned Small Roll Mold Fabricated by Electron Beam Lithography |
[ 共同発表者名 ] J. Taniguchi, N. Unno, H. Maruyama |
[ 学会・会議名 ] THE 55th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
[ 発表日付 ] 2011年6月1日 ~ 6月1日 |
イオン衝突によるSi 基板隆起に関する研究 |
[ 共同発表者名 ] 佐竹信一,福重彰徳, 百田 佐多生, 芝原正彦,谷口淳, |
[ 学会・会議名 ] 第24回数値流体力学シンポジウム講演論文集 |
[ 発表日付 ] 2010年12月20日 ~ 12月22日 |
Control of swelling height of Si crystal by irradiating Ar beam |
[ 共同発表者名 ] Sadao Momota, Jianguo Zhang, Takuya Toyonaga, Hikaru Terauchi, Kazuki Maeda, Jun Taniguchi, Takashi Hirao, Mamoru Furuta, Toshiyuki Kawaharamura |
[ 学会・会議名 ] AsiaNANO2010, The 5th in the series of Asian Conference on Nanoscience & Nanotechnology |
[ 発表日付 ] 2010年11月2日 ~ 11月3日 |
Water-droplet evaporation of Nano-cornical structure surface |
[ 共同発表者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Yukihiro Yonemoto, Tadashi Kikuchi, |
[ 学会・会議名 ] Seventh International Conference on Fluid Dynamics |
[ 発表日付 ] 2010年11月1日 ~ 11月3日 |
Three-dimensional Metal Patterning Technique onto Plastic Substrate using Metal Oxide Release Layer |
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shoichiro Ishikawa |
[ 学会・会議名 ] 4th CIRP International Conference on High Performance Cutting |
[ 発表日付 ] 2010年10月26日 ~ 10月26日 |
Fabrication of less than 20-nm-diameter nanodot arrays using inorganic electron beam resist and post exposure bake |
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Tetsuro Manabe, Kiyoshi Ishikawa |
[ 学会・会議名 ] 4th CIRP International Conference on High Performance Cutting |
[ 発表日付 ] 2010年10月25日 ~ 10月25日 |
イオンビーム照射によるナノ構造表面の観察と形成メカニズム |
[ 共同発表者名 ] 紺野祐貴、奥本 剛、神谷靖浩、谷口 淳 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年9月27日 ~ 9月27日 |
走査型プローブリソグラフィを用いたナノインプリントモールド作製方法 |
[ 共同発表者名 ] 井上貴雄、谷口 淳、越智利彦、今井 修 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年9月27日 ~ 9月27日 |
電子ビーム露光によるナノインプリント用三次元ロールモールドの作製 |
[ 共同発表者名 ] 辻 慎太郎、谷口 淳 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年9月27日 ~ 9月27日 |
ナノドットパターンモールドの作製と金属ドットパターン転写 |
[ 共同発表者名 ] 池村 匡、谷口 淳 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年9月27日 ~ 9月27日 |