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Fabrication of the metal nano pattern on plastic substrate using roll nanoimprint
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] 36th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2010
[ 発表日付 ] 2010年9月20日 ~ 9月20日
Repetition pattern transfer of high aspect ratio mold by UV-NIL
[ 共同発表者名 ] Junki Takahashi, Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] 36th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2010
[ 発表日付 ] 2010年9月20日 ~ 9月22日
Throughput improvement of roll mold fabrication process using electron beam lithography
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi,Shintaro Tsuji, Noriyuki Unno
[ 学会・会議名 ] 36th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2010
[ 発表日付 ] 2010年9月20日 ~ 9月22日
Nanoimprint mold fabrication methods using scanning probe lithography
[ 共同発表者名 ] Takao Inoue, Jun Taniguchi, Toshihiko Ochi, Osamu Imai
[ 学会・会議名 ] 36th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2010
[ 発表日付 ] 2010年9月20日 ~ 9月22日
Fabrication of nano dots pattern mold and transfer of metal dots pattern
[ 共同発表者名 ] Tadashi Ikemura, Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] 36th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2010
[ 発表日付 ] 2010年9月20日 ~ 9月22日
Fabrication of carbon nanofibers using only ion beam irradiation to glassy carbon
[ 共同発表者名 ] Takashi Okumoto, Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya
[ 学会・会議名 ] 36th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2010
[ 発表日付 ] 2010年9月20日 ~ 9月22日
Nanoimprint technology and its application
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] 2010 Taiwan-Japan Symposium on Polyscale Technologies for Biomedical Engineering and Environmental Sciences (PT-BEES)
[ 発表日付 ] 2010年9月9日
Molecular Dynamics Simulation for Surface Deformation via Ar+ Ion Collision Process
[ 共同発表者名 ] Shin-ichi, Satake, Sadao Momota, Akinori Fukushige, Shun Yamashina, Masahiko , Shibahara and Jun, Taniguchi
[ 学会・会議名 ] The 17th conference on ion beam modification of materials (IBMM 2010)
[ 発表日付 ] 2010年8月22日 ~ 8月27日
Molecular dynamics simulation of surface deformation via Ga+ collision process
[ 共同発表者名 ] Shin-ichi Satake, Akinori Fukushige, Shun Yamashina, Masahiko Shibahara, Sadao Momota and Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] 10th conference in a series of international conferences on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES 2010)
[ 発表日付 ] 2010年7月19日 ~ 7月23日
Fabrication of seamless three-dimensional roll mold using electron beam direct writing to rotating cylindrical substrate
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi and Masao Aratani
[ 学会・会議名 ] THE 54th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 発表日付 ] 2010年6月3日 ~ 6月3日
Assessment of release properties on UV-NIL using nano-scale high aspect ratio mold
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Junki Takahashi, Yasuhiro Kamiya
[ 学会・会議名 ] THE 54th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 発表日付 ] 2010年6月2日 ~ 6月2日
Electrical properties of transferred nano metal pattern using metal oxide release layer method
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shouichi Ide
[ 学会・会議名 ] THE 54th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 発表日付 ] 2010年6月2日 ~ 6月2日
同一スタンプを用いた2トーンナノプリントトランスファーに関する研究
[ 共同発表者名 ] 海野 徳幸,谷口 淳
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会 春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2010年3月18日
高アスペクトナノ金型の作製と樹脂転写時の離型力の測定
[ 共同発表者名 ] 高橋 純輝,神谷 靖浩,谷口 淳
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会 春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2010年3月18日
Ion-bombardment-enhanced etching of quartz
[ 共同発表者名 ] Takashi Okumoto, Jun Taniguchi, Sadao Momota, Yasuo Kogo, Noritaka Kawasegi, and Noboru Morita
[ 学会・会議名 ] The 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 発表日付 ] 2009年12月4日
Strain fiels in Si mold on UV-nanoimprint lithography
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Kazutomo Osari, Yasushi Morihira
[ 学会・会議名 ] The 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 発表日付 ] 2009年12月4日
Focused ion beam machining of silicon carbide
[ 共同発表者名 ] Takashi Okumoto, Kousuke Sawai, Jun Taniguchi, Takaaki Oosumi, Shin-ichi Satake, Shun Yamashina, Yasuo Kogo
[ 学会・会議名 ] The 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 発表日付 ] 2009年12月4日
3D metal nano pattern transfer on PET using novel release method
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shoichiro Ishikawa
[ 学会・会議名 ] The 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 発表日付 ] 2009年12月3日
High aspect metal pattern replication technique using metal oxide release layer
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] The 4th International Symposium on Atomic Technology
[ 発表日付 ] 2009年11月18日 ~ 11月18日
ナノインプリントにおけるUV硬化樹脂の温度依存性に関する研究
[ 共同発表者名 ] 佐竹 信一,金井 高弘,米本 幸弘,海野 徳幸,谷口 淳
[ 学会・会議名 ] 日本機械学会 熱工学コンファレンス2009
[ 発表日付 ] 2009年11月8日 ~ 11月8日
Two tone metal pattern transfer technique using same mold surface
[ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Shouichi Ide, Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] 35nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
[ 発表日付 ] 2009年9月29日 ~ 9月30日
Fabrication of nano dot arrays with 20nm or less size and effect of Post Exposure Bake
[ 共同発表者名 ] Tetsuro Manabe, Jun Taniguchi, Kiyoshi Ishikawa
[ 学会・会議名 ] 35nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
[ 発表日付 ] 2009年9月29日 ~ 9月30日
Fabrication of three-dimensional roll mold using electron beam direct writing to rotating cylindrical substrate
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Masao Aratani
[ 学会・会議名 ] 35nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
[ 発表日付 ] 2009年9月29日 ~ 9月30日
Observation of filling behavior on UV nanoimprint lithography using release coating
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Kazutomo Osari, Ken-ich Machinaga, Nobuji Sakai, Takeshi Ohsaki
[ 学会・会議名 ] 35nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
[ 発表日付 ] 2009年9月29日 ~ 9月30日
Fabrication of fine three-dimensional metal pattern on plastic substrate
[ 共同発表者名 ] Shouichiro Ishikawa, Noriyuki Unno, Shoichi Ide, Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] 35nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
[ 発表日付 ] 2009年9月29日 ~ 9月30日
High density nano scale pattern transfer technique of UV nanoimprint lithography and measurement of release force
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya, Nobuji Sakai, Takeshi Ohsaki
[ 学会・会議名 ] 35nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
[ 発表日付 ] 2009年9月29日 ~ 9月30日
酸化金属離型膜を用いた金属微細パターン直接転写法
[ 共同発表者名 ] 海野 徳幸、井手 翔一、石川 昇一郎、谷口 淳
[ 学会・会議名 ] 2009年度精密工学会 秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2009年9月10日 ~ 9月10日
集束イオンビームを用いたSiCの3次元モールドの作製
[ 共同発表者名 ] 奥本剛,沢井孝介,谷口淳,佐竹信一,山科瞬,向後保雄
[ 学会・会議名 ] 2009年度精密工学会 秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2009年9月10日 ~ 9月10日
Fabrication of anti-reflection structures and carbon nanofibers using only ion beam irradiation to glassy carbon
[ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi
[ 学会・会議名 ] OIE ’09 The Eighth Japan-Finland Joint Symposium on Optics in Engineering
[ 発表日付 ] 2009年9月4日 ~ 9月4日
High aspect metal pattern transfer technique on a plastic substrate using metal oxide release layer
[ 共同発表者名 ] N. Unno and J. Taniguchi
[ 学会・会議名 ] OIE ’09 The Eighth Japan-Finland Joint Symposium on Optics in Engineering
[ 発表日付 ] 2009年9月4日 ~ 9月4日
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