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選択的プラズマエッチングにより一体成形したシリコン電極を用いた小型燃料電池
[ 共同発表者名 ] 荒木伸太郎,Jose Geraldo Alves Brito-Neto,早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2007年3月20日 ~ 3月22日
シリコン電極を用いた薄型燃料電池の開発
[ 共同発表者名 ] 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 第4回日本真空協会関西支部セミナー
[ 発表日付 ] 2006年12月19日
Si Based Monolithic Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, S. Araki, J. G. A. Brito-Neto
[ 学会・会議名 ] 6th International Workshop on PowerMEMS 2006
[ 発表日付 ] 2006年11月30日
Fabrication of Silicon Based Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, S. Shirako, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 210th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2006年11月2日
Bottom-up Copper Deposition in Deep Trenches by Selective Accelerator Removal
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, Y. Touke
[ 学会・会議名 ] 210th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2006年11月2日
マイクロ燃料電池
[ 共同発表者名 ] 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 精密工学会, マイクロ生産機械システム専門委員会第6回委員会
[ 発表日付 ] 2006年7月28日
Deep Platinum Deposition on Medium and High-doping N-type Porous Silicon by Immersion Plating
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 209th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2006年5月9日
貴通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス
[ 共同発表者名 ] 加藤厚子, 内海敦, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
ドライエッチングによるSi燃料電池電気極の一体形成
[ 共同発表者名 ] 白子惣一, 早瀬仁人
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
貴通多孔質シリコン層における圧力損失測定
[ 共同発表者名 ] 内海敦, 加藤厚子, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
Siメソポーラス形成時に生じるマイクロポーラス層の除去
[ 共同発表者名 ] 荒木伸太郎, Geraldo Brito, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
CI-リッチ浴による銅めっきスーパーフィリングにおけるバンプ形成抑制
[ 共同発表者名 ] 西廣伸吾, 東家友也, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
薄型燃料電池Si電極のハンダ接合によるスタッキング
[ 共同発表者名 ] 菅 一大, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2006年3月15日
MEMS技術による燃料電池開発動向
[ 共同発表者名 ] 早瀬 仁則
[ 学会・会議名 ] 立命館大学2005年度マイクロシステム技術研究会第3回例会PowerMEMS2005報告会
[ 発表日付 ] 2006年1月16日
Catalyst Layer Formation onto Meso Pore Porous Silicon Layer for Miniature Fuel Cells
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, D. Saito
[ 学会・会議名 ] 5th Intl. Workshop PowerMEMS 2005
[ 発表日付 ] 2005年11月29日
超小型燃料電池の開発とその材料開発
[ 共同発表者名 ] 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 日本経営技術懇話会 研修会
[ 発表日付 ] 2005年10月20日
シリコン電極による部材の小型・薄型化
[ 共同発表者名 ] 早瀬 仁則
[ 学会・会議名 ] 技術情報協会セミナー
[ 発表日付 ] 2005年5月26日
Bump Reduction in Copper Superfilling by Cl- Rich Bath
[ 共同発表者名 ] M.Hayase, T.Hatsuzawa
[ 学会・会議名 ] The Electrodemical Society 207th Meeting
[ 発表日付 ] 2005年5月17日
シリコン電極による薄型燃料電池 -多孔質シリコン層の高空孔率化による性能向上-
[ 共同発表者名 ] 斎藤大輔
[ 学会・会議名 ] 第12回燃料電池シンポジウム
[ 発表日付 ] 2005年5月12日
Ultra Thin Fuel Cell with Monolithically Fabricate Silicon Electrodes
[ 共同発表者名 ] 早瀬 仁則
[ 学会・会議名 ] Small Fuel Cells 2005
[ 発表日付 ] 2005年4月28日
MEMS技術によるマイクロ燃料電池の開発動向
[ 共同発表者名 ] 早瀬
[ 学会・会議名 ] (株)電子ジャーナル主催シンポジウム「実用化が近づいた携帯機器用小型燃料電池」
[ 発表日付 ] 2004年10月27日
Effect of Pore Morphology on the Catalyst Metal Deposition into the Porous Si Layer
[ 共同発表者名 ] D. Saito, M. Hayase and T. Hatsuzawa
[ 学会・会議名 ] 206th Meeting of The Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2004年10月8日
Incorporation of Cl- into Copper Deposit at Initial Plating Period
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, T. Hatsuzawa and K. Hayabusa
[ 学会・会議名 ] 206th Meeting of The Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2004年10月8日
シリコン基板を用いた小型燃料電池 −多孔質シリコン形状の触媒層への影響−
[ 共同発表者名 ] 齊藤、早瀬、初澤
[ 学会・会議名 ] 2004年精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2004年9月15日
シリコン電極板による超薄型燃料電池
[ 共同発表者名 ] 早瀬、齊藤、初澤
[ 学会・会議名 ] 第11回燃料電池シンポジウム
[ 発表日付 ] 2004年5月19日
Ultra Thin Fuel Cell with Silicon Electrodes
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, T. Kawase and T. Hatsuzawa
[ 学会・会議名 ] 205th Meeting of The Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2004年5月11日
Effect of Cl- Concentration on Superfilling Behavior
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Taketani, T. Hatsuzawa and K. Hayabusa
[ 学会・会議名 ] 205th Meeting of The Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2004年5月10日
MEMS技術によるマイクロ燃料電池の開発動向
[ 共同発表者名 ] 早瀬
[ 学会・会議名 ] (株)電子ジャーナル主催シンポジウム「MEMS徹底討論」
[ 発表日付 ] 2004年4月22日
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