Top > Back > 学会発表 の検索結果 198 件中 121‐150 件目
Inverse Analysis of Accelerator Distribution in Copper TSV Filling |
[ 共同発表者名 ] Tatsuro Matsuoka, Keiichi Otsubo, Yuki Onishi, Kenji Amaya, Masanori Hayase |
[ 学会・会議名 ] 62nd Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry |
[ 発表日付 ] 2011年9月11日 ~ 9月16日 |
TSV 銅埋め込みにおける促進剤分布逆解析 |
[ 共同発表者名 ] 松岡達朗,大坪啓一,大西有希,天谷賢治,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 電気化学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 2011年9月9日 ~ 9月11日 |
マイクロ流路を用いた塩化物溶液層流下における銅溶解の観察 |
[ 共同発表者名 ] 作川卓,小竹希,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 電気化学会秋季大会 |
[ 発表日付 ] 2011年9月9日 ~ 9月11日 |
Measuring Sticking Force of Living Cells on Si Substrate with a Micro Fluidic Channel - Specific Adsorption by Antigen-Antibody Reaction - |
[ 共同発表者名 ] Eita Watanabe, Shinya Ariyasu, Kengo Hanaya, Toshihiro Suzuki, Akikazu Murakami, Takachika Azuma, Ryo Abe, Shin Aoki and Masanori Hayase |
[ 学会・会議名 ] International Symposium on Technologies agaisnt Cancer 2011 |
[ 発表日付 ] 2011年9月1日 ~ 9月2日 |
First Screening of Circulating Tumor Cells in Blood by Dimensional Difference - Tumor Cell Enrichment - |
[ 共同発表者名 ] Keiki Suyama, Shinya Ariyasu, Kengo Hanaya, Toshihiro Suzuki, Akikazu Murakami, Takachika Azuma, Ryo Abe, Shin Aoki and Masanori Hayase |
[ 学会・会議名 ] International Symposium on Technologies agaisnt Cancer 2011 |
[ 発表日付 ] 2011年9月1日 ~ 9月2日 |
Copper Deep Via Superfilling by Accelerator Distribution Control |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 219th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2011年5月3日 |
繊維状基材への直接リソグラフィのための均一なレジスト薄膜形成プロセス |
[ 共同発表者名 ] 内山勝語・早瀬仁則・張 毅・高木秀樹・伊藤寿浩 |
[ 学会・会議名 ] 平成23年電気学会全国大会 |
[ 発表日付 ] 2011年3月16日 ~ 3月18日 |
血中腫瘍細胞捕捉のための寸法によるファーストスクリーニング |
[ 共同発表者名 ] 陶山,有安,花屋,青木,鈴木,安部,村上,東,早瀬 |
[ 学会・会議名 ] 血中腫瘍細胞捕捉のための寸法によるファーストスクリーニング |
[ 発表日付 ] 2011年3月14日 ~ 3月16日 |
シリコンワンチップ型燃料電池の開発 |
[ 共同発表者名 ] 田中達也, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2011年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2011年3月14日 ~ 3月16日 |
Effect of Centrifugal Force on Copper Electrodeposition for Through Silicon Via Filling |
[ 共同発表者名 ] N. Mizukoshi, A. Suzuki, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 218th Meeting of The Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2010年10月10日 ~ 10月16日 |
Analysis of Natural Convection for Copper Deep Via Filling |
[ 共同発表者名 ] A. Suzuki, N. Mizukoshi, K. Aota,M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 218th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2010年10月10日 ~ 10月16日 |
プラズマエッチングされた多孔質シリコン上での細胞培養 |
[ 共同発表者名 ] 小代田志朗, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年9月27日 ~ 9月29日 |
促進剤分布制御による深孔銅めっき埋め込みの数値解析 |
[ 共同発表者名 ] 松岡達朗, 大坪啓一, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年9月27日 ~ 9月29日 |
一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池−Ru-Pt触媒による直接メタノール型の試作− |
[ 共同発表者名 ] 本条貴之,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年9月27日 ~ 9月29日 |
銅めっき深穴埋込における遠心力の影響 |
[ 共同発表者名 ] 水越直樹, 鈴木敦義, 青田清信, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年3月17日 |
深穴埋込み銅めっき時の濃度差対流解析 |
[ 共同発表者名 ] 鈴木敦義, 青田清信, 水越直樹,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2010年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2010年3月17日 |
A Miniature Fuel Cell with Monolithic Si Based Electrodes - Adhesion between Electrodes and PEM - |
[ 共同発表者名 ] K. Horikoshi, Y. Tajima, T. Fujii and M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 216th Meeting of The Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2009年11月9日 |
Formation of Through-Chip Porous Noble MetalLayers on Silicon Substrates |
[ 共同発表者名 ] Taku Matsuzaka, Junichi Shimanuki, Takashi Ishiguro, Masanori Hayase |
[ 学会・会議名 ] 216th Meeting of The Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2009年11月6日 |
シリコン一体成形電極板による薄型燃料電池 |
[ 共同発表者名 ] 早瀬 仁則 |
[ 学会・会議名 ] 高分子学会 第4回超分子研究会講座 |
[ 発表日付 ] 2009年9月29日 |
マイクロ流路を用いた層流下における銅の腐食挙動 |
[ 共同発表者名 ] 小竹希, 竹内一平, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 第56回材料と環境討論会 |
[ 発表日付 ] 2009年9月28日 |
一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池-電解質膜の密着性改善- |
[ 共同発表者名 ] 堀越亮志, 田島裕亮, 藤井智也, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2009年9月12日 |
深溝埋込み銅めっき時の濃度差対流解析 |
[ 共同発表者名 ] 青田清信, 水越直樹, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2009年9月10日 |
シリコン基板上への貫通した多孔質貴金属層の形成 |
[ 共同発表者名 ] 松坂 拓, 島貫純一, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2009年9月10日 |
一体形成シリコン電極板による薄型燃料電池 |
[ 共同発表者名 ] 早瀬 仁則 |
[ 学会・会議名 ] 日本電子顕微鏡学会 電子顕微鏡解析技術フォーラム |
[ 発表日付 ] 2009年8月21日 |
Accelerator Distribution Control for Bottom-up Copper Deposition in Deep Holes |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Nagao |
[ 学会・会議名 ] 215th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2009年5月17日 ~ 5月22日 |
Fabrication of Through-chip Porous Pd Layer on Si Substrate for Miniature Fuel Cells |
[ 共同発表者名 ] T Matsuzaka, J. G. A. Brito-Neto, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 8th intl. workshop PowerMEMS 2008 |
[ 発表日付 ] 2008年11月9日 ~ 11月11日 |
Through-chip Porous Ru-Pt Catalyst Layer for Miniature DMFC |
[ 共同発表者名 ] Y. Saito, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 8th intl. workshop PowerMEMS 2008 |
[ 発表日付 ] 2008年11月9日 ~ 11月11日 |
Miniature Fuel Cell with MOnolithically Fabricated Si Electrodes - Optimization with Square Shape Through-chip Porous Layer - |
[ 共同発表者名 ] Y. Tajima, T. Fujii, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 8th intl. workshop PowerMEMS 2008 |
[ 発表日付 ] 2008年11月9日 ~ 11月11日 |
Bottom-up Copper Deposition in Deep Holes by Selective Accelerator Removal |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Nagao |
[ 学会・会議名 ] 214th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2008年10月9日 ~ 10月13日 |
Formation of Porous Noble Metal Layer by Displacement Reactions with Porous Silicon |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, T. Matsuzaka, J. G. A. Brito-Neto |
[ 学会・会議名 ] 214th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2008年10月9日 ~ 10月13日 |