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Porous Silicon Based Microfluidic Device for Bio-applications
[ 共同発表者名 ] V. N. Tondare, N. Ozawa, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2008年9月17日 ~ 9月19日
A Novel Fuel Cell Electrode Structure with Porous Pt Layer Formed on a Si Substrate
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, T. Fujii, J. G. A. Brito-Neto
[ 学会・会議名 ] CIMTEC2008
[ 発表日付 ] 2008年6月8日 ~ 6月13日
Porous Metal Frameworks on Silicon Substrates
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, T. Matsuzaka, Y. Saito, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] CIMTEC2008
[ 発表日付 ] 2008年6月8日 ~ 6月13日
シリコン基板上への多孔質パラジウム層形成とその応用
[ 共同発表者名 ] 松坂 拓, 齋藤陽介, Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] シリコン基板上への多孔質パラジウム層形成とその応用
[ 発表日付 ] 2008年3月31日
一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池-プラズマエッチングの一様性改善-
[ 共同発表者名 ] 田島裕亮,藤井智也,早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2008年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2008年3月17日
Synthesis of Porous Noble Metal Layers by Immersion Plating on Porous Silicon
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, J. G. A. Brito-Neto
[ 学会・会議名 ] 6th Intl. Conf. Porous Semiconductors Science and Technology
[ 発表日付 ] 2008年3月10日
Ag-Sn Solder Bonding for Stacking Micro Fuel Cells
[ 共同発表者名 ] K. Kan, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 7th intl. workshop PowerMEMS 2007
[ 発表日付 ] 2007年11月28日
Thin Si Based Fuel Cell with Porous Pt Layer Formed on a Si Substrate
[ 共同発表者名 ] T. Fujii, J. G. A. Brito-Neto, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 7th intl. workshop PowerMEMS 2007
[ 発表日付 ] 2007年11月28日
Accelerator Behavior with Reverse Pulses in Copper Elctroplating
[ 共同発表者名 ] M. Nagao, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 212th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2007年10月8日
Formation of Porous Ruthenium Layer on Porous Silicon Template
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, Y. Saito, K. Kondo, J. G. A. Brito-Neto
[ 学会・会議名 ] 212th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2007年10月8日
多孔質シリコン層の多孔質パラジウム層への改質
[ 共同発表者名 ] Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 松坂 拓, 近藤健太郎, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2007年電気化学会第秋季大会
[ 発表日付 ] 2007年9月19日
Effect of agitation on accelerator removal by reverse pulses in copper electroplating
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Nagao
[ 学会・会議名 ] 58th Meeting of the Intl. Soc. of Electrochem
[ 発表日付 ] 2007年9月13日
Siチップ接合時のはんだ層厚均一化
[ 共同発表者名 ] 菅一大,早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2007年9月12日
A Novel Device for Fixing Small Objects Using Through-Pore Porous Silicon
[ 共同発表者名 ] A. Kato, A. Uchiumi, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] Transducers'07
[ 発表日付 ] 2007年6月12日
Deep Via Filling by Electroplating for Through Chip Electrodes of Stacked ICs
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Nagao, Y. Toke
[ 学会・会議名 ] 5th Intl. Conf. on Numerical Analysis Engineering NAE2007
[ 発表日付 ] 2007年5月19日
Porous Gold Structures Built on Silicon Substrates
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, K. Kondo, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 211th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2007年5月6日 ~ 5月10日
Si基板上へAu多孔質構造の形成
[ 共同発表者名 ] Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 近藤健太郎, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 電気化学会第74回大会
[ 発表日付 ] 2007年3月29日 ~ 3月31日
多孔質シリコン深部への白金堆積
[ 共同発表者名 ] 藤井智也,Jose Geraldo Alves Brito-Neto,早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 電気化学会第74回大会,
[ 発表日付 ] 2007年3月29日 ~ 3月31日
選択的プラズマエッチングにより一体成形したシリコン電極を用いた小型燃料電池
[ 共同発表者名 ] 荒木伸太郎,Jose Geraldo Alves Brito-Neto,早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2007年3月20日 ~ 3月22日
選択的促進剤除去によるボトムアップ銅めっき深溝埋込み
[ 共同発表者名 ] 長尾真行,東家友也,早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2007年3月20日 ~ 3月22日
貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス―流路の製作―
[ 共同発表者名 ] 太古無限,加藤厚子,早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2007年3月20日 ~ 3月22日
シリコン電極を用いた薄型燃料電池の開発
[ 共同発表者名 ] 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 第4回日本真空協会関西支部セミナー
[ 発表日付 ] 2006年12月19日
Si Based Monolithic Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, S. Araki, J. G. A. Brito-Neto
[ 学会・会議名 ] 6th International Workshop on PowerMEMS 2006
[ 発表日付 ] 2006年11月30日
Bottom-up Copper Deposition in Deep Trenches by Selective Accelerator Removal
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, Y. Touke
[ 学会・会議名 ] 210th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2006年11月2日
Fabrication of Silicon Based Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, S. Shirako, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 210th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2006年11月2日
マイクロ燃料電池
[ 共同発表者名 ] 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 精密工学会, マイクロ生産機械システム専門委員会第6回委員会
[ 発表日付 ] 2006年7月28日
Deep Platinum Deposition on Medium and High-doping N-type Porous Silicon by Immersion Plating
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, M. Hayase
[ 学会・会議名 ] 209th Meeting of the Electrochemical Society
[ 発表日付 ] 2006年5月9日
Siメソポーラス形成時に生じるマイクロポーラス層の除去
[ 共同発表者名 ] 荒木伸太郎, Geraldo Brito, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
貴通多孔質シリコン層における圧力損失測定
[ 共同発表者名 ] 内海敦, 加藤厚子, 早瀬仁則
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
ドライエッチングによるSi燃料電池電気極の一体形成
[ 共同発表者名 ] 白子惣一, 早瀬仁人
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演
[ 発表日付 ] 2006年3月16日
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