Top > Back > 学会発表 の検索結果 199 件中 151‐180 件目
Bottom-up Copper Deposition in Deep Holes by Selective Accelerator Removal |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Nagao |
[ 学会・会議名 ] 214th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2008年10月9日 ~ 10月13日 |
Porous Silicon Based Microfluidic Device for Bio-applications |
[ 共同発表者名 ] V. N. Tondare, N. Ozawa, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2008年9月17日 ~ 9月19日 |
A Novel Fuel Cell Electrode Structure with Porous Pt Layer Formed on a Si Substrate |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, T. Fujii, J. G. A. Brito-Neto |
[ 学会・会議名 ] CIMTEC2008 |
[ 発表日付 ] 2008年6月8日 ~ 6月13日 |
Porous Metal Frameworks on Silicon Substrates |
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, T. Matsuzaka, Y. Saito, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] CIMTEC2008 |
[ 発表日付 ] 2008年6月8日 ~ 6月13日 |
シリコン基板上への多孔質パラジウム層形成とその応用 |
[ 共同発表者名 ] 松坂 拓, 齋藤陽介, Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] シリコン基板上への多孔質パラジウム層形成とその応用 |
[ 発表日付 ] 2008年3月31日 |
一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池-プラズマエッチングの一様性改善- |
[ 共同発表者名 ] 田島裕亮,藤井智也,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2008年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2008年3月17日 |
Synthesis of Porous Noble Metal Layers by Immersion Plating on Porous Silicon |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, J. G. A. Brito-Neto |
[ 学会・会議名 ] 6th Intl. Conf. Porous Semiconductors Science and Technology |
[ 発表日付 ] 2008年3月10日 |
Thin Si Based Fuel Cell with Porous Pt Layer Formed on a Si Substrate |
[ 共同発表者名 ] T. Fujii, J. G. A. Brito-Neto, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 7th intl. workshop PowerMEMS 2007 |
[ 発表日付 ] 2007年11月28日 |
Ag-Sn Solder Bonding for Stacking Micro Fuel Cells |
[ 共同発表者名 ] K. Kan, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 7th intl. workshop PowerMEMS 2007 |
[ 発表日付 ] 2007年11月28日 |
Formation of Porous Ruthenium Layer on Porous Silicon Template |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, Y. Saito, K. Kondo, J. G. A. Brito-Neto |
[ 学会・会議名 ] 212th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2007年10月8日 |
Accelerator Behavior with Reverse Pulses in Copper Elctroplating |
[ 共同発表者名 ] M. Nagao, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 212th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2007年10月8日 |
多孔質シリコン層の多孔質パラジウム層への改質 |
[ 共同発表者名 ] Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 松坂 拓, 近藤健太郎, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2007年電気化学会第秋季大会 |
[ 発表日付 ] 2007年9月19日 |
Effect of agitation on accelerator removal by reverse pulses in copper electroplating |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Nagao |
[ 学会・会議名 ] 58th Meeting of the Intl. Soc. of Electrochem |
[ 発表日付 ] 2007年9月13日 |
Siチップ接合時のはんだ層厚均一化 |
[ 共同発表者名 ] 菅一大,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2007年9月12日 |
A Novel Device for Fixing Small Objects Using Through-Pore Porous Silicon |
[ 共同発表者名 ] A. Kato, A. Uchiumi, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] Transducers'07 |
[ 発表日付 ] 2007年6月12日 |
Deep Via Filling by Electroplating for Through Chip Electrodes of Stacked ICs |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, M. Nagao, Y. Toke |
[ 学会・会議名 ] 5th Intl. Conf. on Numerical Analysis Engineering NAE2007 |
[ 発表日付 ] 2007年5月19日 |
Porous Gold Structures Built on Silicon Substrates |
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, K. Kondo, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 211th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2007年5月6日 ~ 5月10日 |
多孔質シリコン深部への白金堆積 |
[ 共同発表者名 ] 藤井智也,Jose Geraldo Alves Brito-Neto,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 電気化学会第74回大会, |
[ 発表日付 ] 2007年3月29日 ~ 3月31日 |
Si基板上へAu多孔質構造の形成 |
[ 共同発表者名 ] Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 近藤健太郎, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 電気化学会第74回大会 |
[ 発表日付 ] 2007年3月29日 ~ 3月31日 |
貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス―流路の製作― |
[ 共同発表者名 ] 太古無限,加藤厚子,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2007年3月20日 ~ 3月22日 |
選択的促進剤除去によるボトムアップ銅めっき深溝埋込み |
[ 共同発表者名 ] 長尾真行,東家友也,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2007年3月20日 ~ 3月22日 |
選択的プラズマエッチングにより一体成形したシリコン電極を用いた小型燃料電池 |
[ 共同発表者名 ] 荒木伸太郎,Jose Geraldo Alves Brito-Neto,早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2007年3月20日 ~ 3月22日 |
シリコン電極を用いた薄型燃料電池の開発 |
[ 共同発表者名 ] 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 第4回日本真空協会関西支部セミナー |
[ 発表日付 ] 2006年12月19日 |
Si Based Monolithic Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, S. Araki, J. G. A. Brito-Neto |
[ 学会・会議名 ] 6th International Workshop on PowerMEMS 2006 |
[ 発表日付 ] 2006年11月30日 |
Fabrication of Silicon Based Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching |
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, S. Shirako, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 210th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2006年11月2日 |
Bottom-up Copper Deposition in Deep Trenches by Selective Accelerator Removal |
[ 共同発表者名 ] M. Hayase, Y. Touke |
[ 学会・会議名 ] 210th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2006年11月2日 |
マイクロ燃料電池 |
[ 共同発表者名 ] 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 精密工学会, マイクロ生産機械システム専門委員会第6回委員会 |
[ 発表日付 ] 2006年7月28日 |
Deep Platinum Deposition on Medium and High-doping N-type Porous Silicon by Immersion Plating |
[ 共同発表者名 ] J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, M. Hayase |
[ 学会・会議名 ] 209th Meeting of the Electrochemical Society |
[ 発表日付 ] 2006年5月9日 |
貴通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス |
[ 共同発表者名 ] 加藤厚子, 内海敦, 早瀬仁則 |
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演会 |
[ 発表日付 ] 2006年3月16日 |
ドライエッチングによるSi燃料電池電気極の一体形成 |
[ 共同発表者名 ] 白子惣一, 早瀬仁人 |
[ 学会・会議名 ] 2006年度精密工学会春季大会学術講演 |
[ 発表日付 ] 2006年3月16日 |