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Molecular dynamics simulation of surface deformation via Ga+ collision process
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Akinori Fukushige, Shun Yamashina, Masahiko Shibahara, Sadao Momota and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of 10th conference in a series of international conferences on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES 2010)
[ 掲載年月 ] 2010年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of seamless three-dimensional roll mold using electron beam direct writing to rotating cylindrical substrate
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi and Masao Aratani
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 54th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2010年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Electrical properties of transferred nano metal pattern using metal oxide release layer method
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shouichi Ide
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 54th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2010年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Assessment of release properties on UV-NIL using nano-scale high aspect ratio mold
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Junki Takahashi, Yasuhiro Kamiya
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 54th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2010年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Ion-bombardment-enhanced etching of quartz
[ 全著者名 ] Takashi Okumoto, Jun Taniguchi, Sadao Momota, Yasuo Kogo, Noritaka Kawasegi, and Noboru Morita
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 掲載年月 ] 2009年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
3D metal nano pattern transfer on PET using novel release method
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shoichiro Ishikawa
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 掲載年月 ] 2009年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Strain fiels in Si mold on UV-nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Kazutomo Osari, Yasushi Morihira
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 掲載年月 ] 2009年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Focused ion beam machining of silicon carbide
[ 全著者名 ] Takashi Okumoto, Kousuke Sawai, Jun Taniguchi, Takaaki Oosumi, Shin-ichi Satake, Shun Yamashina, Yasuo Kogo
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the 5th Inthernational conferece on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
[ 掲載年月 ] 2009年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of fine three-dimensional metal pattern on plastic substrate
[ 全著者名 ] Shouichiro Ishikawa, Noriyuki Unno, Shoichi Ide, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 35th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2009年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of nano dot arrays with 20nm or less size and effect of Post Exposure Bake
[ 全著者名 ] Tetsuro Manabe, Jun Taniguchi, Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 35th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2009年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Observation of filling behavior on UV nanoimprint lithography using release coating
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Kazutomo Osari, Ken-ich Machinaga, Nobuji Sakai, Takeshi Ohsaki
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 35th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2009年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Two tone metal pattern transfer technique using same mold surface
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shouichi Ide, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 35th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2009年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
High density nano scale pattern transfer technique of UV nanoimprint lithography and measurement of release force
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya, Nobuji Sakai, Takeshi Ohsaki
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 35th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2009年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of three-dimensional roll mold using electron beam direct writing to rotating cylindrical substrate
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masao Aratani
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 35th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2009年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
OBSERVATION OF UV NANOIMPRINT LITHOGRAPHY PROCESS BY MICRODIGITALHOLOGRAPHIC- PTV
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shin-ichi Satake, Noriyuki Unno, Takahiro Kanai
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the IPACK2009
[ 掲載年月 ] 2009年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
THREE DIMENSIONAL NANOIMPRINT LITHOGRAPHY USING PHOTO-CURABLE RESIN
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno, Yasuhiro Kamiya,Nobuji Sakai, Takeshi Ohsaki
[ 掲載誌名 ] Proceedings of ANTEC2009
[ 掲載年月 ] 2009年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication Of Nano Dots Array Mold Using Inorganic Electron Beam Resist And Post Exposure Bake
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Tetsuro Manabe and Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 53rd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2009年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication Of Seamless Roll Mold Using Electron Beam Direct Writing To Rotating Cylindrical Substrate
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi and Masao Aratani
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 53rd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2009年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Nano Scale Three-Dimensional Metal Pattern Transfer By Nanoimprint Lithography Using Metal Oxide As A Release Layer
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shouichi Ide and Shoichiro Ishikawa
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 53rd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2009年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Nanoprint lithography of metal nano-patterns on plastic films
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hirosi Sakaguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 34nd INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2008年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Filling behavior of UV nanoimprint resin using midair structure mold
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Noriyuki Unnno, Nobuji Sakai
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 34nd INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2008年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of 30-nm-diameter nano-dot-array mold and characteristics of pattern transfer in UV-nanoimprint
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Tetsuro Manabe, Kenta Ogino, Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008)
[ 掲載年月 ] 2008年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Direct printing of metal nano-patterns on plastic films using hard stamp nanoprint lithography
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hiroshi Sakaguchi
[ 掲載誌名 ] 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008)
[ 掲載年月 ] 2008年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication and forming process observation of anti-reflection structures on glassy carbon surface
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yoshimi Nemoto, Yuusuke Katou
[ 掲載誌名 ] 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008)
[ 掲載年月 ] 2008年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of the nanoimprint mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Miyako Shizuno, Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 52nd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2008年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of anti-reflection structures and carbon nanofibers using only ion beam irradiation to glassy carbon
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yoshimi Nemoto
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 52nd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2008年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
QUANTUM MOLECULAR DYNAMICS STUDY ON ENERGY TRANSFER TO THE SECONDARY ELECTRON IN SURFACE COLLISION PROCESS OF AN ION
[ 全著者名 ] Masahiko Shibahara, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of HT2007 2007 ASME-JSME Thermal Engineering Summer Heat Transfer Conference
[ 掲載年月 ] 2007年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of three-dimensional nanoimprint mold using Bosch process
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Kenji Kawaguchi, Yoshiaki Ishii and Yoshiya Sugiyama
[ 掲載誌名 ] Proceedings of The 9th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2007)
[ 掲載年月 ] 2007年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Ion Beam Lithography Of Quartz
[ 全著者名 ] J.Taniguchi, T.Nakao, Y.Kogo, S.Momota, N.Kawasegi, N.Morita
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 51st INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2007年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Sub-100nm Three-Dimensional Nano Imprint Lithography
[ 全著者名 ] J. Taniguchi, N. Unno, Y. Ishii
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 51st INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2007年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
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