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Fabrication of High Aspect Ratio Pattern via High Throughput Roll to Roll Ultraviolet Nanoimprint Lithography
[ 全著者名 ] Hiroshi YOSHIKAWA, Jun TANIGUCHI
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 38th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Control of carbon nanofibers configuration on glassy carbon by two-step ion beam iiradiation method
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yuki Konno
[ 掲載誌名 ] Proceedings of The 18th conference on ion beam modification of materials (IBMM 2012)
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Super-resolution technique for nanoimprint mold using elastic UV curable resin
[ 全著者名 ] Noriyuki UNNO, Shin-ichi SATAK, Jun TANIGUCHI
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 38th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
An enhancement of water evaporation on nano-conical structure formed by an irradiated ion beam
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Y.Yonemoto, T. Kikuchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of The 18th conference on ion beam modification of materials (IBMM 2012)
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Pre-hardening Ultraviolet nanoimprint lithography using opaque mold
[ 全著者名 ] Yuya KAICHI, Jun TANIGUCHI
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 38th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Dwell time adjustment for focused ion beam machining
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shin-ichi Satake, Takaki Oosumi, Akihisa Fukushige, Yasuo Kogo
[ 掲載誌名 ] Proceedings of The 18th conference on ion beam modification of materials (IBMM 2012)
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of self-support antireflection structure film by UV-NIL
[ 全著者名 ] NURHAFIZAH ABU TALIP[A]YUSOF, Jun TANIGUCHI
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 38th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of anti-reflection structure with antifouling effect surface by Ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Keita YAJIMA, Jun TANIGUCHI
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 38th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Molecular Dynamics Simulation of Ga+ Ion Collision Process
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, K.Ono, M.Shibahara, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of The 18th conference on ion beam modification of materials (IBMM 2012)
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
High Density Pattern Transfer via Roll to Roll Ultraviolet Nanoimprint Lithograpy using Replica Mold
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno, Hiroki Maruyama, Masashi Saito, Hiroshi Yoshikawa, Go Tazaki and Toshiyuki Zento
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 56th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2012年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Release Agent Properties in Ultraviolet Nanoimprint Lithography using High-Aspect-Ratio Nanoscale Molds
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi and Junki Takahashi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 56th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2012年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Additional and correction patterning of resist layer using scanning probe lithography
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Takao Inoue and Toshihiko Ochi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 56th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION
[ 掲載年月 ] 2012年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of Antireflection Film using Roll Shape Glassy Carbon Mold with Moth-Eye Structures
[ 全著者名 ] Jun TANIGUCHI, Noriyuki UNNO, Kaoru ADACHI, Yasuhisa TSUKAHARA, Takashi MATSUURA, Tatsuya NISHIMURA, Youji YAMADA and Hitoshi KAWANOWA
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
[ 掲載年月 ] 2011年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of roll mold using electron beam direct writing and metal liftoff process
[ 全著者名 ] Hiroki Maruyama, Noriyuki Unno and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2011年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Improving the lifespan of the cantilever during scanning probe lithography
[ 全著者名 ] Takao Inoue, Jun Taniguchi, and Toshihiko Ochi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2011年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
A technique for transferring metal nano patterns from a plastic replica mold by using a metal oxide release layer
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Hironobu Tamura, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2011年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Quantum molecular dyanmics study on energy transfer to an emitted electron in surface collision process of particle
[ 全著者名 ] Masahiko Shibahara, Takeaki Yokoi, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the 4th International Conference on Heat Transfer and Fluid Flow in Microscale
[ 掲載年月 ] 2011年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Lifetime evaluation of release agent for ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Daisuke Yamashita, Jun Taniguchi, and Hokuto Suzuki
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2011年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro- digital Holographic-PTV
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Takahiro Kanai, Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2011年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Control of swelling height of Si crystal by irradiating Ar beam
[ 全著者名 ] Sadao Momota, Jianguo Zhang, Takuya Toyonaga, Hikaru Terauchi, Kazuki Maeda, Jun Taniguchi, Takashi Hirao, Mamoru Furuta, Toshiyuki Kawaharamura
[ 掲載誌名 ] Proceedings of AsiaNANO2010, The 5th in the series of Asian Conference on Nanoscience & Nanotechnology
[ 掲載年月 ] 2010年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Three-dimensional Metal Patterning Technique onto Plastic Substrate using Metal Oxide Release Layer
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shoichiro Ishikawa
[ 掲載誌名 ] Proceedings of 4th CIRP International Conference on High Performance Cutting
[ 掲載年月 ] 2010年 10月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of less than 20-nm-diameter nanodot arrays using inorganic electron beam resist and post exposure bake
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Tetsuro Manabe, Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] Proceedings of 4th CIRP International Conference on High Performance Cutting
[ 掲載年月 ] 2010年 10月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Throughput improvement of roll mold fabrication process using electron beam lithography
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shintaro Tsuji, Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 36th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of carbon nanofibers using only ion beam irradiation to glassy carbon
[ 全著者名 ] Takashi Okkumoto, Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 36th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of the metal nano pattern on plastic substrate using roll nanoimprint
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 36th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Nanoimprint mold fabrication methods using scanning probe lithography
[ 全著者名 ] Takao Inoue, Jun Taniguchi, Toshihiko Ochi, Osamu Imai
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 36th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Repetition pattern transfer of high aspect ratio mold by UV-NIL
[ 全著者名 ] Junki Takahashi, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 36th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of nano dots pattern mold and transfer of metal dots pattern
[ 全著者名 ] Tadashi Ikemura, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of THE 36th INTERNATIONAL CONFERENCE on Micro & Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Molecular Dynamics Simulation for Surface Deformation via Ar+ Ion Collision Process
[ 全著者名 ] Shin-ichi, Satake, Sadao Momota, Akinori Fukushige, Shun Yamashina, Masahiko , Shibahara and Jun, Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of The 17th conference on ion beam modification of materials (IBMM 2010)
[ 掲載年月 ] 2010年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Molecular dynamics simulation of surface deformation via Ga+ collision process
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Akinori Fukushige, Shun Yamashina, Masahiko Shibahara, Sadao Momota and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of 10th conference in a series of international conferences on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES 2010)
[ 掲載年月 ] 2010年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
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