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三次元ナノインプリントモールド作製技術とその応用
[ 全著者名 ] 海野 徳幸,谷口 淳,石井 良明
[ 掲載誌名 ] 成形加工'07 JSPP '07 Tech Papers
[ 掲載年月 ] 2007年 5月
[ 著作区分 ] その他著作
Nano-scale sputtering behavior in Focused Ion Beam processing via Large-Scale Molecular Dynamics Simulation
[ 全著者名 ] Satake, S., Inoue, N., Taniguchi, J., Shibahara, M.
[ 掲載誌名 ] Proc. of Energy Nanotechnology international Conference (ENIC2006)
[ 掲載年月 ] 2006年 6月
[ 著作区分 ] その他著作
Three-dimensional visualization in a micro-flow via micro-digital holographic particle-tracking velocimetry
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Tomoaki Kunugi, Kazuho Sato, Tomoyoshi Ito, Hiroyuki Kanamori, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] The second International Symposium on Micro & Nano Technology (ISMNT-2)
[ 掲載年月 ] 2006年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
ナノテクノロジーによるものづくり発祥の地である日本から様々な試みがなされようとしている
[ 全著者名 ] 谷口 淳
[ 掲載誌名 ] Semiconductor FPD World
[ 掲載年月 ] 2006年 2月
[ 著作区分 ] その他著作
Measurements of 3D flow in Micro pipe and channel via Micro Digital Holographic Particle Tracking Velocimetry
[ 全著者名 ] Satake, S., Kunugi, T., Sato, K., Ito T., Taniguchi, J., Kanamori, H.
[ 掲載誌名 ] Bulletin of the American Physical Society
[ 掲載年月 ] 2005年 11月
[ 著作区分 ] その他著作
ナノ・マイクロ加工のためのドライエッチング技術
[ 全著者名 ] 宮本 岩男、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 機械の研究
[ 掲載年月 ] 2005年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
EUVミラー加工を目的としたIBF装置の開発
[ 全著者名 ] 沼田 敦史、安藤 学、宮本 岩男、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 次世代リソグラフィワークショップ予稿集
[ 掲載年月 ] 2005年 7月
[ 著作区分 ] その他著作
Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD
[ 全著者名 ] N. Sakamoto, Y. Kogo, T. Yasuno, J. Taniguchi, I Miyamoto
[ 掲載誌名 ] Proceedings of the 2nd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2005
[ 掲載年月 ] 2005年 6月
[ 著作区分 ] その他著作
Proc. of 5th Japan-Korea Joint Symposium on Micro Fabrication
[ 全著者名 ] 谷口 淳
[ 掲載誌名 ] Proc. of 5th Japan-Korea Joint Symposium on Micro Fabrication
[ 掲載年月 ] 2005年 2月
[ 著作区分 ] その他著作
UV-nanoimpritn Lithography using new photo-curable materials and 3-Demensional patterning method.
[ 全著者名 ] N. Sakai, M. Ohtaguchi, K. Kawaguchi, J. Taniguchi, and I. Miyamoto
[ 掲載誌名 ] Proceedings of The 11th International Display Workshops
[ 掲載年月 ] 2004年 12月
[ 著作区分 ] その他著作
3-dimensional nano fabrication process of quartz
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masamichi Iida, Takayuki Miyazawa, and Iwao Miyamoto
[ 掲載誌名 ] IEEE 9th International Symposium and Exhibition on Advanced Packaging Materials, IEEE Cataolog Number: 04TH8742
[ 掲載年月 ] 2004年
[ 著作区分 ] その他著作
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