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電子ビームリソグラフィによるロールモールド上への描画特性 ー微細ラインアンドスペースパターンとドットパターン作製 -
[ 全著者名 ] 小島 凱、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2017年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
液体分離方式インプリントによる高粘度樹脂の残膜低減に関する研究
[ 全著者名 ] 木上 裕,谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 日本機械学会関東支部第23期総会講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2017年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
半充填法による防汚性反射防止構造の作製技術
[ 全著者名 ] 衛藤 ひかり,日和佐 伸,谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 日本機械学会関東支部第23期総会講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2017年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
UV-NILで作製した高硬度レプリカモールドの繰り返し転写耐久性の評価
[ 全著者名 ] 土屋 純平,日和佐 伸,谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 日本機械学会関東支部第23期総会講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2017年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
固体酸化物形燃料電池電解質へのフィン構造作製方法
[ 全著者名 ] 谷口 淳、木上 裕、金 容兌、焦 震鈞、鹿園 直毅
[ 掲載誌名 ] 日本機械学会熱工学コンファレンス2016講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 10月
[ 著作区分 ] その他著作
Arイオンビーム照射による炭化ケイ素結晶の隆起高さの制御
[ 全著者名 ] 佐藤法幸、百田佐多生、冨永大輔、杢尾絋太郎、瀬尾拓也、田口健太、與本祐輔、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
銀インクを用いた金属ナノ構造積層技術の開発
[ 全著者名 ] 和田山久広、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
金属転写用微細高アスペクト比モールドの作製
[ 全著者名 ] 佐藤尚行、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
UV硬化樹脂を用いた防汚性反射防止構造の作製
[ 全著者名 ] 衛藤ひかり、日和佐 伸、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
電子ビーム露光によるロール表面への描画特性
[ 全著者名 ] 高野雄太、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
離型剤フリーレプリカモールドを用いたUV-NIL における繰り返し転写耐久特性
[ 全著者名 ] 谷口 淳,中川 元, 日和佐 伸
[ 掲載誌名 ] 第77回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 (2016)
[ 掲載年月 ] 2016年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
水の屈折率を持つマイクロ構造体周りの全反射蛍光顕微鏡による3次元計測
[ 全著者名 ] 藤波 卓, 仲田 修一郎, 海野 徳幸, 佐竹 信一, 谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 第53回日本伝熱シンポジウム講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 5月
[ 著作区分 ] その他著作
ガラス基板上への反射防止構造の作製
[ 全著者名 ] 内田朋也、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
ロールナノインプリント技術による表面ナノ構造作製技術とその応用
[ 全著者名 ] 谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
樹脂レプリカモールドを用いた熱ナノインプリント技術
[ 全著者名 ] 垣本翔平、海野徳幸、日和佐 伸、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
銀インクを用いたフレキシブル基板上へのナノ金属格子パターンの作製
[ 全著者名 ] 小島 凱、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
離型剤フリーレプリカモールドを用いたUV-NILにおける繰り返し転写耐久特性
[ 全著者名 ] 中川 元、日和佐 伸、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
液体分離転写とドライエッチングによるSiモールドの作製
[ 全著者名 ] 木上 裕、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
Surface force measurement of ultraviolet nanoimprint lithography materials
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Masayuki Hasegawa, Hironao Amemiya, and Hayato Kobayashi
[ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
[ 掲載年月 ] 2016年 1月
[ 著作区分 ] その他著作
インデックマッチング法と全反射蛍光顕微鏡による水中におけるマイクロ構造体周りの3次元計測
[ 全著者名 ] 仲田 修一郎,海野 徳幸,佐竹 信一,谷口 淳,"
[ 掲載誌名 ] 日本機械学会流体工学部門講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2015年 11月
[ 著作区分 ] その他著作
ポリビニルアルコール薄膜への金属パターン転写技術を用いた全反射照明蛍光顕微鏡用校正プレートの作製
[ 全著者名 ] 海野 徳幸, 前田 麻夫, 佐竹 信一, 辻 隆浩,谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 日本機械学会第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
[ 掲載年月 ] 2014年 10月
[ 著作区分 ] その他著作
液体分離法式による金ナノドットアレイの積層
[ 全著者名 ] 辻 隆浩、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2014年度 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2014年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
Ar, Krビームの照射によるシリコン結晶表面のピンホール径の収縮
[ 全著者名 ] 佐藤法幸、戸梶秀人、手槌 聡、Guo Xiaowei、百田佐多生、谷口 淳、若松隆一、佐竹信一
[ 掲載誌名 ] 2014年度 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2014年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
8階調ホログラム読み出し専用メモリの回折光学素子の作製
[ 全著者名 ] 篠永悠太,荻野慧人,海野徳幸,吉田周平,山本学,谷口淳
[ 掲載誌名 ] 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2014年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
ロールプレス方式を用いた液体分離方式インプリントによる残膜制御
[ 全著者名 ] 林 竜也、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2014年度 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2014年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
ナノパターニングされた透明体フィルム上の液滴蒸発特性
[ 全著者名 ] 海野 徳幸, 浅野 元晴,佐竹 信一, 谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 第51 回日本伝熱シンポジウム講演論文集
[ 掲載年月 ] 2014年 5月
[ 著作区分 ] その他著作
ナノインプリント圧着過程中のUV 硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響
[ 全著者名 ] 浅野 元晴, 海野 徳幸, 佐竹 信一, 谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 第51 回日本伝熱シンポジウム講演論文集
[ 掲載年月 ] 2014年 5月
[ 著作区分 ] その他著作
Fabrication of Sub-100nm Three-dimensional Pattern via Control of Acceleration Voltage Electron Beam Lithography Technique
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of Photomask Japan 2014
[ 掲載年月 ] 2014年 4月
[ 著作区分 ] その他著作
Seamless Nano-pattering Method onto a Roll Substrate by Using Inorganic Electron Beam Resist and Super-resolution Technique
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proceedings of Photomask Japan 2014
[ 掲載年月 ] 2014年 4月
[ 著作区分 ] その他著作
粒子表面衝突時の電子へのエネルギー伝達に関する量子分子動力学的研究
[ 全著者名 ] 横井 武朗,芝原 正彦,佐竹 信一,谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 日本機械学会熱工学コンファレンス2013講演論文集
[ 掲載年月 ] 2013年 10月
[ 著作区分 ] その他著作
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