Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 70 件中 61‐70 件目
Two-tone metal pattern transfer technique using a single mold surface |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2010年 5月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Evaluation of filling behavior on UV nanoimprint lithography using release coating |
[ 全著者名 ] Kazutomo Osari, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Takeshi Ohsaki, Nobuji Sakai |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2010年 5月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Three-Dimensional Metal Nanoimprint Technique for Electrode and Electric probe |
[ 全著者名 ] N Unno, J Taniguchi, S Ide, S Ishikawa, Y Ootsuka, K Yamabe and T Kanbara |
[ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series |
[ 掲載年月 ] 2009年 10月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Filling Behavior Observation on UV Nanoimprint Lithography |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Kazutomo Osari, Kenji Machinaga, Jun Taniguchi, Takeshi Ohsaki, and Nobuji Sakai |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY |
[ 掲載年月 ] 2009年 7月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
中空格子構造金型によるUVナノインプリント時の樹脂の充填挙動の観察 |
[ 全著者名 ] 町長 賢一、谷口 淳、海野 徳幸、坂井 信支、大幸 武司 |
[ 掲載誌名 ] 成形加工 |
[ 掲載年月 ] 2009年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(日本語) |
Filling behavior of UV nanoimprint resin observed by using a midair structure mold |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Noriyuki Unno, Nobuji Sakai |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2009年 5月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Nanoprint lithography of gold nanopatterns on polyethylene terephthalate |
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hiroshi Sakaguchi |
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
[ 掲載年月 ] 2009年 5月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of the nanoimprint mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Miyako Shizuno, Kiyoshi Ishikawa |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2008年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Fabrication of a three-dimensional nanoimprint mold by using electron beam lithography with consideration of the proximity effect |
[ 全著者名 ] Unno N and Taniguchi J |
[ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series |
[ 掲載年月 ] 2008年 4月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |
Sub-100-nm three-dimensional nanoimprint lithography |
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Yoshiaki Ishii |
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
[ 掲載年月 ] 2007年 12月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語) |