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Filling Behavior Observation on UV Nanoimprint Lithography
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Kazutomo Osari, Kenji Machinaga, Jun Taniguchi, Takeshi Ohsaki, and Nobuji Sakai
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2009年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
中空格子構造金型によるUVナノインプリント時の樹脂の充填挙動の観察
[ 全著者名 ] 町長 賢一、谷口 淳、海野 徳幸、坂井 信支、大幸 武司
[ 掲載誌名 ] 成形加工
[ 掲載年月 ] 2009年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(日本語)
Nanoprint lithography of gold nanopatterns on polyethylene terephthalate
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hiroshi Sakaguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2009年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Filling behavior of UV nanoimprint resin observed by using a midair structure mold
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Noriyuki Unno, Nobuji Sakai
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2009年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of the nanoimprint mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Miyako Shizuno, Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2008年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of a three-dimensional nanoimprint mold by using electron beam lithography with consideration of the proximity effect
[ 全著者名 ] Unno N and Taniguchi J
[ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series
[ 掲載年月 ] 2008年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Sub-100-nm three-dimensional nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Yoshiaki Ishii
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2007年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
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