Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 67 件中 61‐67 件目
| Filling Behavior Observation on UV Nanoimprint Lithography |
| [ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Kazutomo Osari, Kenji Machinaga, Jun Taniguchi, Takeshi Ohsaki, and Nobuji Sakai |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY |
| [ 掲載年月 ] 2009年 7月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| 中空格子構造金型によるUVナノインプリント時の樹脂の充填挙動の観察 |
| [ 全著者名 ] 町長 賢一、谷口 淳、海野 徳幸、坂井 信支、大幸 武司 |
| [ 掲載誌名 ] 成形加工 |
| [ 掲載年月 ] 2009年 6月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（日本語） |
| Filling behavior of UV nanoimprint resin observed by using a midair structure mold |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Noriyuki Unno, Nobuji Sakai |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2009年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Nanoprint lithography of gold nanopatterns on polyethylene terephthalate |
| [ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hiroshi Sakaguchi |
| [ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING |
| [ 掲載年月 ] 2009年 5月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fabrication of the nanoimprint mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake |
| [ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Miyako Shizuno, Kiyoshi Ishikawa |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| [ 掲載年月 ] 2008年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Fabrication of a three-dimensional nanoimprint mold by using electron beam lithography with consideration of the proximity effect |
| [ 全著者名 ] Unno N and Taniguchi J |
| [ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series |
| [ 掲載年月 ] 2008年 4月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
| Sub-100-nm three-dimensional nanoimprint lithography |
| [ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Yoshiaki Ishii |
| [ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| [ 掲載年月 ] 2007年 12月 |
| [ 著作区分 ] レフェリー付学術論文（外国語） |
