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Three-dimensional thermal nanoimprinting by using lift-off patterns made of polymer resin.
[ 全著者名 ] Shuichiro Nakata, Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi.
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2016年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Self-relaxation characteristics of roll-to-roll imprinted nanogratings on plastic film
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Tapio Mäkelä, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional flow measurement of a water flow in a sphere-packed pipe by digital holographic PTV
[ 全著者名 ] S. Satake, Y. Aoyagi, N. Unno, K. Yuki, Y. Seki, M. Enoeda
[ 掲載誌名 ] FUSION ENGINEERING AND DESIGN
[ 掲載年月 ] 2015年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Outline of Liquid-Transfer Imprint Technology and Advanced Processes
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2015年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Durability and Transfer Properties of a Release-Agent-Free Replica Mold for Ultraviolet Nanoimprinting
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yuma Otsuka, Shingo Nose, Noriyuki Unno, Shin Hiwasa
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2015年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of eight-step diffractive optical element for hologram-ROM
[ 全著者名 ] Yuta Shinonaga, Keito Ogino, Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Manabu Yamamoto, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of nanostep for total internal reflection fluorescence microscopy to calibrate in water
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Asao Maeda, Shin-ichi Satake, Takahiro Tsuji, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 2月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Thermal roll-to-roll imprinted nanogratings on plastic film
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Tapio Mäkelä, and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2014年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional flow measurement of a sphere-packed pipe by a digital hologram and refractive index-matching method
[ 全著者名 ] S. Satake, Y. Aoyagi, T. Tsuda, N. Unno, K. Yuki
[ 掲載誌名 ] FUSION ENGINEERING AND DESIGN
[ 掲載年月 ] 2014年 10月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Measurements of flow distribution in a thin resin layer during ultraviolet nanoimprint lithography by means of digital holographic particle-tracking velocimetry
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Defect analysis and lifetime evaluation of a release-coated nanoimprint mold
[ 全著者名 ] Masanori Okada, Daisuke Yamashita, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Super resolution technique for sub-100 nm nanoimprint mold via mechanical deformation method
[ 全著者名 ] Toru Miebori, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Computer generated hologram-ROM fabrication and duplication by EBL and UV-NIL
[ 全著者名 ] Keito Ogino, Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Manabu Yamamoto, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2014年 6月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional hologram-read-only memory duplication by nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shuhei Yoshida, Hideaki Akamatsu, Manabu Yamamoto, Shin-ichi Satake,Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2013年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Super-resolution technique for nanoimprint mold using elastic UV-curable resin
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2013年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro-digital holographic-PTV
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Takahiro Kanai, Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of roll mold using electron-beam direct writing and metal lift-off process
[ 全著者名 ] Hiroki Maruyama, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
A technique for transferring metal nano patterns from a plastic replica mold by using a metal oxide release layer
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Hironobu Tamura, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2012年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of a seamless roll mold using inorganic electron beam resist with postexposure bake
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Kiyoshi Ishikawa
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2011年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Large-diameter roll mold fabrication method using a small-diameter quartz roll mold and UV nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno, Hiroki Maruyama
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2011年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of the metal nano pattern on plastic substrate using roll nanoimprint
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2011年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Transparent Roll Mold Fabrication Method and Transfer to Photo-curable Polymer
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno and Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2011年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of Anti-reflection Structure using Photo-curable Polymer
[ 全著者名 ] Jun Taniguchi, Yasuhiro Kamiya and Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2011年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Electrical properties of transferred metal nanopattern using metal oxide release layer
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shouichi Ide
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
[ 掲載年月 ] 2010年 12月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional nanoimprint lithography using photocurable resins
[ 全著者名 ] J. Taniguchi, N. Unno, Y. Kamiya, N. Sakai and T. Ohsaki
[ 掲載誌名 ] PLASTICS RUBBER AND COMPOSITES
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-Dimensional Measurements of Photo-curing Process With Photo-curable Resin for UV-Nanoimprint by Micro-digital-Holographic-PTV
[ 全著者名 ] Shin-ichi Satake, Gaku Sorimachi, Takahiro Kanai, Jun Taniguchi, Noriyuki Unno
[ 掲載誌名 ] JOURNAL OF ELECTRONIC PACKAGING
[ 掲載年月 ] 2010年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-dimensional Metal Nano Pattern Transfer on PET using Metal Oxide Layer
[ 全著者名 ] Noriyuki UNNO and Jun TANIGUCHI
[ 掲載誌名 ] Journal of Advanced Mechanical Design Systems and Manufacturing
[ 掲載年月 ] 2010年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Two-tone metal pattern transfer technique using a single mold surface
[ 全著者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2010年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Evaluation of filling behavior on UV nanoimprint lithography using release coating
[ 全著者名 ] Kazutomo Osari, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Takeshi Ohsaki, Nobuji Sakai
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2010年 5月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Three-Dimensional Metal Nanoimprint Technique for Electrode and Electric probe
[ 全著者名 ] N Unno, J Taniguchi, S Ide, S Ishikawa, Y Ootsuka, K Yamabe and T Kanbara
[ 掲載誌名 ] Journal of Physics: Conference Series
[ 掲載年月 ] 2009年 10月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
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