IC（集積回路）の中には、数十ナノメートルの部品がびっしりつまっています。この半導体製造において発達してきたシリコン微細加工技術を発展・応用することにより、化学反応を制御する微小機械を作り、電子回路を超えた新しい機能創造を目指した研究を行っています。

1. シリコン電極による超小型燃料電池

2. 微細回路用めっき技術の高度化