2025.08.08

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スパッタ法を用いて高品質なScAlN薄膜の作製に成功
～成長温度の系統的変化が構造特性と電気特性に及ぼす影響を解明～

東京理科大学 住友電気工業株式会社 東京大学 研究の要旨とポイント 汎用性の高いスパッタ法を用いて、結晶成長が困難とされていた窒化スカンジウムアルミニウム(ScAlN)薄膜を高品質で作製することに成功しました。 成長温度の上昇により表面平坦…

2025.03.13

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小林 篤准教授がISPlasma 2025においてMasaru Hori Prizeを受賞

先進工学部 マテリアル創成工学科 小林 篤准教授がISPlasma 2025においてMasaru Hori Prizeを受賞しました。 受賞者 先進工学部　マテリアル創成工学科　准教授　小林 篤 受賞題目 Masaru Hori Prize…

2024.06.05

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第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会において本学大学院生が発表奨励賞を受賞

第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会において本学大学院生が発表奨励賞を受賞しました。 受賞者 先進工学研究科　マテリアル創成工学専攻　修士課程1年　奥田 朋也 指導教員 先進工学部　マテリアル創成工学科　准教授　小林 篤 受賞題目 Al…