Top > Back > 学会発表 の検索結果 174 件中 151‐174 件目
| Filling Behavior Observation on UV Nanoimprint Lithography |
| [ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Kazutomo Osari, Kenji Machinaga, Jun Taniguchi, Takeshi Ohsaki, and Nobuji Sakai |
| [ 学会・会議名 ] 26th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-26) |
| [ 発表日付 ] 2009年7月2日 |
| THREE DIMENSIONAL NANOIMPRINT LITHOGRAPHY USING PHOTO-CURABLE RESIN |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Noriyuki Unno, Yasuhiro Kamiya,Nobuji Sakai, Takeshi Ohsaki |
| [ 学会・会議名 ] ANTEC2009 |
| [ 発表日付 ] 2009年6月24日 |
| UV ナノインプリント樹脂の硬化挙動に関する研究 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸、金井 高弘、反町 岳、佐竹 信一、谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2009年6月3日 |
| プラスチック基板上の三次元金属パターンの作製 |
| [ 共同発表者名 ] 石川 昇一朗、海野 徳幸、井手 翔一、谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2009年6月3日 |
| Nano Scale Three-Dimensional Metal Pattern Transfer By Nanoimprint Lithography Using Metal Oxide As A Release Layer |
| [ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Shouichi Ide and Shoichiro Ishikawa |
| [ 学会・会議名 ] THE 53rd INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
| [ 発表日付 ] 2009年5月26日 ～ 5月29日 |
| Seamless Roll to Roll UV-nanoimprint lithography |
| [ 共同発表者名 ] J. Taniguchi, M. Aratani, N. Unno, T. Shibazaki, N. Sakai, J. Mizuno, and S. Shoji |
| [ 学会・会議名 ] The 3rd International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2009年3月5日 ～ 3月6日 |
| PEB effect in a thick inorganic positive EB resist film |
| [ 共同発表者名 ] Miyako Shizuno, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi and Kiyoshi Ishikawa |
| [ 学会・会議名 ] The 3rd International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2009年3月5日 ～ 3月6日 |
| Three-dimensional metal nanoimprint technique for electrode and electric probe |
| [ 共同発表者名 ] N. Unno, J. Taniguchi, S. Ide, S. Ishikawa, Y. Ootuka, K. Yamabe and T. Kanbara |
| [ 学会・会議名 ] The 3rd International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2009年3月5日 ～ 3月6日 |
| Three-dimensional measurements of photo curing process with photo-curable resin for UV-nanoimprint by micro-digital-holographic-PTV |
| [ 共同発表者名 ] Shin-ichi Satake, Gaku Sorimachi, Takahiro Kanai, Jun Taniguchi, Noriyuki Unno |
| [ 学会・会議名 ] ThETA 2 |
| [ 発表日付 ] 2008年12月17日 ～ 12月20日 |
| UVロールナノインプリント技術と転写特性 |
| [ 共同発表者名 ] 荒谷 方生，海野 徳幸, 柴崎 智隆，坂井 信支，水野 潤，庄子 習一，谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 成形加工シンポジア’０８ |
| [ 発表日付 ] 2008年11月1日 |
| 金属堆積膜を用いた高アスペクト構造のナノインプリントに関する研究 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸, 谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 成形加工シンポジア’０８ |
| [ 発表日付 ] 2008年11月1日 |
| Nanoprint lithography of metal nano-patterns on plastic films |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hirosi Sakaguchi |
| [ 学会・会議名 ] 34th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2008 |
| [ 発表日付 ] 2008年9月18日 |
| Filling behavior of UV nanoimprint resin using midair structure mold |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Ken-ichi Machinaga, Noriyuki Unnno, Nobuji Sakai |
| [ 学会・会議名 ] 34th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2008 |
| [ 発表日付 ] 2008年9月16日 |
| Direct printing of metal nano-patterns on plastic films using hard stamp nanoprint lithography |
| [ 共同発表者名 ] Jun Taniguchi, Shouichi Ide, Noriyuki Unno, Hirosi Sakaguchi |
| [ 学会・会議名 ] 1st International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2008) |
| [ 発表日付 ] 2008年7月15日 |
| ナノプリント技術による金属微細パターン転写 |
| [ 共同発表者名 ] 井手 翔一, 海野 徳幸, 谷口 淳, 坂口 浩司 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月4日 |
| 無機レジストを用いたナノインプリントモールドの作製とPEB効果による近接効果の低減 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸, 静野 観椰子, 谷口 淳,石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2008年6月4日 |
| Fabrication of the nanoimprint mold using inorganic electron beam resist with post exposure bake |
| [ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, Miyako Shizuno, Kiyoshi Ishikawa |
| [ 学会・会議名 ] THE 52th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
| [ 発表日付 ] 2008年5月27日 ～ 5月30日 |
| 無機レジストを用いた電子ビームリソグラフィにおけるPEBの効果と近接効果の評価 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸，静野 観椰子，谷口 淳，石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] 2008年度精密工学会 春季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2008年3月17日 |
| Fabrication of three-dimensional nanoimprint mold using electron beam lithography in consideration of proximity effect |
| [ 共同発表者名 ] Noriyuki Unno, Jun Taniguchi |
| [ 学会・会議名 ] Second International Symposium on Atomic Technology |
| [ 発表日付 ] 2007年10月1日 |
| サブミクロン高アスペクト構造の作製 |
| [ 共同発表者名 ] 静野 観椰子，谷口 淳，海野 徳幸，石川 清 |
| [ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会 秋季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2007年9月13日 |
| 三次元ナノインプリント技術に関する研究 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸，谷口 淳 |
| [ 学会・会議名 ] 2007年度精密工学会 秋季大会学術講演会 |
| [ 発表日付 ] 2007年9月13日 |
| 低加速電子ビーム露光法による100nmを切るパターニング |
| [ 共同発表者名 ] 谷口 淳，海野 徳幸 |
| [ 学会・会議名 ] 2007年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2007） |
| [ 発表日付 ] 2007年9月7日 |
| 三次元ナノインプリントモールド作製技術とその応用 |
| [ 共同発表者名 ] 海野 徳幸，谷口 淳，石井 良明 |
| [ 学会・会議名 ] プラスチック成形加工学会 |
| [ 発表日付 ] 2007年6月7日 |
| Sub-100nm Three-Dimensional Nano Imprint Lithography |
| [ 共同発表者名 ] J. Taniguchi, N. Unno, Y. Ishii |
| [ 学会・会議名 ] THE 51th INTERNATIONAL CONFERENCE on ELECTRON, ION, and PHOTON BEAM TECHNOLOGY & NANOFABRICATION |
| [ 発表日付 ] 2007年5月29日 ～ 6月1日 |
