Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 41 件中 31‐41 件目
Accelerator Behavior with Reverse Pulses in Copper Elctroplating |
[ 全著者名 ] M. Nagao, M. Hayase |
[ 掲載誌名 ] 212th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society |
[ 掲載年月 ] 2007年 10月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Effect of agitation on accelerator removal by reverse pulses in copper electroplating |
[ 全著者名 ] M. Hayase, M. Nagao |
[ 掲載誌名 ] 58th Meeting of the Intl. Soc. of Electrochem |
[ 掲載年月 ] 2007年 9月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
A Novel Device for Fixing Small Objects Using Through-Pore Porous Silicon |
[ 全著者名 ] A. Kato, A. Uchiumi, M. Hayase |
[ 掲載誌名 ] Transducers'07 |
[ 掲載年月 ] 2007年 6月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Deep Via Filling by Electroplating for Through Chip Electrodes of Stacked ICs |
[ 全著者名 ] M. Hayase, M. Nagao, Y. Toke |
[ 掲載誌名 ] 5th Intl. Conf. on Numerical Analysis Engineering NAE2007 |
[ 掲載年月 ] 2007年 5月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Si Based Monolithic Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching |
[ 全著者名 ] M. Hayase, S. Araki, J. G. A. Brito-Neto |
[ 掲載誌名 ] 6th International Workshop on PowerMEMS 2006 |
[ 掲載年月 ] 2006年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Catalyst Layer Formation on to Meso Pore P Silicon for Miniature Fuel Cells |
[ 全著者名 ] M Hayase,D Saito |
[ 掲載誌名 ] 5th International Workshop Power MEMS 2005 Technical digest |
[ 掲載年月 ] 2005年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Thin Fuel Cell with Monolithically Fabricated Si Electrodes |
[ 全著者名 ] M. Hayase, D. Saito and T. Hatsuzawa |
[ 掲載誌名 ] 4th International Workshop PowerMEMS2004, Technical Digest |
[ 掲載年月 ] 2004年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Tapping force measurement by using micromachined cantilevers and laser systems |
[ 全著者名 ] T. Hatsuzawa, M. Hayase and T. Oguchi |
[ 掲載誌名 ] Optomechatoronic Systems Ⅲ in Stuttgart, Proc. Of SPIE |
[ 掲載年月 ] 2003年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Electrostatically driven micro-optical switching device based on interference of light and evenescent coupling |
[ 全著者名 ] T. Oguchi, T. Hatsuzawa and M. Hayase |
[ 掲載誌名 ] Optomechatoronic Systems Ⅲ in Stuttgart, Proc. Of SPIE |
[ 掲載年月 ] 2003年 11月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Copper Superfilling by PEG-Cl Suppression Breakdown |
[ 全著者名 ] M. Hayase, M. Taketani, K. Aizawa, T. Hatsuzawa and K. Hayabusa |
[ 掲載誌名 ] Copper Interconnects, New Contact Metallurgies/Structures and Low-k Interlevel Dielectrics, The Electrochemical Society (2002) |
[ 掲載年月 ] 2002年 10月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |
Suppression by PEG and Halide Ion in Copper Electroplating |
[ 全著者名 ] M. Hayase, M. Taketani, T. Hatsuzawa and K. Hayabusa |
[ 掲載誌名 ] Copper Interconnects, New Contact Metallurgies/Structures and Low-k Interlevel Dielectrics, The Electrochemical Society (2002) |
[ 掲載年月 ] 2002年 10月 |
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語) |