東京理科大学　研究者情報データベース　

[ 出願番号 ] 18/703525

[ 出願年月日 ] 2022年10月25日

[ 発明等の名称 ] 液体循環システム、基板処理装置及び液体循環方法

[ 状態 ] 出願公開

[ 出願番号 ] KR10-2024-7018723

[ 出願年月日 ] 2022年10月25日

[ 発明等の名称 ] 液体循環システム、基板処理装置及び液体循環方法

[ 状態 ] 出願公開

[ 出願番号 ] 2021-180011

[ 出願年月日 ] 2021年11月4日

[ 発明等の名称 ] 液体循環システム、基板処理装置及び液体循環方法

[ 状態 ] 出願公開

[ 出願番号 ] CN201980049430.3

[ 出願年月日 ] 2019年7月26日

[ 発明等の名称 ] 成形物の製造方法、インプリント－電子描画の一括成形用レジスト、レプリカモールドの製造方法、デバイスの製造方法、及びインプリント材料

[ 状態 ] 登録

[ 出願番号 ] 2020-532524

[ 出願年月日 ] 2019年7月26日

[ 発明等の名称 ] 成形物の製造方法、レプリカモールドの製造方法及びデバイスの製造方法

[ 状態 ] 登録

[ 出願番号 ] 19841230.6

[ 出願年月日 ] 2019年7月26日

[ 状態 ] 出願公開

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