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[ 出願番号 ] 2021-170549
[ 出願年月日 ] 2021年10月18日
[ 発明等の名称 ] イオンビーム生成装置、イオンビーム生成方法、分析方法、加工物の製造方法及びイオン溶液
[ 状態 ] 出願公開
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