東京理科大学　研究者情報データベース　

[ 出願番号 ] TW112121303

[ 出願年月日 ] 2023年6月7日

[ 発明等の名称 ] 製品保持装置、製品保持方法、および、半導体装置製造装置

[ 状態 ] 出願公開

[ 出願番号 ] PCT/JP2022/023482

[ 出願年月日 ] 2022年6月10日

[ 発明等の名称 ] 製品保持装置、製品保持方法、および、半導体装置製造装置

[ 状態 ] 出願公開

[ 出願番号 ] 2021-153488

[ 出願年月日 ] 2021年9月21日

[ 発明等の名称 ] チップ保持具、チップ保持装置、および半導体装置の製造装置

[ 状態 ] 出願公開

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