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特許
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[ 出願番号 ] 2021-153488
[ 出願年月日 ] 2021年9月21日
[ 発明等の名称 ] チップ保持具、チップ保持装置、および半導体装置の製造装置
[ 状態 ] 出願公開
[ 出願番号 ] 2016-093303
[ 出願年月日 ] 2016年5月6日
[ 発明等の名称 ] 摺動組成物、並びに、摺動部材及びその製造方法
[ 状態 ] 登録
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