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Blue light nanoimprint lithography for patterning a positive-tone EB resist
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Haruki Matsumoto, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 45th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2019年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of Composite-electrode for SOFC via Ultra Violet Nanoimprint Lithography
[ 全著者名 ] Ryota Akama, Takao Okabe, Kazuyoshi Sato, Naoki Shikazono, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 45th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2019年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of microchannel via UV-NIL and EBL Using UV-curable positive-tone EB resist
[ 全著者名 ] Haruki Matsumoto, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 45th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2019年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication technique of a hydrophobicity 3D hybrid structure using UV-curable EB resist
[ 全著者名 ] Kohei Goto, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
[ 掲載年月 ] 2018年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Hybrid fabrication process via UV nanoimprint and EB lithography using UV-curable positive-tone EB resist
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Hiroo Maebashi, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 17th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology
[ 掲載年月 ] 2018年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
UV-NIL-compatible positive-tone EB resist for 3D hybrid nanostructures
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Hiroo Maebashi, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 44th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2018年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Stencil mask using UV-curable positive-tone EB resist
[ 全著者名 ] Hiroo Maebashi, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 44th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2018年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of overlaid nanopattern arrays for plasmon memory
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Hisahiro Wadayama, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of SPIE
[ 掲載年月 ] 2018年 1月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Micro Patterned Powder Metallurgy Technique for SOFC Electrolyte Using UV Curable Resin
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Yongtae Kim, Zhenjun Jiao, Naoki Shikazono, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
[ 掲載年月 ] 2017年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Fabrication of multilayer structure of silver nanorod arrays for plasmon memory
[ 全著者名 ] Hisahiro Wadayama, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Proc. of 43rd Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2017年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
The depth control of circular grooves fabricated by rotational electron beam machining
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Kai Ojima, Yuta Shinonaga, Noriyuki Unno, Masaaki Miyatake, Jun Taniguchi, Shigeka Yoshimoto, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] Proc. of The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
[ 掲載年月 ] 2015年 10月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Development of Electron Beam Nano-Mastering Equipment using a Vacuum-Compatible Hydrodynamic Spindle
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Keita Utsumi, Kei Somaya, Masaaki Miyatake, Shigeka Yoshimoto, Yuta Shinonaga, Keito Ogino, Jun Taniguchi, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] Proc. of the 40th International Conference on Micro and Nano Engineering
[ 掲載年月 ] 2014年 9月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
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