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UV-NIL 可能な電子ビームレジスト材料による貫通穴の作製
[ 全著者名 ] 千﨑沙彩,谷口淳,岡部貴雄,森永翔太
[ 掲載誌名 ] 2020年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2020年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
UV-NIL後に電子ビーム露光可能なレジスト材料の電子ビーム描画特性
[ 全著者名 ] 千崎 沙彩,松本 治輝,岡部 貴雄,谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2020年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
UV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた三次元ナノ撥水構造の作製
[ 全著者名 ] 後藤晃平、岡部貴雄、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2019年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
UV硬化可能ポジ型EBレジストを用いたステンシルマスクの作製
[ 全著者名 ] 前橋 寛大,岡部 貴雄, 谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2018年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2018年 9月
[ 著作区分 ] その他著作
銀インクとアライメントマークを用いた銀ナノロッドパターンの積層技術の開発
[ 全著者名 ] 和田山 久広、岡部 貴雄、谷口 淳
[ 掲載誌名 ] 2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
[ 掲載年月 ] 2018年 3月
[ 著作区分 ] その他著作
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