Top > Back > 学術論文・プロシーディングス・著作 の検索結果 2 件中 1‐2 件目
| プラズマ及び触媒CVDによるSiC薄膜の低温成長メカニズムとその特性 |
| [ 全著者名 ] 金子聰、泰井まどか、菅俊介、長田英樹、宮川宣明 |
| [ 掲載誌名 ] 表面 |
| [ 掲載年月 ] 2007年 7月 |
| [ 著作区分 ] その他著作 |
| Study of Silicon Carbide CVD Process by Thermogravimetry |
| [ 全著者名 ] T. Kaneko, H. Sone, N. Miyakawa, and K. Kishi |
| [ 掲載誌名 ] Proceedings of the 7th Topical Meeting on Crystal Growth Mechanism |
| [ 掲載年月 ] 1994年 |
| [ 著作区分 ] その他著作 |
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