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Microchannel fabrication via ultraviolet-nanoimprint lithography and electron-beam lithography using an ultraviolet-curable positive-tone electron-beam resist
[ 全著者名 ] Haruki Matsumoto, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2020年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of a micropatterned composite electrode for solid oxide fuel cells via ultraviolet nanoimprint lithography
[ 全著者名 ] Ryota Akama, Takao Okabe, Kazuyoshi Sato, Yoshiki Inaba, Naoki Shikazono, Anna Sciazko, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2020年 2月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Hydrostatic ionic liquid-lubricated fluid film bearing for a rotational electron-beam lithography system
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Shinya Sasaki, Yukishige Kondo, Masaaki Miyatake, Shigeka Yoshimoto
[ 掲載誌名 ] PRECIS ENG
[ 掲載年月 ] 2020年 1月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Photocurable chemically-amplified positive-tone ultraviolet resist for multi lithography process
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] APPL PHYS EXPRESS
[ 掲載年月 ] 2019年 10月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of a hydrophobic three-dimensional hybrid structure using an UV-curable electron beam resist
[ 全著者名 ] Kohei Goto, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JPN J APPL PHYS
[ 掲載年月 ] 2019年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Ultra-violet nanoimprint lithography-compatible positive-tone electron beam resist for 3D hybrid nanostructures
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Hiroo Maebashi, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRON ENG
[ 掲載年月 ] 2019年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Stencil mask using ultra-violet-curable positive-tone electron beam resist
[ 全著者名 ] Hiroo Maebashi, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRON ENG
[ 掲載年月 ] 2019年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Outgassing performance of an ionic liquid-based magnetic fluid
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Yukishige Kondo, Shigeka Yoshimoto, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] VACUUM
[ 掲載年月 ] 2019年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication process for micropatterned ceramics via UV-nanoimprint lithography using UV-curable binder
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Yongtae Kim, Zhenjun Jiao, Naoki Shikazono, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
[ 掲載年月 ] 2018年 8月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Fabrication of multilayered structure of silver nanorod arrays for plasmon memory
[ 全著者名 ] HisahiroWadayama, Takao Okabe, Jun Taniguchi
[ 掲載誌名 ] Microelectronic Engineering
[ 掲載年月 ] 2018年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Development and performance of a magnetic ionic liquid for use in vacuum-compatible non-contact seals
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Daichi Moritaka, Masaaki Miyatake, Yukishige Kondo, Shinya Sasaki, Shigeka Yoshimoto
[ 掲載誌名 ] PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2016年 11月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Electron beam mastering system using a vacuum-compatible hydrodynamic spindle
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Keita Utsumi, Keito Ogino, Yuta Shinonaga, Masaaki Miyatake, Shigeka Yoshimoto, Jun Taniguchi, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] MICROELECTRONIC ENGINEERING
[ 掲載年月 ] 2015年 7月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
Development of a vacuum-compatible hydrodynamic spindle using an ionic liquid as a lubricant
[ 全著者名 ] Takao Okabe, Keita Utsumi, Kei Somaya, Masaaki Miyatake, Shigeka Yoshimoto, Jun Taniguchi, Shinya Sasaki
[ 掲載誌名 ] PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
[ 掲載年月 ] 2015年 4月
[ 著作区分 ] レフェリー付学術論文(外国語)
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