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アニール処理を施したScAlN/AlGaN/GaNヘテロ構造の特性

[ 共同発表者名 ] 奥田朋也, 太田隼輔, 久保田航瑛, 前田拓也, 河原孝彦, 牧山剛三, 中田健, 小林篤

[ 学会・会議名 ] 第72回春季応用物理学会学術講演会

[ 発表日付 ] 2025年3月17日～ 3月17日

AlGaN/GaN上へのScAlN薄膜の低温エピタキシャル成長

[ 共同発表者名 ] 太田隼輔, 奥田朋也, 久保田航瑛, 前田拓也, 河原孝彦, 牧山剛三, 中田健, 小林篤

[ 学会・会議名 ] 第72回春季応用物理学会学術講演会

[ 発表日付 ] 2025年3月17日～ 3月17日

X線分光測定によるGaN上スパッタ成長ScAlN薄膜の表面酸化状態の評価

[ 共同発表者名 ] 佐々木洸, 棟方晟啓, 小林正起, 山本涼太, 佐藤早和紀, 小林篤, 中野義昭, 前田拓也

[ 学会・会議名 ] 第72回春季応用物理学会学術講演会

[ 発表日付 ] 2025年3月17日～ 3月17日

スパッタ成長ScAlN/AlGaN/AlN/GaNヘテロ構造における二次元電子ガスの輸送特性

[ 共同発表者名 ] 久保田航瑛, 若本裕介, 河原孝彦, 吉田成輝, 牧山剛三, 中田健, 小林篤, 前田拓也

[ 学会・会議名 ] 第72回春季応用物理学会学術講演会

[ 発表日付 ] 2025年3月17日～ 3月17日

Atomic-resolution STEM observation of ScxAl1-xN/GaN heterojunction interface

[ 共同発表者名 ] Shinsuke Hashimoto, Takehito Seki, Atsushi Kobayashi, Takuya Maeda, Yuichi Ikuhara, Naoya Shibata

[ 学会・会議名 ] 15th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '24

[ 発表日付 ] 2024年11月19日～ 11月19日

サファイア基板上エピタキシャルNbN(111)薄膜を用いた超伝導単一光子検出器

[ 共同発表者名 ] 森永健太郎, 沓間弘樹, 分林道隆, 小林篤, 山下太郎

[ 学会・会議名 ] 超伝導エレクトロニクス研究会

[ 発表日付 ] 2024年11月8日～ 11月8日

Characterization of ScAlN/GaN Toward Electronic Device Application

[ 共同発表者名 ] T. Maeda, Y. Wakamoto, A. Kobayashi

[ 学会・会議名 ] BCICTS 2024

[ 発表日付 ] 2024年10月29日～ 10月29日

スパッタ成長ScAlN/AlGaN/AlN/GaNヘテロ構造における2DEG輸送特性の温度依存性

[ 共同発表者名 ] K. Kubota, Y. Wakamoto, T. Kawahara, S. Yoshida, K. Makiyama, K. Nakata, Y. Nakano, A. Kobayashi, T. Maeda

[ 学会・会議名 ] 第43回電子材料シンポジウム (EMS-43)

[ 発表日付 ] 2024年10月3日～ 10月3日

Sputter Epitaxy of Transition Metal Nitrides on Nitride Semiconductors

[ 共同発表者名 ] Atsushi Kobayashi, Takuya Maeda, Toru Akiyama, Takahiro Kawamura, Yoshio Honda

[ 学会・会議名 ] E-MRS 2024 Fall Meeting

[ 発表日付 ] 2024年9月16日～ 9月16日

エピタキシャルScAlN/AlGaN/GaNヘテロ構造の作製

[ 共同発表者名 ] 奥田朋也, 太田隼輔, 河原孝彦, 牧山剛三, 中田健, 前田拓也, 小林篤

[ 学会・会議名 ] 第85回応用物理学会秋季学術講演会

[ 発表日付 ] 2024年9月16日～ 9月16日

Electronic Structures of the Interface in γ-Nb4N3/AlN Superlattice Structures

[ 共同発表者名 ] Tomoki Yamaguchi Takahiro Kawamura Toru Akiyama Atsushi Kobayashi

[ 学会・会議名 ] 2024 International Conference on Solid State Devices and Materials

[ 発表日付 ] 2024年9月3日～ 9月3日

ScAlN/GaNヘテロ接合界面の原子分解能STEM観察

[ 共同発表者名 ] 橋本晋亮, 関岳人, 前田拓也, 小林篤, 幾原雄一, 柴田直哉

[ 学会・会議名 ] 日本顕微鏡学会第80回学術講演会

[ 発表日付 ] 2024年6月5日～ 6月5日

AlGaN/GaN HEMT構造上へのScAlN薄膜エピタキシャル成長

[ 共同発表者名 ] 奥田朋也, 太田隼輔, 河原孝彦, 牧山剛三, 中田健, 前田拓也, 小林篤

[ 学会・会議名 ] 第16回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会

[ 発表日付 ] 2024年5月31日～ 5月31日

Epitaxial Growth of Transition Metal Nitrides on Nitride Semiconductors

[ 共同発表者名 ] Atsushi Kobayashi, Takuya Maeda, Yoshio Honda

[ 学会・会議名 ] LEDIA 2024

[ 発表日付 ] 2024年4月25日

スパッタ法により作製した縮退GaN再成長コンタクトを有するAlN/AlGaN HEMT

[ 共同発表者名 ] 前田亮太, 上野耕平, 小林篤, 藤岡洋

[ 学会・会議名 ] 第71回応用物理学会春季学術講演会

[ 発表日付 ] 2024年3月23日

窒化物半導体・超伝導体・強誘電体のエピタキシャル融合

[ 共同発表者名 ] 小林篤

[ 学会・会議名 ] 第4回半導体ナノフォトニクス研究会

[ 発表日付 ] 2023年11月22日～ 11月22日

Structural Properties of Epitaxial ScAlN Films Grown by Sputtering: Experimental and Machine Learning Approaches

[ 共同発表者名 ] Atsushi Kobayashi, Yoshio Honda, Takuya Maeda, Kohei Ueno, Hiroshi Fujioka