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X-ray Spectroscopic Characterization of Surface Oxidation Properties of NbAlN Thin Films Epitaxially Grown on GaN
[ 共同発表者名 ] H. Sasaki, T. Takeda, A. Munakata, M. Kobayashi, A. Fujimori, T. Okuda, S. Kurogi, A. Kobayashi, M. Sugiyama, T. Maeda
[ 学会・会議名 ] The 68th Electronic Materials Conference (EMC 2026)
[ 発表日付 ] 2026年6月26日 ~ 6月26日
Temperature dependence of leakage current in ScAlN thin films grown on GaN/sapphire substrates by a sputtering method
[ 共同発表者名 ] K. Joya, S. Sawaki, A. Kobayashi, T. Maeda
[ 学会・会議名 ] The 68th Electronic Materials Conference (EMC 2026)
[ 発表日付 ] 2026年6月25日 ~ 6月25日
X-ray Spectroscopic Characterization of Surface Oxidation of ScAlN Thin Films Grown on GaN
[ 共同発表者名 ] Hikaru Sasaki, Akihira Munakata, Takahito Takeda, Masaki Kobayashi, Atsushi Fujimori, Ryota Yamamoto, Sawaki Sato, Atsushi Kobayashi, Masakazu Sugiyama, Ryosho Nakane, Takuya Maeda
[ 学会・会議名 ] Compound Semiconductor Week 2026 (CSW 2026)
[ 発表日付 ] 2026年5月28日 ~ 5月28日
Electrical Characterization of ScAlN Thin Films Epitaxially Grown on n-GaN/sapphire Substrates by Sputtering
[ 共同発表者名 ] Kosuke Joya, Sawaki Sato, Atsushi Kobayashi, Takuya Maeda
[ 学会・会議名 ] Compound Semiconductor Week 2026 (CSW 2026)
[ 発表日付 ] 2026年5月28日 ~ 5月28日
OBF STEM法によるSc0.25Al0.75N/GaNヘテロ接合界面の原子分解能観察
[ 共同発表者名 ] 橋本 晋亮, 関 岳人, 遠山 慧子, 小林 篤, 前田 拓也, 幾原 雄一, 柴田 直哉
[ 学会・会議名 ] 日本顕微鏡学会 第82回学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月26日 ~ 5月26日
GaN-HEMT 構造上にエピタキシャル成長させたScAlGaN薄膜の特性
[ 共同発表者名 ] 倉上 友希, 奥田 朋也, 河原 孝彦, 牧山 剛三, 中田 健, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月22日 ~ 5月22日
GaN上NbNの結晶構造制御
[ 共同発表者名 ] 児玉 竹琉, 加藤 雄貴, 原田 尚之, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月22日 ~ 5月22日
窒化物半導体の極性反転と新機能窒化物材料のエピタキシャル成長
[ 共同発表者名 ] 池田 和久, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月22日 ~ 5月22日
X線分光測定によるスパッタ法及びMBE成長ScAlN/GaNの表面酸化状態評価
[ 共同発表者名 ] 佐々木 洸, 棟方 晟啓, 武田 崇仁, 小林 正起, 藤森 淳, 山本 涼太, 佐藤 早和紀, 小林 篤, 杉山 正和, 中根 了昌, 前田 拓也
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月21日 ~ 5月21日
AlN挿入層がScAlN/GaNヘテロ構造の強誘電性に及ぼす影響
[ 共同発表者名 ] 佐藤 早和紀, 池田 和久, 前田 拓也, 舟窪 浩, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月21日 ~ 5月21日
NbAlN混晶の構造安定性および電子構造の組成依存性
[ 共同発表者名 ] 河村 貴宏, 秋山 亨, 菊池 立貢, 黒木 颯太, 小林 篤, 草場 彰, 寒川 義裕
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月21日 ~ 5月21日
スパッタ法によるSiC基板上へのScAlNおよびScAlGaN薄膜のエピタキシャル成長
[ 共同発表者名 ] 福田 誠弥, 佐藤 早和紀, 今関 裕貴, 河原 孝彦, 牧山 剛三, 中田 健, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月21日 ~ 5月21日
スパッタ法によるNbAlN/GaNヘテロ構造の作製と評価
[ 共同発表者名 ] 黒木 颯太, 菊池 立貢, 河村 貴宏, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月21日 ~ 5月21日
スパッタ法を用いた原子レベルで平坦なAlN上へのNbNの結晶構造選択成長
[ 共同発表者名 ] 加藤 雄貴, 増沢 広陵, 原田 尚之, 三宅 秀人, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第18回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
[ 発表日付 ] 2026年5月21日 ~ 5月21日
GaN/sapphire基板上スパッタ成長ScAlN薄膜のリーク電流の温度依存性解析
[ 共同発表者名 ] 城谷 光亮, 佐藤 早和紀, 小林 篤, 前田 拓也
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月18日 ~ 3月18日
NbAlN混晶の構造安定性に対する基板拘束の影響
[ 共同発表者名 ] 河村 貴宏, 秋山 亨, 菊池 立貢, 黒木 颯太, 小林 篤, 草場 彰, 寒川 義裕
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月18日 ~ 3月18日
スパッタ法を用いたAlN上へのAl添加β-Nb2Nの作製と評価
[ 共同発表者名 ] 加藤 雄貴, 原田 尚之, 三宅 秀人, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月18日 ~ 3月18日
AlGaN/AlN/GaNおよびScAlN/AlGaN/AlN/GaNヘテロ接合の2DEGにおける Shubnikov–de Haas振動の解析から得られる量子緩和時間と電子輸送特性に関する考察
[ 共同発表者名 ] 若本 裕介, 久保田 航瑛, 奥田 朋也, 河原 孝彦, 吉田 成輝, 牧山 剛三, 中田 健, 小林 篤, 前田 拓也
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月17日 ~ 3月17日
スパッタ法およびMBE法で成長させたScAlN の格子定数の機械学習解析
[ 共同発表者名 ] 小林 篤, 本田 善央, 前田 拓也, Thai-Son Nguyen, Huili Grace Xing, Debdeep Jena
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月16日 ~ 3月16日
NbAlN/AlGaN/AlN/GaNヘテロ構造の作製と電気特性評価
[ 共同発表者名 ] 奥田 朋也, 黒木 颯太, 若本 裕介, 前田 拓也, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月15日 ~ 3月15日
スパッタ法によるBAlN薄膜のエピタキシャル成長
[ 共同発表者名 ] 池田 和久, 渋谷 悠人, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月15日 ~ 3月15日
スパッタ法によるGaN上NbAlN薄膜のエピタキシャル成長
[ 共同発表者名 ] 黒木 颯太, 菊池 立貢, 河村 貴宏, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月15日 ~ 3月15日
GaN上スパッタエピタキシャル成長NbAlN薄膜のX線分光測定による表面酸化状態評価
[ 共同発表者名 ] 佐々木 洸, 武田 崇仁, 棟方 晟啓, 小林 正起, 藤森 淳, 奥田 朋也, 黒木 颯太, 小林 篤, 前田 拓也
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月15日 ~ 3月15日
ScAlN/AlN/GaNヘテロ構造の作製と強誘電性の評価
[ 共同発表者名 ] 佐藤 早和紀, 池田 和久, 前田 拓也, 舟窪 浩, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第73回応用物理学会春季学術講演会
[ 発表日付 ] 2026年3月15日 ~ 3月15日
Sputter Epitaxy of Transition Metal Nitrides: Integration of Semiconductors, Superconductors, and Ferroelectrics
[ 共同発表者名 ] Atsushi Kobayashi
[ 学会・会議名 ] ISPlasma2026 / IC-PLANTS2026
[ 発表日付 ] 2026年3月5日 ~ 3月5日
Sputter epitaxy of transition metal nitrides for ferroelectric and superconducting applications
[ 共同発表者名 ] Kazuhisa Ikeda, Takuya Maeda, Atsushi Kobayashi
[ 学会・会議名 ] SPIE Photonics West 2026
[ 発表日付 ] 2026年1月19日 ~ 1月19日
Sputter Epitaxy of Superconducting NbN and Ferroelectric ScAlN on Nitride Semiconductors
[ 共同発表者名 ] Atsushi Kobayashi
[ 学会・会議名 ] International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2025 (ICMaSS2025)
[ 発表日付 ] 2025年12月13日 ~ 12月13日
First-Principles Analysis of the Electronic States at Nb2N/AlN Interfaces
[ 共同発表者名 ] Takahiro Kawamura, Toru Akiyama, Atsushi Kobayashi
[ 学会・会議名 ] International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2025 (ICMaSS2025)
[ 発表日付 ] 2025年12月13日 ~ 12月13日
ScAlNの結晶成長とデバイス応用
[ 共同発表者名 ] 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 応用電子物性分科会研究例会
[ 発表日付 ] 2025年11月19日 ~ 11月19日
GaN-HEMT構造上にエピタキシャル成長させたScAlN薄膜の特性
[ 共同発表者名 ] 倉上 友希, 奥田 朋也, 河原 孝彦, 牧山 剛三, 中田 健, 前田 拓也, 池田 和久, 小林 篤
[ 学会・会議名 ] 第54回結晶成長国内会議 (JCCG-54)
[ 発表日付 ] 2025年11月12日 ~ 11月12日
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