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オカベ タカオ
岡部 貴雄  助教
東京理科大学 先進工学部 電子システム工学科
プロフィール | 研究シーズ | 担当授業(16件)
レフェリー付学術論文(13件) | レフェリー付プロシーディングス(12件) | その他著作(5件) | 学会発表(25件) | 特許(2件)
グループ ナノテク・材料
研究・技術キーワード 機械設計,機械要素,真空,微細加工,ナノテクノロジー
研究・技術テーマ
  • 精密工学
  • トライボロジー
研究・技術内容 微細加工には真空技術が必要不可欠である. 主に微細加工を目的とする真空用の機械要素と,真空における潤滑を研究している. また,リソグラフィ技術の研究開発にも取り組んでいる.
産業への利用
可能な産学連携形態
具体的な産学連携形態内容
その他所属研究機関
所属研究室
所有研究装置
SDGs
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