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タニグチ ジユン
谷口 淳 教授
東京理科大学 先進工学部 電子システム工学科
谷口 淳 教授
東京理科大学 先進工学部 電子システム工学科
| グループ |
ナノテク・材料 |
| 研究・技術キーワード | ナノインプリント技術、三次元ナノ構造作製、電子ビーム露光技術、マイクロ、ナノデバイス、ロールナノインプリト |
| 研究・技術テーマ |
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| 研究・技術内容 | 高度情報化社会を支える基盤技術であるナノテクノロジーの研究を行っています。特に次世代技術として期待されているナノオーダーでの三次元（３D）形状創製技術を重点的に行っております。それを実現する方法として、３Dナノモールドを作製する技術と、そのモールドを押して転写するナノインプリント技術とその応用の研究をおこなっております。また、モールドをロール状にしたロールナノインプリントに関する研究も行っております。レプリカモールドを用いたロールナノインプリントの転写、ロールナノインプリントでの高速転写、モールドの離型性の寿命評価等行っております。 |
| 産業への利用 | 今までは困難であった、三次元ナノ構造物を比較的簡易に作製することができる技術がありますので、ニーズと合えば事業化、製品化も可能です。また、量産を見据えてロールモールドを用いたナノ転写も可能となっております。転写性、モールドの離型性などの評価も可能です。 |
| 可能な産学連携形態 | 共同研究、受託研究員受入、受託研究、技術相談および指導 |
| 具体的な産学連携形態内容 | 初期の技術相談から、具体的な製品化に向けてまで、幅広く対応することができます。 |
| その他所属研究機関 | |
| 所属研究室 | |
| 所有研究装置 | UVナノインプリント装置、ロールナノインプリント装置、FE-SEM、ICPドライエッチング装置等 |
| SDGs |
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