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Characterization of metal resist for EUV lithography using Infrared free electron laser
[ 全著者名 ] Minoru Toriumi, Takayasu Kawasaki, Takayuki Imai, Koichi Tsukiyama, Julius Joseph Santillan, Toshiro Itani
[ 掲載誌名 ] SPIE Conference Proceeding
[ 掲載年月 ] 2018年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Resist-polymer ablation by mid-Infrared-free-electron Laser
[ 全著者名 ] Minoru Toriumi, Takayasu Kawasaki, Mitsunori Araki, Takayuki Imai, Koichi Tsukiyama
[ 掲載誌名 ] SPIE Conference Proceeding
[ 掲載年月 ] 2018年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Dissociation of Peptide Fibrils by using Mid-Infrared Free Electron Laser
[ 全著者名 ] Takayasu Kawasaki, Phuong H Nguyen, Koichi Tsukiyama, and Kazuhiro Nakamura
[ 掲載誌名 ] Peptide Science 2017
[ 掲載年月 ] 2018年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
Characterization of metal resist for EUV lithography
[ 全著者名 ] M. Toriumi, Y. Sato, R. Kumai, Y. Yamashita, K. Tsukiyama, T. Itani
[ 掲載誌名 ] Proc. of SPIE
[ 掲載年月 ] 2016年 3月
[ 著作区分 ] レフェリー付プロシーディングス(外国語)
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