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オカムラ ソウイチロウ
岡村 総一郎  教授
東京理科大学 先進工学部 物理工学科
プロフィール | 研究シーズ | 研究室紹介 | 担当授業（31件）
レフェリー付学術論文（126件） | レフェリー付プロシーディングス（7件） | その他著作（3件） | 著書（14件） | 学会発表（312件） | 特許（19件）
グループ ナノテク・材料、環境
研究・技術キーワード 強誘電体、圧電体、微細加工、薄膜、電気物性、エナジーハーベスティング
研究・技術テーマ
  • 強誘電体・圧電体薄膜／厚膜の作製
  • 複合酸化物の微細加工
  • 強誘電体薄膜キャパシタの電気物性に関する研究
  • 液体充填平衡気化MOCVD法
  • 圧電体を用いたエナジーハーベスティング
研究・技術内容 １．化学溶液堆積法や電気泳動法により、強誘電体・圧電体の薄膜／厚膜作製が可能、 ２．デュアルビームFIBにより、微細加工や薄膜断面観察が可能、 ３．強誘電体／誘電体薄膜の電気特性を精確に測定し、導電機構などの解析が可能、 ４．独自開発の小型MOCVD装置により、少量の原料でも金属／酸化物の薄膜作製が可能、 ５．圧電体セラミックスや高分子強誘電体薄膜を使ったエナジーハーベスティングシステムの開発が可能
産業への利用 １．高信頼性強誘電体薄膜メモリー、圧電体膜、　２．チューナブルフォトニック結晶、　３．高信頼性強誘電体薄膜メモリー、圧電体膜、　４．連続的な原料充填と安定気化を可能とするMOCVD装置、　５．可搬型小電力発電システム
可能な産学連携形態 共同研究、受託研究員受入、受託研究、技術相談および指導、国際的な産学連携への対応
具体的な産学連携形態内容 １．電子部品メーカーと圧電体膜の電気物性や微構造評価に関する共同研究 ２．貴金属メーカーと小型MOCVD装置に関する共同研究 ３．電子機器メーカーと可搬型小電力発電システムに関する共同研究を検討中
その他所属研究機関
所属研究室 岡村研究室
所有研究装置 SEM改良電子線描画装置、デュアルビーム微細加工同時モニタリング装置、小型MOCVD装置
SDGs
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