岡村 総一郎

ABOUT TUS

オカムラ ソウイチロウ

岡村 総一郎教授

OKAMURA Soichiro

東京理科大学 理学部第一部 応用物理学科

岡村研究室

連絡先 〒125-8585  東京都葛飾区新宿6-3-1
TEL : 03-5876-1717 (代表)   内線:2441
FAX : 03-3260-4772
sokamura@rs.kagu.tus.ac.jp
ホームページURL http://www.rs.kagu.tus.ac.jp/sokamura/index.html
出身大学
1984年  東京理科大学  工学部  電気工学  卒業
出身大学院
1989年  東京理科大学  工学研究科  電気工学  博士課程 修了
取得学位
東京理科大学  工学博士  課程
東京理科大学  工学修士  課程
研究経歴 1990- 強誘電体薄膜並びにパターニングに関する研究に従事
研究職歴 1989-1992 東京理科大学山口短期大学 助手
1992-1995 東京理科大学 助手
1995-1998 山口東京理科大学 講師
1998-2005 奈良先端科学技術大学院大学 助教授
2005- 東京理科大学 教授
研究キーワード 強誘電体 薄膜 
研究分野
構造・機能材料 (強誘電体薄膜)
研究課題
強誘電体薄膜に関する研究
電子材料のパターニングに関する研究
受賞
2012年 3月 30日
査読貢献賞
2006年 3月 26日
JJAP論文編集貢献賞
学会活動
2012年 10月 1日 ~ 2013年 9月 30日
JSAP-MRS Joint Symposia 2013 リード・オーガナイザー(Symposium-D)
2012年 4月 1日 ~ 2014年 3月 31日
応用物理学科 プログラム委員・世話人
2008年 4月 1日 ~ 2013年 3月 31日
日本MRS 代表チェア
2007年 12月 ~ 2008年 12月
Material Research Society of Japan Session Chair
2007年 4月 1日 ~ 2009年 3月 31日
日本セラミックス協会 学会誌及び論文誌の編集者
2007年 4月 ~ 2011年 3月
応用物理学会 学会の顧問・助言委員等
2006年 12月 ~ 2007年 12月
US-Japan Piezoelectric and Dielectric Ceramics Seminar 学会誌及び論文誌の編集者
2006年 4月 ~ 2007年 12月
The 16th International Symposium on the Application of Ferroelectrics 学会誌及び論文誌の編集者
2006年 2月 ~ 2006年 11月
The 5th Asian Meeting on Ferroelectrics 実行委員
2005年 4月 1日 ~ 2013年 3月 31日
誘電体研究委員会 誘電体研究委員会 委員
2005年 4月 1日 ~ 2007年 3月 31日
応用物理学会 学会誌及び論文誌の編集者
2002年 4月 1日 ~ 2013年 3月 31日
強誘電体応用会議 実行委員、論文委員
客員教授
グループ ナノテク・材料、環境
研究・技術キーワード 強誘電体、圧電体、微細加工、薄膜、電気物性、エナジーハーベスティング
研究・技術テーマ
  • 強誘電体・圧電体薄膜/厚膜の作製
  • 複合酸化物の微細加工
  • 強誘電体薄膜キャパシタの電気物性に関する研究
  • 液体充填平衡気化MOCVD法
  • 圧電体を用いたエナジーハーベスティング
研究・技術内容 1.化学溶液堆積法や電気泳動法により、強誘電体・圧電体の薄膜/厚膜作製が可能、 2.デュアルビームFIBにより、微細加工や薄膜断面観察が可能、 3.強誘電体/誘電体薄膜の電気特性を精確に測定し、導電機構などの解析が可能、 4.独自開発の小型MOCVD装置により、少量の原料でも金属/酸化物の薄膜作製が可能、 5.圧電体セラミックスや高分子強誘電体薄膜を使ったエナジーハーベスティングシステムの開発が可能
産業への利用 1.高信頼性強誘電体薄膜メモリー、圧電体膜、 2.チューナブルフォトニック結晶、 3.高信頼性強誘電体薄膜メモリー、圧電体膜、 4.連続的な原料充填と安定気化を可能とするMOCVD装置、 5.可搬型小電力発電システム
可能な産学連携形態 共同研究、受託研究員受入、受託研究、技術相談および指導、国際的な産学連携への対応
具体的な産学連携形態内容 1.電子部品メーカーと圧電体膜の電気物性や微構造評価に関する共同研究 2.貴金属メーカーと小型MOCVD装置に関する共同研究 3.電子機器メーカーと可搬型小電力発電システムに関する共同研究を検討中
その他所属研究機関
所属研究室 岡村研究室
所有研究装置 SEM改良電子線描画装置、デュアルビーム微細加工同時モニタリング装置、小型MOCVD装置
SDGs
専攻分野 情報・エネルギー素子科学
研究分野 機能性薄膜材料、ナノデバイス
本研究室では、物質の持つ「機能」に着目し、その機能を応用した新しい情報・エネルギーデバイスの創成を目指しています。機能発現の原理を理解して材料の性能向上に努めるとともに、作製プロセス、素子構造や応用について幅広く研究を行います。最先端テクノロジーや新材料を積極的に活用し、光を自在に制御する高機能光デバイス、振動から電気エネルギーを生み出す高分子発電素子、高速に書き換え可能で電源がなくても情報を保持し得る強誘電体薄膜メモリーなどについて研究を行います。
研究テーマ
  1. 圧電体を用いたエナジーハーベスティングに関する研究

    振動などの身の回りに存在する環境エネルギーから、比較的小さな電気エネルギーを獲得する“エナジーハーベスティング”に関心が集まっています。この技術の最大の特徴は、環境エネルギーが存在している限り半永久的に電力を供給することができる点にあり、電池交換や電気配線を必要としないデバイスへの応用が期待されています。
    ここでは、圧電体の電気-力学エネルギーの相互変換能に着目し、人間の動作や装置の振動などから電力を取得する発電システムに関する研究を行っています。

  2. 強誘電体薄膜キャパシタの信頼性向上に関する研究

    強誘電体薄膜のヒステリシス特性は、分極反転の繰り返しや時間の経過とともに変化します。これは、メモリーとして応用した場合、動作エラーの原因となります。 そういった特性変化には、強誘電体薄膜のドメイン構造や電極から注入され界面層中でトラップされる電荷が強く関与していると考えられていますが、未だ明確な結論は得られていません。
     ここでは、強誘電体中のリーク電流機構を究明するとともに、高機能な強誘電体薄膜キャパシタの実現に向けた材料創製に関する研究を行っています。

  3. 液体供給平衡気化MOCVD法に関する研究

    機能性材料を大規模集積回路に導入するためには、三次元的な下部構造上に一様な薄膜を堆積する技術が重要となります。 有機金属化学気相堆積(MOCVD)法は、ガス化した有機金属を輸送し、加熱した基板上で熱分解・結晶化させて薄膜を得る方法で、優れた段差被覆性を示し、高集積FeRAM用の成膜法として期待されています。 しかし、有機金属原料の制約等から、未だ多くの開発要素が残されています。
     ここでは、固体原料の気化という物理現象について深く考察し、我々の開発した液体充填平衡気化MOCVD法(特願2004-070656)を実用的技術として完成させることを目指しています。

  4. チューナブル光学デバイスの創成

    屈折率の異なる材料を適当な周期で配列したフォトニック結晶は、フォトニックバンドギャップやスーパープリズム効果といった、これまでの材料では考えられなかった特異な性質を示します。 一方、強誘電体の中には、顕著な電気光学効果を示す、すなわち電圧を印加するとその屈折率が大きく変化するものがあります。 したがって、強誘電体を使ってフォトニック結晶を作れば、電圧によって特性を変えることのできるチューナブルな光学デバイスを実現することができると期待されます。
     ここでは、チューナブル光学デバイスの創成のための強誘電体ナノ構造作製とその光学特性評価に関わる研究を行っています。

  5. 有機強誘電体材料の基礎と応用に関する研究

    ポリフッ化ビニリデンやナイロンに代表される一部の高分子材料においては、その分子配向性を制御することで強誘電性が発現することが知られています。このような材料は、柔軟、透明、軽量であり、プリンテッドエレクトロニクスと融合した新しい領域への応用も期待されています。一方で、高分子材料は結晶部と非晶部が複雑に混在した階層構造をとるため、その極限的な物性や強誘電性発現機構に関しては未だに明らかにされていない点が数多く残されています。
     ここでは、有機材料における強誘電性発現機構の基礎的理解とその機能を最大限に活かしたデバイスの実現を目的とし、材料の構造制御、電気物性の評価に関わる研究を行っています。

  6. 数理物理・統計物理学に関する研究

    「基礎は応用の応用である」との立場から、強誘電体の諸現象に関して、実験結果を説明し得る理論を構築することを目指します。また、量子エンタングルメントやエントロピーの幾何学的構造等を基礎論として研究します。更に、エントロピーの性質を利用した応用として、強誘電体を用いた断熱冷却や量子力学を用いたビッグデータの処理についての研究も行っています。

   授業名     開講学期    曜日時限   区分 開講学科
イノベーション・チーム・ラボ 後期 水曜5限 生命科学研究科/修士課程
Graduate School of Biological Sciences / Masters Course
イノベーション・チーム・ラボ 後期 水曜5限 生命科学研究科/博士後期課程
Graduate School of Biological Sciences / Doctors Course 
電気回路 前期 金曜1限 理学部第一部 応用物理学科
Department of Applied Physics
電子回路 後期 金曜1限 理学部第一部 応用物理学科
Department of Applied Physics
応用物理特別講義2 後期 火曜5限 理学部第一部 応用物理学科
応用物理学実験A イ組 前期 月曜3限 月曜4限 月曜5限 理学部第一部 応用物理学科
応用物理学実験Bイ組 後期 月曜3限 月曜4限 月曜5限 理学部第一部 応用物理学科
卒業研究(理一OB科岡村) 前期~後期 前期(集中講義)
後期(集中講義)
理学部第一部 応用物理学科
Department of Applied Physics
基礎物理学実験A イ組 前期 木曜1限 木曜2限 理学部第一部 応用物理学科
基礎物理学実験B イ組 後期 木曜1限 木曜2限 理学部第一部 応用物理学科
特別研究(一)(岡村・橋爪) 前期~後期 前期(集中講義)
後期(集中講義)
応用物理学専攻
Department of Applied Physics
特別研究(二)(岡村・橋爪) 前期~後期 前期(集中講義)
後期(集中講義)
理学研究科 応用物理学専攻
Department of Applied Physics
応用物理学輪講(一)(岡村) 前期 集中講義 応用物理学専攻
Department of Applied Physics
応用物理学輪講(二)(岡村) 前期 集中講義 応⽤物理学専攻
Department of Applied Physics
応用物理学演習・実験(一)(岡村) 後期 集中講義 応用物理学専攻
Department of Applied Physics
応用物理学演習・実験(二)(岡村) 後期 集中講義 応⽤物理学専攻
Department of Applied Physics
イノベーション・チーム・ラボ 後期 水曜5限 薬学研究科/修士課程
Graduate School of Pharmaceutical Sciences
イノベーション・チーム・ラボ 後期 水曜5限 薬学研究科/博士課程、博士後期課程
Graduate School of Pharmaceutical Sciences 
イノベーション・チーム・ラボ 後期 水曜5限 理工学研究科/修士課程
Graduate School of Science and Technology/Master course 
イノベーション・チーム・ラボ 後期 水曜5限 理工学研究科/博士課程
Graduate School of Science and Technology/Doctor course