谷口 淳

ABOUT TUS

タニグチ ジユン

谷口 淳教授

TANIGUCHI Jun

東京理科大学 先進工学部 電子システム工学科

谷口研究室

連絡先 〒125-8585  東京都葛飾区新宿6-3-1
TEL : 03-5876-1717 (代表)
ホームページURL
出身大学
1994年  東京理科大学  基礎工学部  電子応用工学科  卒業
出身大学院
1999年  東京理科大学  基礎工学研究科  電子応用工学専攻  博士課程 修了
取得学位
東京理科大学  博士(工学)  課程
東京理科大学  修士(工学)  課程
研究経歴
研究職歴
研究キーワード 電子ビーム露光技術,ナノインプリント技術
研究分野
ナノマイクロシステム (ナノインプリント技術,三次元ナノ構造作製,電子ビーム露光技術)
研究課題
ダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工
ナノインプリントリソグラフィーに関する研究
ダイヤモンドからの電子放出に関する研究
受賞
2018年 2月 19日
学校法人 東京理科大学 優秀研究者特別賞
2010年 12月 8日
学校法人 東京理科大学 優秀研究者奨励賞
2009年 11月 19日
The 4th International Symposium on Atomic Technology において学生優秀ポスター賞
2007年 10月 2日
Second International Symposium on Atomic Technology において学生優秀ポスター賞
2004年 4月 12日
(財)東電記念科学技術研究所 研究助成
2001年 6月 30日
安藤博記念学術奨励賞
学会活動
2015年 4月 1日 ~ 2018年 3月 31日
社団法人 精密工学会 代議員
2012年 4月 1日 ~ 2016年 3月 31日
公益社団法人応用物理学会 ナノインプリント技術研究会 運営委員
2012年 4月 1日 ~ 2015年 9月 30日
日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用 第132委員会 幹事
2011年 4月 1日 ~ 2014年 3月 31日
社団法人 精密工学会 評議員
2006年 4月 1日 ~ 2007年 3月 31日
特許庁 平成18年度 特許出願技術動向調査 -ナノインプリント技術及び樹脂加工におけるサブミクロン成形加工技術ー 委員会 学会の顧問・助言委員等
2005年 4月 1日 ~ 2018年 3月 31日
Micro Nano Conference(応用物理学会系) 論文委員
2005年 4月 1日
砥粒加工学会 砥粒加工学会編集委員
2004年 4月 1日 ~ 2005年 3月 31日
社団法人 応用物理学会 論文委員会員(MNC 2004(第17回マイクロプロセス ナノテクノロジー国際会議))
2002年 4月 1日 ~ 2003年 3月 31日
社団法人 精密工学会 分科会委員(ナノ製造科学-次世代システムLSI製造装置分科会)
客員教授
専攻分野 ナノテクノロジー
研究分野 超微細加工技術/ナノインプリント技術
ナノテクノロジーは今日の高度情報化社会を支える基盤技術です。例えば、コンピュータのメモリやCPUなどは、超微細加工技術によって集積され驚くほどの記憶容量や計算スピードを達成しています。本研究室では、ナノメートルオーダー(10-9m)の超微細加工技術の研究を行っており、特に次世代技術として期待されているナノオーダーでの3次元(3D)形状創製技術を重点的に行っております。それを実現するために、3Dナノスタンプを作製する技術と、そのスタンプを押して転写するナノインプリントリソグラフィの研究を行っております。
研究テーマ
  1. 三次元ナノ構造作製技術の開発

    加速電圧を変化させる電子ビーム露光技術で,最高5nmの深さ分解能を達成した.この技術により,100nm以下で深さを変化させた三次元ナノモールドを作製し,このパターンを転写し複製できた.このことより,量産性のある技術である.この技術は,LSIのリソグラフィやホログラフィック光学素子など,正確な深さ制御が必要なデバイスの作製に有効である.

  2. ダイヤモンドなどの難加工材の3次元超微細加工

  3. 3次元ナノデバイスの作製とその評価技術の研究