谷口研究室

指導教員

谷口 淳 教授 　

専攻

超微細加工技術,ナノインプリント技術

キーワード

ナノテクノロジー

テーマ例

❶３次元ナノインプリントリソグラフィの研究 ❷ダイヤモンドなどの難加工材の３次元超微細加工 ❸３次元ナノデバイスの作製とその評価技術の研究

概要

ナノテクノロジーは今日の高度情報化社会を支える基盤技術です。例えば、コンピュータのメモリやCPUなどは、超微細加工技術によって集積され驚くほどの記憶容量や計算スピードを達成しています。本研究室では、ナノメートルオーダー（10-9m）の超微細加工技術の研究を行っており、特に次世代技術として期待されているナノオーダーでの３次元（3D）形状創製技術を重点的に行っています。それを実現するために、3Dナノスタンプを作製する技術と、そのスタンプを押して転写するナノインプリントリソグラフィの研究を行っています。