2018.02.09 Friday

本学教員が光技術産業振興協会にて光技術産業振興協会櫻井健二郎氏記念賞を受賞

本学教員が光技術産業振興協会にて光技術産業振興協会櫻井健二郎氏記念賞を受賞しました。

受賞者 研究推進機構 総合研究院 教授 渡部 俊太郎
受賞題目 半導体リソグラフィ用高出力ArFエキシマレーザの研究開発とその実用化
受賞内容 受賞者らは、半導体リソグラフィ用光源の研究開発とその実用化に長年わたり取り組んできた。まず、深紫外リソグラフィ用光源で世界初のインジェクションロック技術を実現し、さらに、世界最高レベルの効率と大出力特性、出力自動可変性、ビーム高安定性を達成することにより、半導体リソグラフィ用高出力ArFエキシマレーザの開発に成功した。本技術開発は、半導体リソグラフィ用エキシマレーザの世界市場で半分以上のシェア獲得をもたらすなど成功を収めており、世界の半導体製造業および、わが国の光産業の発展に大きく貢献する優れた業績である。
受賞日 2018年2月7日

光技術産業振興協会のページ:http://oitda.or.jp/

渡部教授のページ:http://www.tus.ac.jp/fac_grad/p/index.php?63d9

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