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加工技術データファイル 基礎編 特殊加工 5.1 プラズマ加工の原理と特徴、5.6 PACE、 5.8 プラズマジェットケミカルエッチング
[ 全著者名 ] 谷口 淳
[ 発行所等 ] (財)機械振興協会技術研究所
[ 発行日付 ] 2003年 3月
マイクロマシン技術総覧
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男,樋口 俊郎
[ 発行所等 ] 産業技術サービスセンター
[ 発行日付 ] 2003年 1月
図解 ナノテク活用技術のすべて
[ 全著者名 ] 宮本 岩男,谷口 淳,川合 知二
[ 発行所等 ] 工業調査会
[ 発行日付 ] 2002年 11月
圧力印加による新半導体リソグラフィー技術
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男
[ 発行所等 ] 圧力技術 Vol.40, No.3,
[ 発行日付 ] 2002年 3月
ナノインプリント技術の現状
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男, 古室 昌徳,松井 真二
[ 発行所等 ] 砥粒加工学会誌 Vol.46, No.6, 2002, JUN
[ 発行日付 ] 2002年 3月
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