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加工技術データファイル 基礎編 特殊加工 5.1 プラズマ加工の原理と特徴、5.6 PACE、 5.8 プラズマジェットケミカルエッチング |
[ 全著者名 ] 谷口 淳 |
[ 発行所等 ] (財)機械振興協会技術研究所 |
[ 発行日付 ] 2003年 3月 |
マイクロマシン技術総覧 |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男,樋口 俊郎 |
[ 発行所等 ] 産業技術サービスセンター |
[ 発行日付 ] 2003年 1月 |
図解 ナノテク活用技術のすべて |
[ 全著者名 ] 宮本 岩男,谷口 淳,川合 知二 |
[ 発行所等 ] 工業調査会 |
[ 発行日付 ] 2002年 11月 |
圧力印加による新半導体リソグラフィー技術 |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男 |
[ 発行所等 ] 圧力技術 Vol.40, No.3, |
[ 発行日付 ] 2002年 3月 |
ナノインプリント技術の現状 |
[ 全著者名 ] 谷口 淳,宮本 岩男, 古室 昌徳,松井 真二 |
[ 発行所等 ] 砥粒加工学会誌 Vol.46, No.6, 2002, JUN |
[ 発行日付 ] 2002年 3月 |